แผ่นเวเฟอร์ SiC 4H-N/6H-N เกรดทดลองผลิต ขนาดเส้นผ่านศูนย์กลาง 150 มม. แผ่นรองพื้นซิลิคอนคาร์ไบด์
ข้อกำหนดเฉพาะของแผ่นรองพื้นซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) ขนาดเส้นผ่านศูนย์กลาง 6 นิ้ว
| ระดับ | ศูนย์ MPD | การผลิต | ระดับงานวิจัย | เกรดจำลอง |
| เส้นผ่านศูนย์กลาง | 150.0 มม. ± 0.25 มม. | |||
| ความหนา | 4H-N | 350 ไมโครเมตร ± 25 ไมโครเมตร | ||
| 4H-SI | 500 ไมโครเมตร ± 25 ไมโครเมตร | |||
| การวางแนวเวเฟอร์ | บนแกน :<0001>±0.5°สำหรับ 4H-SI | |||
| แฟลตหลัก | {10-10}±5.0° | |||
| ความยาวแบนหลัก | 47.5 มม. ± 2.5 มม. | |||
| การยกเว้นขอบ | 3 มม. | |||
| ทีทีวี/โบว์/วาร์ป | ≤15 ไมโครเมตร / ≤40 ไมโครเมตร / ≤60 ไมโครเมตร | |||
| ความหนาแน่นของไมโครไพพ์ | ≤1 ซม.-2 | ≤5 ซม.-2 | ≤15 ซม.-2 | ≤50 ซม.-2 |
| ความต้านทาน 4H-N 4H-SI | 0.015~0.028 โอห์ม!ซม. | |||
| ≥1E5Ω!cm | ||||
| ความหยาบ | ค่า Ra ของวัสดุขัดเงา ≤1 นาโนเมตร ค่า Ra ของวัสดุ CMP ≤0.5 นาโนเมตร | |||
| #รอยแตกจากแสงความเข้มสูง | ไม่มี | อนุญาต 1 ชิ้น ,≤2 มม. | ความยาวรวม ≤10 มม. ความยาวต่อเส้น ≤2 มม. | |
| *แผ่นหกเหลี่ยมด้วยแสงความเข้มสูง | พื้นที่สะสม ≤1% | พื้นที่สะสม ≤ 2% | พื้นที่สะสม ≤ 5% | |
| *พื้นที่โพลีไทป์ด้วยแสงความเข้มสูง | ไม่มี | พื้นที่สะสม ≤ 2% | พื้นที่สะสม ≤ 5% | |
| *รอยขีดข่วนจากแสงที่มีความเข้มสูง | รอยขีดข่วน 3 รอยต่อความยาวสะสม 1 เท่าของเส้นผ่านศูนย์กลางแผ่นเวเฟอร์ | รอยขีดข่วน 5 รอย ต่อความยาวสะสม 1 เท่าของเส้นผ่านศูนย์กลางแผ่นเวเฟอร์ | รอยขีดข่วน 5 รอย มีความยาวรวมเท่ากับเส้นผ่านศูนย์กลางของแผ่นเวเฟอร์ 1 เท่า | |
| ชิปขอบ | ไม่มี | อนุญาต 3 ชิ้น แต่ละชิ้นต้องมีขนาดไม่เกิน 0.5 มม. | อนุญาต 5 ชิ้น แต่ละชิ้นมีขนาดไม่เกิน 1 มม. | |
| การปนเปื้อนจากแสงที่มีความเข้มสูง | ไม่มี
| |||
ฝ่ายขายและบริการลูกค้า
การจัดซื้อวัสดุ
แผนกจัดซื้อวัสดุมีหน้าที่รวบรวมวัตถุดิบทั้งหมดที่จำเป็นสำหรับการผลิตสินค้าของคุณ สามารถตรวจสอบย้อนกลับผลิตภัณฑ์และวัสดุทั้งหมดได้อย่างครบถ้วน รวมถึงการวิเคราะห์ทางเคมีและกายภาพได้ตลอดเวลา
คุณภาพ
ในระหว่างและหลังการผลิตหรือการกลึงผลิตภัณฑ์ของคุณ แผนกควบคุมคุณภาพจะเข้ามามีส่วนร่วมเพื่อให้แน่ใจว่าวัสดุและค่าความคลาดเคลื่อนทั้งหมดเป็นไปตามหรือเกินกว่าข้อกำหนดของคุณ
บริการ
เราภาคภูมิใจที่มีทีมวิศวกรฝ่ายขายที่มีประสบการณ์ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์มากกว่า 5 ปี พวกเขาได้รับการฝึกฝนมาเพื่อตอบคำถามทางเทคนิค รวมถึงให้ใบเสนอราคาที่ตรงเวลาตามความต้องการของคุณ
เราพร้อมอยู่เคียงข้างคุณเสมอเมื่อคุณมีปัญหา และจะแก้ไขปัญหาให้ภายใน 10 ชั่วโมง



