ข้อดีของทรูกลาสเวีย (TGV)และผ่านกระบวนการ Silicon Via (TSV) บน TGV ส่วนใหญ่เป็น:
(1) ลักษณะทางไฟฟ้าความถี่สูงที่ดีเยี่ยม วัสดุแก้วเป็นวัสดุฉนวน ค่าคงที่ไดอิเล็กทริกมีค่าเพียงประมาณ 1/3 ของวัสดุซิลิกอน และปัจจัยการสูญเสียคือขนาด 2-3 ลำดับความสำคัญต่ำกว่าวัสดุซิลิกอน ซึ่งทำให้การสูญเสียของสารตั้งต้นและผลกระทบของปรสิตลดลงอย่างมาก และรับรองความสมบูรณ์ของสัญญาณที่ส่ง
(2)ขนาดใหญ่และพื้นผิวกระจกบางเฉียบเป็นเรื่องง่ายที่จะได้รับ Corning, Asahi และ SCHOTT และผู้ผลิตกระจกอื่นๆ สามารถผลิตกระจกแผงขนาดใหญ่พิเศษ (>2 ม. x 2 ม.) และกระจกบางพิเศษ (<50µm) และวัสดุกระจกยืดหยุ่นบางพิเศษ
3) ต้นทุนต่ำ ประโยชน์จากการเข้าถึงแผงกระจกบางเฉียบขนาดใหญ่ได้ง่าย และไม่จำเป็นต้องมีการสะสมของชั้นฉนวน ต้นทุนการผลิตแผ่นอะแดปเตอร์แก้วอยู่ที่ประมาณ 1/8 ของแผ่นอะแดปเตอร์ที่ใช้ซิลิกอนเท่านั้น
4) กระบวนการง่ายๆ ไม่จำเป็นต้องวางชั้นฉนวนไว้บนพื้นผิวของวัสดุพิมพ์และผนังด้านในของ TGV และไม่จำเป็นต้องทำให้บางลงในแผ่นอะแดปเตอร์ที่บางเฉียบ
(5) เสถียรภาพทางกลที่แข็งแกร่ง แม้ว่าความหนาของแผ่นอะแดปเตอร์จะน้อยกว่า 100µm แต่การบิดงอก็ยังน้อย
(6) การใช้งานที่หลากหลายเป็นเทคโนโลยีการเชื่อมต่อระหว่างกันตามยาวที่เกิดขึ้นใหม่ซึ่งใช้ในด้านบรรจุภัณฑ์ระดับเวเฟอร์เพื่อให้ได้ระยะห่างที่สั้นที่สุดระหว่างเวเฟอร์และเวเฟอร์ ระยะห่างขั้นต่ำของการเชื่อมต่อระหว่างกันทำให้เกิดเส้นทางเทคโนโลยีใหม่ พร้อมระบบไฟฟ้าที่ดีเยี่ยม , คุณสมบัติทางความร้อน, เชิงกล ในชิป RF, เซ็นเซอร์ MEMS ระดับไฮเอนด์, การบูรณาการระบบความหนาแน่นสูง และพื้นที่อื่นๆ ที่มีข้อได้เปรียบที่ไม่เหมือนใคร คือชิป 3D ความถี่สูง 5G, 6G ยุคถัดไป ซึ่งเป็นหนึ่งในตัวเลือกแรกๆ สำหรับ บรรจุภัณฑ์ 3 มิติของชิปความถี่สูง 5G และ 6G ยุคถัดไป
กระบวนการขึ้นรูปของ TGV ส่วนใหญ่ประกอบด้วยการพ่นทราย การเจาะด้วยอัลตราโซนิก การกัดแบบเปียก การกัดด้วยไอออนปฏิกิริยาเชิงลึก การกัดด้วยแสง การกัดด้วยเลเซอร์ การกัดด้วยความลึกด้วยเลเซอร์ และการเน้นการสร้างรูระบาย
ผลการวิจัยและพัฒนาล่าสุดแสดงให้เห็นว่าเทคโนโลยีสามารถเตรียมผ่านรูและรูตัน 5:1 ด้วยอัตราส่วนความลึกต่อความกว้าง 20:1 และมีสัณฐานวิทยาที่ดี การกัดลึกด้วยเลเซอร์ซึ่งส่งผลให้เกิดความหยาบผิวเล็กน้อย เป็นวิธีที่มีการศึกษามากที่สุดในปัจจุบัน ดังแสดงในรูปที่ 1 มีรอยแตกที่ชัดเจนรอบๆ การเจาะด้วยเลเซอร์ธรรมดา ในขณะที่ผนังโดยรอบและด้านข้างของการกัดลึกด้วยเลเซอร์นั้นสะอาดและเรียบเนียน
กระบวนการแปรรูปของทีจีวีInterposer แสดงในรูปที่ 2 รูปแบบโดยรวมคือการเจาะรูบนพื้นผิวแก้วก่อน จากนั้นจึงวางชั้นกั้นและชั้นเมล็ดไว้บนผนังด้านข้างและพื้นผิว ชั้นกั้นป้องกันการแพร่กระจายของ Cu ไปยังพื้นผิวแก้ว ในขณะที่เพิ่มการยึดเกาะของทั้งสอง แน่นอนว่าในการศึกษาบางชิ้นยังพบว่าไม่จำเป็นต้องมีชั้นกั้น จากนั้น Cu จะถูกสะสมโดยการชุบด้วยไฟฟ้า จากนั้นจึงอบอ่อน และ CMP จะกำจัดชั้น Cu ออก สุดท้าย ชั้นการเดินสายไฟ RDL จะถูกเตรียมโดยการพิมพ์หินเคลือบ PVD และชั้นฟิล์มจะถูกสร้างขึ้นหลังจากที่กาวถูกเอาออก
(a) การเตรียมแผ่นเวเฟอร์ (b) การก่อตัวของ TGV (c) การชุบด้วยไฟฟ้าสองด้าน – การสะสมของทองแดง (d) การอบอ่อนและการขัดด้วยเคมี-เครื่องกล CMP การกำจัดชั้นทองแดงบนพื้นผิว (e) การเคลือบ PVD และการพิมพ์หิน , (f) การวางตำแหน่งของชั้นการเดินสายไฟ RDL, (g) การลอกกาวและการกัด Cu/Ti, (h) การก่อตัวของชั้นทู่
สรุปก็คือกระจกทะลุรู (TGV)โอกาสการใช้งานนั้นกว้างและตลาดในประเทศในปัจจุบันอยู่ในช่วงที่เพิ่มขึ้นตั้งแต่อุปกรณ์ไปจนถึงการออกแบบผลิตภัณฑ์และอัตราการเติบโตของการวิจัยและพัฒนาสูงกว่าค่าเฉลี่ยทั่วโลก
หากมีการละเมิดให้ติดต่อลบ
เวลาโพสต์: Jul-16-2024