TTV, BOW, WARP และ TIR ในเวเฟอร์หมายถึงอะไร?

ในการตรวจสอบแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนเซมิคอนดักเตอร์หรือวัสดุตั้งต้นอื่นๆ เรามักพบตัวชี้วัดทางเทคนิคต่างๆ เช่น TTV, BOW, WARP และอาจรวมถึง TIR, STIR, LTV และอื่นๆ อีกมากมาย พารามิเตอร์เหล่านี้แสดงถึงอะไร?

TTV — ความแปรผันความหนารวม
โบว์ — โบว์
วาร์ป — วาร์ป
TIR — ค่าการวัดที่บ่งชี้ทั้งหมด
STIR — ค่าการวัดรวมที่บ่งชี้ของไซต์
LTV — ความแปรผันความหนาเฉพาะจุด

1. ความแปรผันของความหนารวม — TTV

ความแตกต่างระหว่างความหนาสูงสุดและความหนาต่ำสุดของแผ่นเวเฟอร์เมื่อเทียบกับระนาบอ้างอิง เมื่อแผ่นเวเฟอร์ถูกยึดและสัมผัสกันอย่างใกล้ชิด โดยทั่วไปจะแสดงเป็นไมโครเมตร (μm) ซึ่งมักแสดงเป็น: ≤15 μm

2. โค้งคำนับ — โค้งคำนับ

ค่าเบี่ยงเบนระหว่างระยะห่างต่ำสุดและสูงสุดจากจุดศูนย์กลางของพื้นผิวเวเฟอร์ไปยังระนาบอ้างอิง เมื่อเวเฟอร์อยู่ในสถานะอิสระ (ไม่ถูกยึด) ซึ่งรวมถึงทั้งกรณีเว้า (ความโค้งเป็นลบ) และนูน (ความโค้งเป็นบวก) โดยทั่วไปจะแสดงเป็นไมโครเมตร (μm) ซึ่งมักแสดงเป็น: ≤40 μm

3. วาร์ป — วาร์ป

ค่าเบี่ยงเบนระหว่างระยะห่างต่ำสุดและสูงสุดจากพื้นผิวเวเฟอร์ไปยังระนาบอ้างอิง (โดยปกติคือพื้นผิวด้านหลังของเวเฟอร์) เมื่อเวเฟอร์อยู่ในสถานะอิสระ (ไม่ถูกยึด) ซึ่งรวมถึงทั้งกรณีเว้า (การบิดเบี้ยวเชิงลบ) และนูน (การบิดเบี้ยวเชิงบวก) โดยทั่วไปจะแสดงเป็นไมโครเมตร (μm) ซึ่งมักแสดงเป็น: ≤30 μm

4. ค่าการวัดรวมที่บ่งชี้ (Total Indicated Reading - TIR)

เมื่อแผ่นเวเฟอร์ถูกยึดและสัมผัสกันอย่างใกล้ชิด โดยใช้ระนาบอ้างอิงที่ลดผลรวมของจุดตัดของทุกจุดภายในพื้นที่คุณภาพหรือบริเวณเฉพาะที่กำหนดบนพื้นผิวเวเฟอร์ ค่า TIR คือค่าเบี่ยงเบนระหว่างระยะทางสูงสุดและต่ำสุดจากพื้นผิวเวเฟอร์ไปยังระนาบอ้างอิงนี้

XKH ก่อตั้งขึ้นบนพื้นฐานความเชี่ยวชาญอย่างลึกซึ้งในข้อกำหนดวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ เช่น TTV, BOW, WARP และ TIR โดยให้บริการประมวลผลเวเฟอร์แบบกำหนดเองที่มีความแม่นยำสูง ซึ่งปรับให้เข้ากับมาตรฐานอุตสาหกรรมที่เข้มงวด เราจัดหาและสนับสนุนวัสดุประสิทธิภาพสูงหลากหลายประเภท รวมถึงแซฟไฟร์ ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) เวเฟอร์ซิลิคอน SOI และควอตซ์ เพื่อให้มั่นใจถึงความเรียบ ความหนาที่สม่ำเสมอ และคุณภาพพื้นผิวที่ยอดเยี่ยมสำหรับการใช้งานขั้นสูงในด้านออปโตอิเล็กทรอนิกส์ อุปกรณ์ไฟฟ้า และ MEMS วางใจให้เราส่งมอบโซลูชันวัสดุที่เชื่อถือได้และการผลิตที่แม่นยำซึ่งตรงตามข้อกำหนดการออกแบบที่ต้องการมากที่สุดของคุณ