เวเฟอร์แซฟไฟร์ขนาด 156 มม. 159 มม. ขนาด 6 นิ้วสำหรับผู้ให้บริการ C-Plane DSP TTV
ข้อมูลจำเพาะ
| รายการ | เวเฟอร์แซฟไฟร์ C-plane (0001) ขนาด 6 นิ้ว | |
| วัสดุคริสตัล | 99,999%, ความบริสุทธิ์สูง, Monocrystalline Al2O3 | |
| ระดับ | นายกรัฐมนตรี Epi-Ready | |
| การวางแนวพื้นผิว | เครื่องบินซี(0001) | |
| มุมออฟของระนาบ C ไปทางแกน M 0.2 +/- 0.1° | ||
| เส้นผ่านศูนย์กลาง | 100.0 มม. +/- 0.1 มม | |
| ความหนา | 650 ไมโครเมตร +/- 25 ไมโครเมตร | |
| ปฐมนิเทศแบนหลัก | ระนาบ C(00-01) +/- 0.2° | |
| ขัดด้านเดียว | พื้นผิวด้านหน้า | Epi-ขัดเงา, Ra < 0.2 นาโนเมตร (โดย AFM) |
| (สสส.) | พื้นผิวด้านหลัง | ดินละเอียด Ra = 0.8 μm ถึง 1.2 μm |
| ขัดเงาสองด้าน | พื้นผิวด้านหน้า | Epi-ขัดเงา, Ra < 0.2 นาโนเมตร (โดย AFM) |
| (ดีเอสพี) | พื้นผิวด้านหลัง | Epi-ขัดเงา, Ra < 0.2 นาโนเมตร (โดย AFM) |
| ทีทีวี | < 20 ไมโครเมตร | |
| โค้งคำนับ | < 20 ไมโครเมตร | |
| วาร์ป | < 20 ไมโครเมตร | |
| การทำความสะอาด / บรรจุภัณฑ์ | การทำความสะอาดห้องสะอาดและบรรจุภัณฑ์สูญญากาศคลาส 100 | |
| 25 ชิ้นในบรรจุภัณฑ์ตลับเดียวหรือบรรจุภัณฑ์ชิ้นเดียว | ||
ปัจจุบันบริษัทหลายแห่งในจีนใช้วิธี Kylopoulos (วิธี KY) เพื่อผลิตคริสตัลแซฟไฟร์สำหรับใช้ในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์และทัศนศาสตร์
ในกระบวนการนี้ อลูมิเนียมออกไซด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงจะถูกหลอมในเบ้าหลอมที่อุณหภูมิสูงกว่า 2,100 องศาเซลเซียส โดยปกติแล้วเบ้าหลอมจะทำจากทังสเตนหรือโมลิบดีนัม ผลึกเมล็ดที่มีการวางตำแหน่งอย่างแม่นยำจะถูกจุ่มลงในอลูมินาหลอมเหลว ผลึกเมล็ดจะถูกดึงขึ้นอย่างช้าๆ และอาจหมุนพร้อมกันได้ ด้วยการควบคุมอุณหภูมิ อัตราการดึง และอัตราการเย็นตัวอย่างแม่นยำ ทำให้สามารถผลิตแท่งโลหะผลึกเดี่ยวขนาดใหญ่เกือบทรงกระบอกได้จากการหลอม
หลังจากที่แท่งแซฟไฟร์คริสตัลเดี่ยวโตแล้ว พวกมันจะถูกเจาะเป็นแท่งทรงกระบอก จากนั้นจึงตัดให้ได้ความหนาของหน้าต่างที่ต้องการ และสุดท้ายก็ขัดให้ได้พื้นผิวที่ต้องการ
แผนภาพโดยละเอียด
เขียนข้อความของคุณที่นี่แล้วส่งมาให้เรา
