เวเฟอร์แซฟไฟร์ขนาด 156 มม. 159 มม. 6 นิ้ว สำหรับ C-Plane DSP TTV
ข้อมูลจำเพาะ
| รายการ | เวเฟอร์แซฟไฟร์แบบ C-plane ขนาด 6 นิ้ว (0001) | |
| วัสดุคริสตัล | 99,999%, ความบริสุทธิ์สูง, โมโนคริสตัลไลน์ Al2O3 | |
| ระดับ | ไพรม์ เอพิ-เรดดี้ | |
| การวางแนวพื้นผิว | ระนาบ C(0001) | |
| มุมเอียงของระนาบ C ไปทางแกน M 0.2 +/- 0.1° | ||
| เส้นผ่านศูนย์กลาง | 100.0 มม. +/- 0.1 มม. | |
| ความหนา | 650 ไมโครเมตร +/- 25 ไมโครเมตร | |
| การวางแนวแบนหลัก | ระนาบ C(00-01) +/- 0.2° | |
| ขัดด้านเดียว | พื้นผิวด้านหน้า | Epi-polished, Ra < 0.2 nm (โดย AFM) |
| (เอสเอสพี) | พื้นผิวด้านหลัง | บดละเอียด Ra = 0.8 μm ถึง 1.2 μm |
| ขัดเงาสองด้าน | พื้นผิวด้านหน้า | Epi-polished, Ra < 0.2 nm (โดย AFM) |
| (ดีเอสพี) | พื้นผิวด้านหลัง | Epi-polished, Ra < 0.2 nm (โดย AFM) |
| ทีทีวี | < 20 ไมโครเมตร | |
| โค้งคำนับ | < 20 ไมโครเมตร | |
| วาร์ป | < 20 ไมโครเมตร | |
| การทำความสะอาด / บรรจุภัณฑ์ | การทำความสะอาดห้องคลีนรูมและบรรจุภัณฑ์สูญญากาศคลาส 100 | |
| 25 ชิ้นในบรรจุภัณฑ์ตลับเดียวหรือบรรจุภัณฑ์ชิ้นเดียว | ||
ปัจจุบันบริษัทหลายแห่งในประเทศจีนใช้วิธี Kylopoulos (วิธี KY) เพื่อผลิตคริสตัลแซฟไฟร์สำหรับใช้ในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์และอุปกรณ์ออปติก
ในกระบวนการนี้ อะลูมิเนียมออกไซด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงจะถูกหลอมในเบ้าหลอมที่อุณหภูมิสูงกว่า 2100 องศาเซลเซียส โดยทั่วไปเบ้าหลอมมักทำจากทังสเตนหรือโมลิบดีนัม ผลึกเมล็ดที่มีทิศทางที่แม่นยำจะถูกจุ่มลงในอะลูมินาหลอมเหลว ผลึกเมล็ดจะถูกดึงขึ้นอย่างช้าๆ และสามารถหมุนได้พร้อมกัน ด้วยการควบคุมการไล่ระดับอุณหภูมิ อัตราการดึง และอัตราการเย็นตัวอย่างแม่นยำ จึงสามารถผลิตแท่งผลึกเดี่ยวขนาดใหญ่ที่มีรูปร่างเกือบเป็นทรงกระบอกจากของเหลวหลอมเหลวได้
หลังจากที่แท่งแซฟไฟร์ผลึกเดี่ยวเจริญเติบโตแล้ว แท่งเหล่านี้จะถูกเจาะให้เป็นแท่งทรงกระบอก จากนั้นจึงตัดให้ได้ความหนาตามต้องการสำหรับหน้าต่าง และสุดท้ายขัดให้ได้ผิวสำเร็จตามต้องการ
แผนภาพรายละเอียด
สินค้าที่เกี่ยวข้อง
เขียนข้อความของคุณที่นี่และส่งถึงเรา