แผ่นเวเฟอร์แซฟไฟร์ขนาด 12 นิ้ว เส้นผ่านศูนย์กลาง 300x1.0 มม. C-Plane SSP/DSP
สถานการณ์ตลาดวัสดุซับสเตรตแซฟไฟร์ขนาด 12 นิ้ว
ในปัจจุบันแซฟไฟร์มีการใช้งานหลัก 2 แบบ แบบแรกคือเป็นวัสดุพื้นผิว ซึ่งส่วนใหญ่เป็นวัสดุพื้นผิว LED อีกแบบหนึ่งคือใช้ทำหน้าปัดนาฬิกา การบิน อวกาศ และวัสดุหน้าต่างการผลิตพิเศษ
แม้ว่าซิลิคอนคาร์ไบด์ ซิลิคอน และแกลเลียมไนไตรด์ จะใช้เป็นวัสดุตั้งต้นสำหรับหลอดไฟ LED นอกเหนือจากแซฟไฟร์แล้ว การผลิตจำนวนมากยังคงเป็นไปไม่ได้เนื่องจากต้นทุนที่สูงและปัญหาทางเทคนิคที่ยังไม่ได้รับการแก้ไข วัสดุตั้งต้นของแซฟไฟร์ได้รับการพัฒนาทางเทคนิคในช่วงไม่กี่ปีที่ผ่านมา การจับคู่โครงตาข่าย การนำไฟฟ้า คุณสมบัติเชิงกล การนำความร้อน และคุณสมบัติอื่นๆ ได้รับการปรับปรุงและส่งเสริมอย่างมาก ส่งผลให้แซฟไฟร์มีข้อได้เปรียบด้านต้นทุนที่สำคัญ แซฟไฟร์จึงกลายเป็นวัสดุตั้งต้นที่มีเสถียรภาพและครบถ้วนที่สุดในอุตสาหกรรม LED และถูกนำไปใช้อย่างแพร่หลายในตลาด โดยมีส่วนแบ่งการตลาดสูงถึง 90%
ลักษณะของแผ่นเวเฟอร์แซฟไฟร์ขนาด 12 นิ้ว
1. พื้นผิวซับสเตรตแซฟไฟร์มีจำนวนอนุภาคต่ำมาก โดยมีอนุภาคขนาด 0.3 ไมครอนหรือมากกว่าน้อยกว่า 50 อนุภาคต่อ 2 นิ้ว ในช่วงขนาด 2 ถึง 8 นิ้ว และโลหะหลัก (K, Ti, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn) ต่ำกว่า 2E10/cm2 คาดว่าวัสดุซับสเตรตขนาด 12 นิ้วนี้จะสามารถบรรลุเกรดนี้ได้เช่นกัน
2. สามารถใช้เป็นเวเฟอร์พาหะสำหรับกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ขนาด 12 นิ้ว (พาเลทขนส่งภายในอุปกรณ์) และเป็นพื้นผิวสำหรับการเชื่อมติด
3. สามารถควบคุมรูปร่างของพื้นผิวเว้าและนูนได้
วัสดุ: Al2O3 ผลึกเดี่ยวที่มีความบริสุทธิ์สูง, เวเฟอร์แซฟไฟร์
คุณภาพ LED ไม่มีฟองอากาศ รอยแตก ฝาแฝด สายพันธุ์ ไม่มีสี..ฯลฯ
เวเฟอร์แซฟไฟร์ขนาด 12 นิ้ว
| ปฐมนิเทศ | ระนาบ C<0001> +/- 1 องศา |
| เส้นผ่านศูนย์กลาง | 300.0 +/-0.25 มม. |
| ความหนา | 1.0 +/-25 ไมโครเมตร |
| รอยบาก | รอยบากหรือแบน |
| ทีทีวี | <50um |
| โค้งคำนับ | <50um |
| ขอบ | การป้องกันมุมเอียง |
| ด้านหน้า – ขัดเงา 80/50 | |
| เครื่องหมายเลเซอร์ | ไม่มี |
| บรรจุภัณฑ์ | กล่องใส่เวเฟอร์แบบเดี่ยว |
| ด้านหน้า Epi พร้อมขัดเงา (Ra <0,3nm) | |
| ด้านหลัง Epi พร้อมขัดเงา (Ra <0,3nm) | |
แผนภาพรายละเอียด
