แผ่นเวเฟอร์ 4H-SiC แบบเอพิแท็กเซียล สำหรับ MOSFET แรงดันสูงพิเศษ (100–500 ไมโครเมตร, 6 นิ้ว)
แผนภาพโดยละเอียด
ภาพรวมผลิตภัณฑ์
การเติบโตอย่างรวดเร็วของรถยนต์ไฟฟ้า ระบบโครงข่ายไฟฟ้าอัจฉริยะ ระบบพลังงานหมุนเวียน และอุปกรณ์อุตสาหกรรมกำลังสูง ได้สร้างความต้องการอย่างเร่งด่วนสำหรับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ที่สามารถรองรับแรงดันไฟฟ้าสูงขึ้น ความหนาแน่นของกำลังไฟฟ้าสูงขึ้น และประสิทธิภาพที่มากขึ้น ในบรรดาเซมิคอนดักเตอร์ที่มีช่องว่างพลังงานกว้างนั้นซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC)โดดเด่นด้วยช่องว่างพลังงานกว้าง การนำความร้อนสูง และความแข็งแรงของสนามไฟฟ้าวิกฤตที่เหนือกว่า
ของเราแผ่นเวเฟอร์เอพิแท็กเซียล 4H-SiCได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมมาโดยเฉพาะสำหรับการใช้งาน MOSFET แรงดันสูงพิเศษโดยมีชั้นเอพิแท็กเซียลที่มีช่วงตั้งแต่100 ไมโครเมตร ถึง 500 ไมโครเมตร on วัสดุพิมพ์ขนาด 6 นิ้ว (150 มม.)แผ่นเวเฟอร์เหล่านี้ให้บริเวณดริฟต์ที่กว้างขึ้นซึ่งจำเป็นสำหรับอุปกรณ์ระดับกิโลโวลต์ ในขณะที่ยังคงรักษาคุณภาพของผลึกและความสามารถในการปรับขนาดที่ยอดเยี่ยม ความหนามาตรฐาน ได้แก่ 100 ไมโครเมตร 200 ไมโครเมตร และ 300 ไมโครเมตร โดยสามารถปรับแต่งได้ตามต้องการ
ความหนาของชั้นเอพิแท็กเซียล
ชั้นเอพิแท็กเซียลมีบทบาทสำคัญในการกำหนดประสิทธิภาพของ MOSFET โดยเฉพาะอย่างยิ่งความสมดุลระหว่างแรงดันพังทลายและความต้านทาน.
-
100–200 ไมโครเมตร: ออกแบบมาเพื่อใช้งานกับ MOSFET แรงดันปานกลางถึงสูง โดยให้ความสมดุลที่ยอดเยี่ยมระหว่างประสิทธิภาพการนำไฟฟ้าและความสามารถในการต้านทานกระแสเกิน
-
200–500 ไมโครเมตรเหมาะสำหรับอุปกรณ์แรงดันสูงพิเศษ (10 kV ขึ้นไป) ซึ่งช่วยให้มีช่วงการเปลี่ยนแปลงแรงดันที่ยาวเพื่อคุณสมบัติการแตกตัวที่แข็งแกร่ง
ครอบคลุมทุกช่วงราคาความสม่ำเสมอของความหนาถูกควบคุมให้อยู่ภายใน ±2%ซึ่งช่วยให้มั่นใจได้ถึงความสม่ำเสมอจากแผ่นเวเฟอร์หนึ่งไปยังอีกแผ่นหนึ่ง และจากชุดการผลิตหนึ่งไปยังอีกชุดการผลิตหนึ่ง ความยืดหยุ่นนี้ช่วยให้นักออกแบบสามารถปรับแต่งประสิทธิภาพของอุปกรณ์ให้เหมาะสมกับระดับแรงดันไฟฟ้าเป้าหมาย ในขณะที่ยังคงรักษาความสามารถในการผลิตซ้ำได้ในการผลิตจำนวนมาก
กระบวนการผลิต
แผ่นเวเฟอร์ของเราผลิตขึ้นโดยใช้เทคโนโลยีล้ำสมัย CVD (Chemical Vapor Deposition) epitaxyซึ่งช่วยให้สามารถควบคุมความหนา การเจือปน และคุณภาพของผลึกได้อย่างแม่นยำ แม้กระทั่งสำหรับชั้นที่มีความหนามาก
-
โรคหลอดเลือดหัวใจตีบชนิด Epitaxy– ก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงและสภาวะที่เหมาะสมช่วยให้ได้พื้นผิวที่เรียบเนียนและมีข้อบกพร่องน้อย
-
การเจริญเติบโตของชั้นหนา– สูตรกระบวนการที่เป็นกรรมสิทธิ์ช่วยให้ได้ความหนาของชั้นเอพิแท็กเซียลสูงถึง500 ไมโครเมตรมีความสม่ำเสมอดีเยี่ยม
-
การควบคุมการใช้สารต้องห้าม– สามารถปรับความเข้มข้นได้ระหว่าง1×10¹⁴ – 1×10¹⁶ cm⁻³โดยมีความสม่ำเสมอดีกว่า ±5%
-
การเตรียมพื้นผิว– แผ่นเวเฟอร์ผ่านกระบวนการต่างๆการขัดเงา CMPและการตรวจสอบอย่างเข้มงวด เพื่อให้มั่นใจถึงความเข้ากันได้กับกระบวนการขั้นสูง เช่น การออกซิเดชันของเกต โฟโตลิโทกราฟี และการเคลือบโลหะ
ข้อได้เปรียบที่สำคัญ
-
ความสามารถในการรับแรงดันไฟฟ้าสูงพิเศษ– ชั้นเอพิแท็กเซียลหนา (100–500 ไมโครเมตร) ช่วยรองรับการออกแบบ MOSFET ระดับกิโลโวลต์
-
คุณภาพของคริสตัลที่ยอดเยี่ยม– ความหนาแน่นของการเคลื่อนตัวและการบกพร่องของระนาบฐานที่ต่ำ ช่วยให้มั่นใจได้ถึงความน่าเชื่อถือและลดการรั่วไหลให้น้อยที่สุด
-
แผ่นรองขนาดใหญ่ 6 นิ้ว– รองรับการผลิตในปริมาณมาก ลดต้นทุนต่ออุปกรณ์ และเข้ากันได้กับโรงงานผลิตชิป
-
คุณสมบัติทางความร้อนที่เหนือกว่า– ค่าการนำความร้อนสูงและช่องว่างพลังงานกว้าง ช่วยให้การทำงานมีประสิทธิภาพที่กำลังไฟฟ้าและอุณหภูมิสูง
-
พารามิเตอร์ที่ปรับแต่งได้– ความหนา การเจือสาร การวางแนว และการตกแต่งพื้นผิว สามารถปรับแต่งให้ตรงตามความต้องการเฉพาะได้
ข้อกำหนดทั่วไป
| พารามิเตอร์ | ข้อกำหนด |
|---|---|
| ประเภทการนำไฟฟ้า | ชนิด N (เจือไนโตรเจน) |
| ความต้านทาน | ใดๆ |
| มุมนอกแกน | 4° ± 0.5° (ไปทาง [11-20]) |
| การวางแนวผลึก | (0001) หน้า Si |
| ความหนา | 200–300 ไมโครเมตร (ปรับแต่งได้ 100–500 ไมโครเมตร) |
| การตกแต่งพื้นผิว | ด้านหน้า: ขัดเงา CMP (พร้อมสำหรับการปลูกเล็บแบบอีพิโทป) ด้านหลัง: ขัดหยาบหรือขัดเงา |
| ทีทีวี | ≤ 10 ไมโครเมตร |
| คันธนู/การบิดเบี้ยว | ≤ 20 ไมโครเมตร |
ขอบเขตการใช้งาน
แผ่นเวเฟอร์เอพิแท็กเซียล 4H-SiC เหมาะอย่างยิ่งสำหรับMOSFET ในระบบแรงดันสูงพิเศษ, รวมทั้ง:
-
อินเวอร์เตอร์สำหรับระบบขับเคลื่อนรถยนต์ไฟฟ้าและโมดูลชาร์จแรงดันสูง
-
อุปกรณ์ส่งและจำหน่ายโครงข่ายไฟฟ้าอัจฉริยะ
-
อินเวอร์เตอร์พลังงานหมุนเวียน (พลังงานแสงอาทิตย์ พลังงานลม และระบบจัดเก็บพลังงาน)
-
แหล่งจ่ายไฟอุตสาหกรรมกำลังสูงและระบบสวิตช์
คำถามที่พบบ่อย
คำถามที่ 1: การนำไฟฟ้าเป็นประเภทใด?
A1: ชนิด N-type ที่เจือด้วยไนโตรเจน — มาตรฐานอุตสาหกรรมสำหรับ MOSFET และอุปกรณ์กำลังไฟฟ้าอื่นๆ
Q2: มีความหนาของฟิล์มเอพิแท็กเซียลแบบใดบ้าง?
A2: ความหนา 100–500 ไมโครเมตร โดยมีตัวเลือกมาตรฐานที่ 100 ไมโครเมตร, 200 ไมโครเมตร และ 300 ไมโครเมตร ความหนาแบบกำหนดเองมีให้บริการตามคำขอ
Q3: การวางแนวของแผ่นเวเฟอร์และมุมนอกแกนคืออะไร?
A3: (0001) ด้าน Si โดยมีมุม 4° ± 0.5° เบี่ยงเบนจากแกนไปทางทิศทาง [11-20]
เกี่ยวกับเรา
XKH เชี่ยวชาญด้านการพัฒนา การผลิต และการขายเทคโนโลยีขั้นสูงของกระจกออปติคอลพิเศษและวัสดุคริสตัลใหม่ ผลิตภัณฑ์ของเราให้บริการด้านอิเล็กทรอนิกส์เชิงแสง อิเล็กทรอนิกส์สำหรับผู้บริโภค และการทหาร เรานำเสนอชิ้นส่วนออปติคอลแซฟไฟร์ ฝาครอบเลนส์โทรศัพท์มือถือ เซรามิก LT ซิลิคอนคาร์ไบด์ SIC ควอตซ์ และแผ่นเวเฟอร์คริสตัลเซมิคอนดักเตอร์ ด้วยความเชี่ยวชาญและอุปกรณ์ที่ทันสมัย เราโดดเด่นในการแปรรูปผลิตภัณฑ์ที่ไม่เป็นไปตามมาตรฐาน โดยมุ่งมั่นที่จะเป็นผู้นำด้านเทคโนโลยีขั้นสูงของวัสดุออปโตอิเล็กทรอนิกส์










