BF33 แผ่นเวเฟอร์แก้วโบโรซิลิเกตขั้นสูง 2″4″6″8″12″
แผนภาพรายละเอียด
ภาพรวมของเวเฟอร์แก้ว BF33
แผ่นเวเฟอร์แก้ว BF33 ซึ่งได้รับการยอมรับในระดับสากลภายใต้ชื่อทางการค้า BOROFLOAT 33 เป็นกระจกโบโรซิลิเกตลอยเกรดพรีเมียมที่ออกแบบโดย SCHOTT โดยใช้กรรมวิธีการผลิตแบบไมโครโฟลตเฉพาะทาง กระบวนการผลิตนี้ทำให้ได้แผ่นกระจกที่มีความหนาสม่ำเสมอเป็นพิเศษ พื้นผิวเรียบเป็นเลิศ ความหยาบระดับไมโครต่ำ และความโปร่งใสทางแสงที่โดดเด่น
ลักษณะเด่นที่สำคัญของ BF33 คือค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวเนื่องจากความร้อน (CTE) ต่ำประมาณ 3.3 × 10-6 K-1ทำให้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับใช้กับซับสเตรตซิลิคอน คุณสมบัตินี้ช่วยให้สามารถผสานเข้ากับอุปกรณ์ไมโครอิเล็กทรอนิกส์ MEMS และออปโตอิเล็กทรอนิกส์ได้อย่างราบรื่น
ส่วนประกอบวัสดุของเวเฟอร์แก้ว BF33
BF33 เป็นของตระกูลแก้วโบโรซิลิเกตและมีมากกว่าซิลิกา 80% (SiO2)ควบคู่ไปกับโบรอนออกไซด์ (B2O3) ออกไซด์ของอัลคาไล และอะลูมิเนียมออกไซด์ในปริมาณเล็กน้อย สูตรนี้ประกอบด้วย:
-
ความหนาแน่นต่ำกว่าเมื่อเทียบกับแก้วโซดาไลม์ ช่วยลดน้ำหนักของส่วนประกอบโดยรวม
-
ปริมาณด่างที่ลดลงลดการชะล้างไอออนในระบบวิเคราะห์หรือระบบชีวการแพทย์ที่ละเอียดอ่อน
-
ความต้านทานที่เพิ่มขึ้นต่อการโจมตีทางเคมีจากกรด ด่าง และตัวทำละลายอินทรีย์
กระบวนการผลิตเวเฟอร์แก้ว BF33
เวเฟอร์แก้ว BF33 ผลิตขึ้นผ่านขั้นตอนการควบคุมที่แม่นยำหลายขั้นตอน ขั้นแรก วัตถุดิบที่มีความบริสุทธิ์สูง ซึ่งส่วนใหญ่ได้แก่ ซิลิกา โบรอนออกไซด์ และอัลคาไลและอะลูมิเนียมออกไซด์ในปริมาณเล็กน้อย จะถูกชั่งน้ำหนักและผสมอย่างแม่นยำ วัตถุดิบจะถูกหลอมที่อุณหภูมิสูงและกลั่นเพื่อกำจัดฟองอากาศและสิ่งเจือปน แก้วหลอมเหลวจะไหลผ่านดีบุกหลอมเหลวเพื่อสร้างแผ่นที่เรียบและสม่ำเสมอสูง แผ่นเหล่านี้จะถูกอบอย่างช้าๆ เพื่อบรรเทาแรงเค้นภายใน จากนั้นจึงตัดเป็นแผ่นสี่เหลี่ยมและตัดขอบเวเฟอร์เป็นแผ่นกลม ขอบเวเฟอร์จะถูกตัดเฉียงหรือลบมุมเพื่อความทนทาน ตามด้วยการขัดผิวอย่างแม่นยำและการขัดสองด้านเพื่อให้ได้พื้นผิวที่เรียบเนียนเป็นพิเศษ หลังจากการทำความสะอาดด้วยอัลตราโซนิกในห้องคลีนรูมแล้ว เวเฟอร์แต่ละแผ่นจะได้รับการตรวจสอบอย่างเข้มงวดทั้งในด้านขนาด ความเรียบ คุณภาพแสง และข้อบกพร่องของพื้นผิว สุดท้าย เวเฟอร์จะถูกบรรจุในภาชนะที่ปราศจากการปนเปื้อนเพื่อรับประกันคุณภาพจนกว่าจะนำไปใช้งาน
สมบัติเชิงกลของเวเฟอร์แก้ว BF33
| ผลิตภัณฑ์ | โบโรโฟลต 33 |
| ความหนาแน่น | 2.23 กรัม/ลูกบาศก์เซนติเมตร |
| โมดูลัสของความยืดหยุ่น | 63 กิโลนิวตัน/ตร.มม. |
| ความแข็งของ Knoop HK 0.1/20 | 480 |
| อัตราส่วนปัวซอง | 0.2 |
| ค่าคงที่ไดอิเล็กตริก (@ 1 MHz และ 25°C) | 4.6 |
| แทนเจนต์การสูญเสีย (@ 1 MHz และ 25°C) | 37 x 10-4 |
| ความแข็งแรงของฉนวนไฟฟ้า(@ 50 Hz & 25°C) | 16 กิโลโวลต์/มม. |
| ดัชนีหักเหแสง | 1.472 |
| การกระจายตัว (nF - nC) | 71.9 x 10-4 |
คำถามที่พบบ่อยของเวเฟอร์แก้ว BF33
กระจก BF33 คืออะไร?
BF33 หรือที่เรียกว่า BOROFLOAT® 33 เป็นกระจกโบโรซิลิเกตลอยเกรดพรีเมียมที่ผลิตโดย SCHOTT โดยใช้กระบวนการไมโครโฟลต มีคุณสมบัติการขยายตัวทางความร้อนต่ำ (~3.3 × 10⁻⁶ K⁻¹) ทนทานต่อแรงกระแทกจากความร้อนได้ดีเยี่ยม ให้ความใสทางแสงสูง และทนทานต่อสารเคมีอย่างเหนือชั้น
BF33 แตกต่างจากกระจกธรรมดาอย่างไร?
เมื่อเทียบกับแก้วโซดาไลม์ BF33:
-
มีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวเนื่องจากความร้อนต่ำกว่ามาก ช่วยลดความเครียดจากการเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิ
-
ทนทานต่อกรด ด่าง และตัวทำละลายทางเคมีได้ดีกว่า
-
ให้การส่งผ่านรังสี UV และ IR ที่สูงขึ้น
-
ให้ความแข็งแรงเชิงกลและทนต่อรอยขีดข่วนได้ดีขึ้น
เหตุใดจึงใช้ BF33 ในแอปพลิเคชันเซมิคอนดักเตอร์และ MEMS
การขยายตัวทางความร้อนใกล้เคียงกับซิลิคอน จึงเหมาะอย่างยิ่งสำหรับการยึดติดแบบแอโนดและการผลิตแบบไมโคร ความทนทานต่อสารเคมียังช่วยให้ทนทานต่อการกัดกร่อน การทำความสะอาด และกระบวนการที่อุณหภูมิสูงโดยไม่เสื่อมสภาพ
BF33 ทนอุณหภูมิสูงได้ไหม?
-
การใช้งานต่อเนื่อง: สูงสุด ~450 °C
-
การสัมผัสในระยะสั้น (≤ 10 ชั่วโมง): สูงถึง ~500 °C
ค่า CTE ที่ต่ำยังช่วยให้ทนทานต่อการเปลี่ยนแปลงความร้อนอย่างรวดเร็วได้เป็นอย่างดี
เกี่ยวกับเรา
XKH เชี่ยวชาญด้านการพัฒนา การผลิต และการจำหน่ายกระจกออปติคอลชนิดพิเศษและวัสดุคริสตัลชนิดใหม่ด้วยเทคโนโลยีขั้นสูง ผลิตภัณฑ์ของเราครอบคลุมอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ออปติคอล อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์สำหรับผู้บริโภค และกองทัพ เราจำหน่ายชิ้นส่วนออปติคอลแซฟไฟร์ ฝาครอบเลนส์โทรศัพท์มือถือ เซรามิกส์ ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SIC) ควอตซ์ และเวเฟอร์คริสตัลเซมิคอนดักเตอร์ ด้วยความเชี่ยวชาญและอุปกรณ์ที่ทันสมัย เรามีความเชี่ยวชาญในกระบวนการผลิตผลิตภัณฑ์ที่ไม่ได้มาตรฐาน โดยมุ่งมั่นที่จะเป็นองค์กรเทคโนโลยีขั้นสูงชั้นนำด้านวัสดุออปติคอลอิเล็กทรอนิกส์
