เวเฟอร์ GaN บนซิลิคอน Epi-layer ขนาด 150 มม. 200 มม. 6 นิ้ว 8 นิ้ว เวเฟอร์เอพิแทกเซียลแกเลียมไนไตรด์
วิธีการผลิต
กระบวนการผลิตเกี่ยวข้องกับการปลูกชั้น GaN บนพื้นผิวแซฟไฟร์โดยใช้เทคนิคขั้นสูง เช่น การสะสมไอเคมีอินทรีย์โลหะ (MOCVD) หรือเอพิแทกซีลำแสงโมเลกุล (MBE) กระบวนการการสะสมจะดำเนินการภายใต้เงื่อนไขที่ควบคุมเพื่อให้แน่ใจว่าได้คุณภาพผลึกสูงและฟิล์มที่สม่ำเสมอ
การใช้งาน GaN-On-Sapphire ขนาด 6 นิ้ว: ชิปพื้นผิวแซฟไฟร์ขนาด 6 นิ้วใช้กันอย่างแพร่หลายในระบบสื่อสารไมโครเวฟ ระบบเรดาร์ เทคโนโลยีไร้สาย และออปโตอิเล็กทรอนิกส์
แอปพลิเคชันทั่วไปบางอย่างรวมถึง
1. เครื่องขยายสัญญาณกำลัง RF
2.อุตสาหกรรมไฟส่องสว่างแบบ LED
3. อุปกรณ์สื่อสารเครือข่ายไร้สาย
4. อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง
5. อุปกรณ์ออปโตอิเล็กทรอนิกส์
ข้อมูลจำเพาะผลิตภัณฑ์
- ขนาด : เส้นผ่านศูนย์กลางพื้นผิว 6 นิ้ว (ประมาณ 150 มม.)
- คุณภาพพื้นผิว: พื้นผิวได้รับการขัดเงาอย่างละเอียดเพื่อให้ได้คุณภาพกระจกที่ยอดเยี่ยม
- ความหนา: ความหนาของชั้น GaN สามารถปรับแต่งได้ตามความต้องการเฉพาะ
- บรรจุภัณฑ์: พื้นผิวได้รับการบรรจุอย่างระมัดระวังด้วยวัสดุป้องกันไฟฟ้าสถิตย์เพื่อป้องกันความเสียหายระหว่างการขนส่ง
- การจัดตำแหน่งขอบ: วัสดุพิมพ์มีขอบการจัดตำแหน่งที่เฉพาะเจาะจงซึ่งช่วยให้จัดตำแหน่งและใช้งานได้สะดวกในระหว่างการเตรียมอุปกรณ์
- พารามิเตอร์อื่นๆ: พารามิเตอร์เฉพาะ เช่น ความบาง ความต้านทาน และความเข้มข้นของการเจือปน สามารถปรับได้ตามข้อกำหนดของลูกค้า
ด้วยคุณสมบัติของวัสดุที่เหนือกว่าและการใช้งานที่หลากหลาย เวเฟอร์ซับสเตรตแซฟไฟร์ขนาด 6 นิ้วจึงเป็นตัวเลือกที่เชื่อถือได้สำหรับการพัฒนาอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ประสิทธิภาพสูงในอุตสาหกรรมต่างๆ
| พื้นผิว | 6” 1มม. <111> ซิลิกอนชนิด p | 6” 1มม. <111> ซิลิกอนชนิด p |
| Epi หนาเฉลี่ย | ~5 ไมโครเมตร | ~7 ไมโครเมตร |
| เอพี ทิคยูนิฟ | <2% | <2% |
| โค้งคำนับ | +/-45ไมโครเมตร | +/-45ไมโครเมตร |
| การแตกร้าว | <5มม. | <5มม. |
| แนวตั้ง BV | มากกว่า 1000 โวลต์ | มากกว่า 1400 โวลต์ |
| เฮมท์ อัล% | 25-35% | 25-35% |
| HEMT หนาเฉลี่ย | 20-30นาโนเมตร | 20-30นาโนเมตร |
| ฝาปิด SiN แบบฝังใน | 5-60นาโนเมตร | 5-60นาโนเมตร |
| ความเข้มข้น 2DEG | ~1013cm-2 | ~1013cm-2 |
| ความคล่องตัว | ~2000ซม.2/เทียบกับ (<2%) | ~2000ซม.2/เทียบกับ (<2%) |
| ราชช | <330 โอห์ม/ตร.ม. (<2%) | <330 โอห์ม/ตร.ม. (<2%) |
แผนภาพรายละเอียด
