เวเฟอร์แซฟไฟร์ขนาด 6 นิ้ว 156 มม. 159 มม. สำหรับ C-Plane DSP TTV
ข้อมูลจำเพาะ
| รายการ | เวเฟอร์แซฟไฟร์ทรง C-plane ขนาด 6 นิ้ว (0001) | |
| วัสดุคริสตัล | 99,999% ความบริสุทธิ์สูง โมโนคริสตัลไลน์ Al2O3 | |
| ระดับ | ไพรม์, เอพิ-เรดดี้ | |
| การวางแนวพื้นผิว | เครื่องบินซี(0001) | |
| มุมเอียงของระนาบ C ไปทางแกน M 0.2 +/- 0.1° | ||
| เส้นผ่านศูนย์กลาง | 100.0 มม. +/- 0.1 มม. | |
| ความหนา | 650 ไมโครเมตร +/- 25 ไมโครเมตร | |
| การวางแนวแบนหลัก | ระนาบ C(00-01) +/- 0.2° | |
| ขัดด้านเดียว | พื้นผิวด้านหน้า | Epi-polished, Ra < 0.2 nm (โดย AFM) |
| (เอสเอสพี) | พื้นผิวด้านหลัง | บดละเอียด Ra = 0.8 μm ถึง 1.2 μm |
| ขัดเงาสองด้าน | พื้นผิวด้านหน้า | Epi-polished, Ra < 0.2 nm (โดย AFM) |
| (ดีเอสพี) | พื้นผิวด้านหลัง | Epi-polished, Ra < 0.2 nm (โดย AFM) |
| ทีทีวี | < 20 ไมโครเมตร | |
| โค้งคำนับ | < 20 ไมโครเมตร | |
| วาร์ป | < 20 ไมโครเมตร | |
| การทำความสะอาด / บรรจุภัณฑ์ | การทำความสะอาดห้องคลีนรูมและการบรรจุสูญญากาศคลาส 100 | |
| บรรจุ 1 ตลับมี 25 ชิ้น หรือบรรจุชิ้นเดียว | ||
ในปัจจุบันบริษัทหลายแห่งในประเทศจีนใช้วิธี Kylopoulos (วิธี KY) เพื่อผลิตคริสตัลแซฟไฟร์สำหรับใช้ในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์และอุปกรณ์ออปติก
ในกระบวนการนี้ อะลูมิเนียมออกไซด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงจะถูกหลอมละลายในเบ้าหลอมที่อุณหภูมิสูงกว่า 2,100 องศาเซลเซียส โดยทั่วไป เบ้าหลอมจะทำจากทังสเตนหรือโมลิบดีนัม ผลึกเมล็ดพืชที่มีทิศทางที่แม่นยำจะถูกจุ่มลงในอะลูมินาที่หลอมละลาย ผลึกเมล็ดพืชจะถูกดึงขึ้นช้าๆ และสามารถหมุนได้พร้อมกัน โดยการควบคุมการไล่ระดับอุณหภูมิ อัตราการดึง และอัตราการเย็นตัวอย่างแม่นยำ จึงสามารถผลิตแท่งผลึกเดี่ยวขนาดใหญ่ที่มีลักษณะเกือบเป็นทรงกระบอกจากของเหลวที่หลอมละลายได้
หลังจากที่แท่งแซฟไฟร์ผลึกเดี่ยวได้รับการปลูกแล้ว พวกมันจะถูกเจาะให้เป็นแท่งทรงกระบอก จากนั้นจึงตัดให้ได้ความหนาของหน้าต่างตามต้องการ และในที่สุดก็ขัดให้ได้พื้นผิวสำเร็จตามต้องการ
แผนภาพรายละเอียด
