แผ่นเวเฟอร์แซฟไฟร์ขนาดเส้นผ่านศูนย์กลาง 12 นิ้ว 300x1.0 มม. C-Plane SSP/DSP
สถานการณ์ตลาดแผ่นซับสเตรตแซฟไฟร์ขนาด 12 นิ้ว
ในปัจจุบัน แซฟไฟร์มีการใช้งานหลัก 2 แบบ หนึ่งคือวัสดุพื้นผิว ซึ่งส่วนใหญ่เป็นวัสดุพื้นผิว LED อีกประการหนึ่งคือวัสดุสำหรับหน้าปัดนาฬิกา เครื่องบิน อวกาศ และวัสดุสำหรับหน้าต่างการผลิตพิเศษ
แม้ว่าซิลิกอนคาร์ไบด์ ซิลิกอน และแกลเลียมไนไตรด์จะมีจำหน่ายเป็นวัสดุพื้นผิวสำหรับ LED นอกเหนือไปจากแซฟไฟร์ แต่การผลิตจำนวนมากยังคงเป็นไปไม่ได้เนื่องจากต้นทุนและคอขวดทางเทคนิคที่ยังไม่ได้รับการแก้ไข วัสดุพื้นผิวแซฟไฟร์ผ่านการพัฒนาทางเทคนิคในช่วงไม่กี่ปีที่ผ่านมา การจับคู่โครงตาข่าย การนำไฟฟ้า คุณสมบัติเชิงกล การนำความร้อน และคุณสมบัติอื่นๆ ได้รับการปรับปรุงและส่งเสริมอย่างมาก ข้อได้เปรียบด้านต้นทุนมีความสำคัญ ดังนั้นแซฟไฟร์จึงกลายเป็นวัสดุพื้นผิวที่เป็นผู้ใหญ่และมีเสถียรภาพมากที่สุดในอุตสาหกรรม LED ถูกใช้กันอย่างแพร่หลายในตลาด โดยมีส่วนแบ่งการตลาดสูงถึง 90%
ลักษณะเฉพาะของแผ่นเวเฟอร์แซฟไฟร์ขนาด 12 นิ้ว
1. พื้นผิวของแซฟไฟร์มีจำนวนอนุภาคที่ต่ำมาก โดยมีอนุภาคขนาด 0.3 ไมครอนหรือใหญ่กว่าน้อยกว่า 50 อนุภาคต่อ 2 นิ้วในช่วงขนาด 2 ถึง 8 นิ้ว และมีโลหะหลัก (K, Ti, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn) ต่ำกว่า 2E10/cm2 วัสดุฐานขนาด 12 นิ้วคาดว่าจะบรรลุเกรดนี้เช่นกัน
2. สามารถใช้เป็นเวเฟอร์พาหะสำหรับกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ขนาด 12 นิ้ว (พาเลทขนส่งในอุปกรณ์) และเป็นพื้นผิวสำหรับการเชื่อมติด
3. สามารถควบคุมรูปร่างของพื้นผิวเว้าและนูนได้
วัสดุ: Al2O3 ผลึกเดี่ยวที่มีความบริสุทธิ์สูง, เวเฟอร์แซฟไฟร์
คุณภาพ LED ไม่มีฟอง ไม่มีรอยแตก มีฝาแฝด ไม่มีสายเลือด ไม่มีสี..ฯลฯ
เวเฟอร์แซฟไฟร์ขนาด 12 นิ้ว
| ปฐมนิเทศ | ระนาบ C<0001> +/- 1 องศา |
| เส้นผ่านศูนย์กลาง | 300.0 +/-0.25 มม. |
| ความหนา | 1.0 +/-25ไมโครเมตร |
| รอยบาก | รอยบากหรือแบน |
| ทีทีวี | <50ไมโครเมตร |
| โค้งคำนับ | <50ไมโครเมตร |
| ขอบ | มุมเอียงป้องกัน |
| ด้านหน้า – ขัดเงา 80/50 | |
| เครื่องหมายเลเซอร์ | ไม่มี |
| บรรจุภัณฑ์ | กล่องใส่เวเฟอร์แบบชิ้นเดียว |
| ด้านหน้า Epi พร้อมขัดเงา (Ra <0,3nm) | |
| ด้านหลัง Epi พร้อมขัดเงา (Ra <0,3nm) | |
แผนภาพรายละเอียด
