แผ่นเวเฟอร์แก้ว BF33 แผ่นรองพื้นโบโรซิลิเกตขั้นสูง ขนาด 2″4″6″8″12″
แผนภาพโดยละเอียด
ภาพรวมของแผ่นเวเฟอร์แก้ว BF33
แผ่นกระจก BF33 ซึ่งได้รับการยอมรับในระดับสากลภายใต้ชื่อทางการค้า BOROFLOAT 33 เป็นกระจกโฟลตโบโรซิลิเคตเกรดพรีเมียมที่ผลิตโดย SCHOTT โดยใช้วิธีการผลิตแบบไมโครโฟลตแบบพิเศษ กระบวนการผลิตนี้ให้แผ่นกระจกที่มีความหนาสม่ำเสมอเป็นพิเศษ ความเรียบของพื้นผิวที่ยอดเยี่ยม ความขรุขระระดับไมโครน้อยที่สุด และความโปร่งใสทางแสงที่โดดเด่น
คุณสมบัติเด่นที่สำคัญของ BF33 คือค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน (CTE) ที่ต่ำมาก ประมาณ 3.3 × 10⁻⁶-6 K-1จึงทำให้เหมาะอย่างยิ่งกับพื้นผิวซิลิคอน คุณสมบัตินี้ช่วยให้สามารถผสานรวมเข้ากับอุปกรณ์ไมโครอิเล็กทรอนิกส์ MEMS และอุปกรณ์ออปโตอิเล็กทรอนิกส์ได้อย่างราบรื่น
องค์ประกอบทางวัสดุของแผ่นเวเฟอร์แก้ว BF33
BF33 จัดอยู่ในกลุ่มแก้วบอโรซิลิเคทและมีส่วนประกอบมากกว่าซิลิกา (SiO2) 80%นอกจากนี้ยังมีโบรอนออกไซด์ (B2O3) ออกไซด์ของโลหะอัลคาไล และอะลูมิเนียมออกไซด์ในปริมาณเล็กน้อย สูตรนี้ให้คุณสมบัติดังต่อไปนี้:
-
ความหนาแน่นต่ำกว่าเมื่อเทียบกับกระจกโซดาไลม์แล้ว จะช่วยลดน้ำหนักโดยรวมของชิ้นส่วนลงได้
-
ปริมาณด่างลดลงลดการรั่วไหลของไอออนในระบบวิเคราะห์หรือระบบชีวการแพทย์ที่มีความไวสูง
-
ความต้านทานที่ดีขึ้นเพื่อป้องกันการกัดกร่อนจากสารเคมี เช่น กรด ด่าง และตัวทำละลายอินทรีย์
กระบวนการผลิตแผ่นเวเฟอร์แก้ว BF33
แผ่นเวเฟอร์แก้ว BF33 ผลิตขึ้นผ่านขั้นตอนการควบคุมความแม่นยำสูงหลายขั้นตอน ขั้นแรก วัตถุดิบบริสุทธิ์สูง—ส่วนใหญ่ประกอบด้วยซิลิกา โบรอนออกไซด์ และออกไซด์ของด่างและอะลูมิเนียมในปริมาณเล็กน้อย—จะถูกชั่งน้ำหนักและผสมอย่างแม่นยำ จากนั้นจึงนำไปหลอมที่อุณหภูมิสูงและกลั่นเพื่อกำจัดฟองอากาศและสิ่งเจือปน โดยใช้กระบวนการไมโครโฟลต แก้วหลอมเหลวจะไหลผ่านดีบุกหลอมเหลวเพื่อสร้างแผ่นเรียบที่มีความสม่ำเสมอสูง แผ่นเหล่านี้จะถูกอบอ่อนอย่างช้าๆ เพื่อลดความเครียดภายใน จากนั้นจึงตัดเป็นแผ่นสี่เหลี่ยมผืนผ้าและตัดเป็นแผ่นเวเฟอร์ทรงกลม ขอบของเวเฟอร์จะถูกลบมุมหรือทำมุมเอียงเพื่อความทนทาน ตามด้วยการขัดเงาอย่างแม่นยำและการขัดเงาสองด้านเพื่อให้ได้พื้นผิวที่เรียบเนียนเป็นพิเศษ หลังจากทำความสะอาดด้วยคลื่นอัลตราโซนิคในห้องปลอดเชื้อแล้ว เวเฟอร์แต่ละแผ่นจะได้รับการตรวจสอบอย่างเข้มงวดในด้านขนาด ความเรียบ คุณภาพทางแสง และข้อบกพร่องของพื้นผิว สุดท้าย เวเฟอร์จะถูกบรรจุในภาชนะที่ปราศจากสิ่งปนเปื้อนเพื่อให้มั่นใจได้ว่าคุณภาพจะคงอยู่จนกว่าจะใช้งาน
คุณสมบัติทางกลของแผ่นเวเฟอร์แก้ว BF33
| ผลิตภัณฑ์ | โบโรโฟลต 33 |
| ความหนาแน่น | 2.23 กรัม/ซม³ |
| โมดูลัสของความยืดหยุ่น | 63 กิโลนิวตัน/มม.² |
| ความแข็งแบบ Knoop HK 0.1/20 | 480 |
| อัตราส่วนปัวซง | 0.2 |
| ค่าคงที่ไดอิเล็กทริก (@ 1 MHz & 25°C) | 4.6 |
| ค่าแทนเจนต์การสูญเสีย (ที่ 1 MHz และ 25°C) | 37 x 10-4 |
| ความแข็งแรงทางไฟฟ้า (ที่ 50 เฮิรตซ์ และ 25°C) | 16 kV/มม. |
| ดัชนีหักเห | 1.472 |
| การกระจายตัว (nF - nC) | 71.9 x 10-4 |
คำถามที่พบบ่อยเกี่ยวกับแผ่นเวเฟอร์แก้ว BF33
กระจก BF33 คืออะไร?
BF33 หรือเรียกอีกอย่างว่า BOROFLOAT® 33 เป็นกระจกโฟลตโบโรซิลิเคตคุณภาพสูงที่ผลิตโดย SCHOTT โดยใช้กระบวนการไมโครโฟลต มีคุณสมบัติเด่นคือ การขยายตัวทางความร้อนต่ำ (~3.3 × 10⁻⁶ K⁻¹), ทนต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างฉับพลันได้ดีเยี่ยม, มีความใสของแสงสูง และทนทานต่อสารเคมีได้ดีเยี่ยม
BF33 แตกต่างจากกระจกทั่วไปอย่างไร?
เมื่อเปรียบเทียบกับกระจกโซดาไลม์ BF33:
-
มีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำกว่ามาก ซึ่งช่วยลดความเครียดที่เกิดจากการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิ
-
มีความทนทานต่อสารเคมี เช่น กรด ด่าง และตัวทำละลายได้ดีกว่า
-
ให้การส่งผ่านรังสียูวีและอินฟราเรดที่สูงกว่า
-
ให้ความแข็งแรงเชิงกลและทนทานต่อรอยขีดข่วนได้ดีกว่า
เหตุใดจึงมีการใช้ BF33 ในงานด้านเซมิคอนดักเตอร์และ MEMS?
ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนของวัสดุนี้ใกล้เคียงกับซิลิคอน ทำให้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการเชื่อมด้วยไฟฟ้าและการผลิตระดับไมโคร นอกจากนี้ ความทนทานต่อสารเคมียังช่วยให้ทนต่อการกัดกร่อน การทำความสะอาด และกระบวนการที่อุณหภูมิสูงได้โดยไม่เสื่อมสภาพ
BF33 ทนต่ออุณหภูมิสูงได้หรือไม่?
-
ใช้งานต่อเนื่อง: สูงสุดประมาณ 450 °C
-
การสัมผัสในระยะสั้น (≤ 10 ชั่วโมง): สูงถึง ~500 °C
ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำยังช่วยให้ทนทานต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างรวดเร็วได้ดีเยี่ยม
เกี่ยวกับเรา
XKH เชี่ยวชาญด้านการพัฒนา การผลิต และการขายเทคโนโลยีขั้นสูงของกระจกออปติคอลพิเศษและวัสดุคริสตัลใหม่ ผลิตภัณฑ์ของเราให้บริการด้านอิเล็กทรอนิกส์เชิงแสง อิเล็กทรอนิกส์สำหรับผู้บริโภค และการทหาร เรานำเสนอชิ้นส่วนออปติคอลแซฟไฟร์ ฝาครอบเลนส์โทรศัพท์มือถือ เซรามิก LT ซิลิคอนคาร์ไบด์ SIC ควอตซ์ และแผ่นเวเฟอร์คริสตัลเซมิคอนดักเตอร์ ด้วยความเชี่ยวชาญและอุปกรณ์ที่ทันสมัย เราโดดเด่นในการแปรรูปผลิตภัณฑ์ที่ไม่เป็นไปตามมาตรฐาน โดยมุ่งมั่นที่จะเป็นผู้นำด้านเทคโนโลยีขั้นสูงของวัสดุออปโตอิเล็กทรอนิกส์











