แผ่นเวเฟอร์แซฟไฟร์ขนาด 12 นิ้ว สำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ปริมาณมาก

คำอธิบายโดยย่อ:

แผ่นเวเฟอร์แซฟไฟร์ขนาด 12 นิ้วได้รับการออกแบบมาเพื่อตอบสนองความต้องการที่เพิ่มขึ้นสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และอุปกรณ์อิเล็กโทรออปติกขนาดใหญ่และปริมาณการผลิตสูง เนื่องจากสถาปัตยกรรมของอุปกรณ์ยังคงมีขนาดใหญ่ขึ้นและสายการผลิตกำลังเปลี่ยนไปใช้เวเฟอร์ขนาดใหญ่ขึ้น แผ่นรองพื้นแซฟไฟร์ที่มีเส้นผ่านศูนย์กลางขนาดใหญ่พิเศษจึงมีข้อได้เปรียบที่ชัดเจนในด้านประสิทธิภาพการผลิต การเพิ่มประสิทธิภาพผลผลิต และการควบคุมต้นทุน


คุณสมบัติ

แผนภาพโดยละเอียด

pl30139633-12_sapphire_glass2_wafer
แผ่นเวเฟอร์แซฟไฟร์

การเปิดตัวแผ่นเวเฟอร์แซฟไฟร์ขนาด 12 นิ้ว

แผ่นเวเฟอร์แซฟไฟร์ขนาด 12 นิ้วได้รับการออกแบบมาเพื่อตอบสนองความต้องการที่เพิ่มขึ้นสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และอุปกรณ์อิเล็กโทรออปติกขนาดใหญ่และปริมาณการผลิตสูง เนื่องจากสถาปัตยกรรมของอุปกรณ์ยังคงมีขนาดใหญ่ขึ้นและสายการผลิตกำลังเปลี่ยนไปใช้เวเฟอร์ขนาดใหญ่ขึ้น แผ่นรองพื้นแซฟไฟร์ที่มีเส้นผ่านศูนย์กลางขนาดใหญ่พิเศษจึงมีข้อได้เปรียบที่ชัดเจนในด้านประสิทธิภาพการผลิต การเพิ่มประสิทธิภาพผลผลิต และการควบคุมต้นทุน

แผ่นเวเฟอร์แซฟไฟร์ขนาด 12 นิ้วของเราผลิตจากอะลูมิเนียมออกไซด์ (Al₂O₃) ผลึกเดี่ยวที่มีความบริสุทธิ์สูง ผสานรวมความแข็งแรงเชิงกล ความเสถียรทางความร้อน และคุณภาพพื้นผิวที่ยอดเยี่ยม ด้วยการเจริญเติบโตของผลึกที่เหมาะสมและการประมวลผลเวเฟอร์ที่แม่นยำ วัสดุรองรับเหล่านี้จึงให้ประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้สำหรับการใช้งาน LED ขั้นสูง GaN และเซมิคอนดักเตอร์พิเศษ

คุณลักษณะของวัสดุ

 

แซฟไฟร์ (อะลูมิเนียมออกไซด์ผลึกเดี่ยว, Al₂O₃) เป็นที่รู้จักกันดีในด้านคุณสมบัติทางกายภาพและเคมีที่โดดเด่น แผ่นเวเฟอร์แซฟไฟร์ขนาด 12 นิ้วสืบทอดข้อดีทั้งหมดของวัสดุแซฟไฟร์ ในขณะเดียวกันก็มีพื้นที่ผิวใช้งานที่ใหญ่กว่ามาก

คุณลักษณะสำคัญของวัสดุ ได้แก่:

  • มีความแข็งและทนทานต่อการสึกหรอสูงมาก

  • มีเสถียรภาพทางความร้อนดีเยี่ยมและจุดหลอมเหลวสูง

  • ทนทานต่อสารเคมีประเภทกรดและด่างได้ดีเยี่ยม

  • มีความโปร่งใสทางแสงสูงตั้งแต่ช่วงคลื่น UV ถึง IR

  • คุณสมบัติเป็นฉนวนไฟฟ้าที่ดีเยี่ยม

คุณสมบัติเหล่านี้ทำให้แผ่นเวเฟอร์แซฟไฟร์ขนาด 12 นิ้วเหมาะสมสำหรับสภาพแวดล้อมการประมวลผลที่รุนแรงและกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่อุณหภูมิสูง

กระบวนการผลิต

การผลิตแผ่นเวเฟอร์แซฟไฟร์ขนาด 12 นิ้ว จำเป็นต้องใช้เทคโนโลยีการปลูกผลึกขั้นสูงและเทคโนโลยีการประมวลผลที่มีความแม่นยำสูง กระบวนการผลิตโดยทั่วไปประกอบด้วย:

  1. การเติบโตของผลึกเดี่ยว
    ผลึกแซฟไฟร์ที่มีความบริสุทธิ์สูงนั้นได้มาจากการใช้กรรมวิธีขั้นสูง เช่น KY หรือเทคโนโลยีการปลูกผลึกขนาดใหญ่แบบอื่นๆ ซึ่งช่วยให้มั่นใจได้ว่าผลึกมีทิศทางที่สม่ำเสมอและมีความเครียดภายในต่ำ

  2. การขึ้นรูปและการหั่นผลึก
    แท่งแซฟไฟร์จะถูกขึ้นรูปและหั่นเป็นแผ่นบางขนาด 12 นิ้วอย่างแม่นยำโดยใช้อุปกรณ์ตัดที่มีความแม่นยำสูง เพื่อลดความเสียหายใต้พื้นผิวให้น้อยที่สุด

  3. การขัดเงาและการขัดผิว
    กระบวนการขัดผิวหลายขั้นตอนและการขัดเงาเชิงกลเคมี (CMP) ถูกนำมาใช้เพื่อให้ได้พื้นผิวที่มีความเรียบ ความสม่ำเสมอ และความหนาที่ยอดเยี่ยม

  4. การทำความสะอาดและการตรวจสอบ
    แผ่นเวเฟอร์แซฟไฟร์ขนาด 12 นิ้วแต่ละแผ่นจะผ่านการทำความสะอาดอย่างละเอียดและการตรวจสอบอย่างเข้มงวด รวมถึงคุณภาพพื้นผิว ค่า TTV การโก่งงอ การบิดเบี้ยว และการวิเคราะห์ข้อบกพร่อง

แอปพลิเคชัน

แผ่นเวเฟอร์แซฟไฟร์ขนาด 12 นิ้วถูกนำไปใช้อย่างแพร่หลายในเทคโนโลยีขั้นสูงและเทคโนโลยีเกิดใหม่ ซึ่งรวมถึง:

  • แผ่นรองพื้น LED กำลังสูงและความสว่างสูง

  • อุปกรณ์ไฟฟ้าและอุปกรณ์ RF ที่ใช้ GaN

  • ตัวรองรับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์และพื้นผิวฉนวน

  • หน้าต่างออปติคอลและส่วนประกอบออปติคอลพื้นที่ขนาดใหญ่

  • บรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูงและตัวกลางกระบวนการพิเศษ

ขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางที่ใหญ่ขึ้นช่วยให้ได้ผลผลิตที่สูงขึ้นและประสิทธิภาพด้านต้นทุนที่ดีขึ้นในการผลิตจำนวนมาก

ข้อดีของแผ่นเวเฟอร์แซฟไฟร์ขนาด 12 นิ้ว

  • พื้นที่ใช้งานที่ใหญ่ขึ้น ส่งผลให้ผลผลิตของอุปกรณ์ต่อแผ่นเวเฟอร์สูงขึ้น

  • ปรับปรุงความสม่ำเสมอและความเป็นเอกภาพของกระบวนการให้ดียิ่งขึ้น

  • ลดต้นทุนต่ออุปกรณ์ในการผลิตจำนวนมาก

  • มีความแข็งแรงเชิงกลดีเยี่ยม เหมาะสำหรับการจัดการวัสดุขนาดใหญ่

  • คุณสมบัติที่สามารถปรับแต่งได้สำหรับการใช้งานที่หลากหลาย

 

ตัวเลือกการปรับแต่ง

เราเสนอบริการปรับแต่งที่ยืดหยุ่นสำหรับแผ่นเวเฟอร์แซฟไฟร์ขนาด 12 นิ้ว รวมถึง:

  • การวางแนวของผลึก (ระนาบ C, ระนาบ A, ระนาบ R เป็นต้น)

  • ความคลาดเคลื่อนของความหนาและเส้นผ่านศูนย์กลาง

  • การขัดเงาด้านเดียวหรือสองด้าน

  • การออกแบบขอบและมุมลบเหลี่ยม

  • ข้อกำหนดเกี่ยวกับความหยาบและความเรียบของพื้นผิว

พารามิเตอร์ ข้อกำหนด หมายเหตุ
เส้นผ่านศูนย์กลางเวเฟอร์ 12 นิ้ว (300 มม.) เวเฟอร์ขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางใหญ่มาตรฐาน
วัสดุ แซฟไฟร์ผลึกเดี่ยว (Al₂O₃) บริสุทธิ์สูง เกรดอิเล็กทรอนิกส์/ออปติก
การวางแนวผลึก ระนาบซี (0001), ระนาบเอ (11-20), ระนาบอาร์ (1-102) สามารถเลือกทิศทางการติดตั้งได้ตามต้องการ
ความหนา 430–500 ไมโครเมตร สามารถสั่งทำความหนาตามต้องการได้
ความคลาดเคลื่อนของความหนา ±10 ไมโครเมตร ความคลาดเคลื่อนที่เข้มงวดสำหรับอุปกรณ์ขั้นสูง
ความแปรผันความหนารวม (TTV) ≤10 μm ช่วยให้การประมวลผลทั่วทั้งแผ่นเวเฟอร์มีความสม่ำเสมอ
โค้งคำนับ ≤50 ไมโครเมตร วัดจากแผ่นเวเฟอร์ทั้งหมด
วาร์ป ≤50 ไมโครเมตร วัดจากแผ่นเวเฟอร์ทั้งหมด
การตกแต่งพื้นผิว ขัดเงาด้านเดียว (SSP) / ขัดเงาสองด้าน (DSP) พื้นผิวคุณภาพทางแสงสูง
ความหยาบผิว (Ra) ≤0.5 นาโนเมตร (ขัดเงา) ความเรียบเนียนระดับอะตอมสำหรับการเจริญเติบโตแบบเอพิเท็กเซียล
โปรไฟล์ขอบ ขอบลบมุม / ขอบโค้งมน เพื่อป้องกันการบิ่นระหว่างการขนส่ง
ความแม่นยำในการวางแนว ±0.5° ช่วยให้มั่นใจได้ว่าชั้นเอพิแท็กเซียลจะเจริญเติบโตอย่างเหมาะสม
ความหนาแน่นของข้อบกพร่อง <10 ซม⁻² วัดโดยการตรวจสอบด้วยแสง
ความเรียบ ≤2 ไมโครเมตร / 100 มิลลิเมตร ช่วยให้ได้ลวดลายพิมพ์หินและการเจริญเติบโตแบบเอพิแท็กเซียที่สม่ำเสมอ
ความสะอาด ชั้นเรียนที่ 100 – ชั้นเรียนที่ 1000 ใช้ได้กับห้องปลอดเชื้อ
การส่งผ่านแสง >85% (UV–IR) ขึ้นอยู่กับความยาวคลื่นและความหนา

 

คำถามที่พบบ่อยเกี่ยวกับเวเฟอร์แซฟไฟร์ขนาด 12 นิ้ว

คำถามที่ 1: ความหนามาตรฐานของแผ่นเวเฟอร์แซฟไฟร์ขนาด 12 นิ้วคือเท่าไร?
A: ความหนามาตรฐานอยู่ระหว่าง 430 ไมโครเมตรถึง 500 ไมโครเมตร นอกจากนี้ยังสามารถผลิตความหนาตามสั่งได้ตามความต้องการของลูกค้า

 

Q2: แผ่นเวเฟอร์แซฟไฟร์ขนาด 12 นิ้ว มีการจัดเรียงผลึกแบบใดบ้าง?
A: เรามีแผ่นวงจรแบบ C-plane (0001), A-plane (11-20) และ R-plane (1-102) ให้เลือกใช้งาน นอกจากนี้ยังสามารถปรับแต่งรูปแบบอื่นๆ ได้ตามความต้องการเฉพาะของอุปกรณ์

 

Q3: ค่าความแปรผันความหนารวม (TTV) ของแผ่นเวเฟอร์คือเท่าไร?
A: โดยทั่วไปแล้วแผ่นเวเฟอร์แซฟไฟร์ขนาด 12 นิ้วของเราจะมีค่า TTV ≤10 μm ซึ่งช่วยให้มั่นใจได้ถึงความสม่ำเสมอทั่วทั้งพื้นผิวเวเฟอร์สำหรับการผลิตอุปกรณ์คุณภาพสูง

เกี่ยวกับเรา

XKH เชี่ยวชาญด้านการพัฒนา การผลิต และการขายเทคโนโลยีขั้นสูงของกระจกออปติคอลพิเศษและวัสดุคริสตัลใหม่ ผลิตภัณฑ์ของเราให้บริการด้านอิเล็กทรอนิกส์เชิงแสง อิเล็กทรอนิกส์สำหรับผู้บริโภค และการทหาร เรานำเสนอชิ้นส่วนออปติคอลแซฟไฟร์ ฝาครอบเลนส์โทรศัพท์มือถือ เซรามิก LT ซิลิคอนคาร์ไบด์ SIC ควอตซ์ และแผ่นเวเฟอร์คริสตัลเซมิคอนดักเตอร์ ด้วยความเชี่ยวชาญและอุปกรณ์ที่ทันสมัย ​​เราโดดเด่นในการแปรรูปผลิตภัณฑ์ที่ไม่เป็นไปตามมาตรฐาน โดยมุ่งมั่นที่จะเป็นผู้นำด้านเทคโนโลยีขั้นสูงของวัสดุออปโตอิเล็กทรอนิกส์

เกี่ยวกับเรา

  • ก่อนหน้า:
  • ต่อไป:

  • เขียนข้อความของคุณที่นี่แล้วส่งมาให้เรา