แผ่นซับสเตรตลายแซฟไฟร์ขนาด 2 นิ้ว 4 นิ้ว 6 นิ้ว (PSS) ที่ปลูกวัสดุ GaN ไว้สามารถใช้สำหรับไฟ LED ได้

คำอธิบายสั้น ๆ :

ซับสเตรตแซฟไฟร์แบบมีลวดลาย (PSS) เป็นมาสก์สำหรับการกัดแบบแห้งบนซับสเตรตแซฟไฟร์ โดยมาสก์จะถูกแกะสลักด้วยลวดลายด้วยกระบวนการลิโธกราฟีมาตรฐาน จากนั้นแซฟไฟร์จะถูกกัดด้วยเทคโนโลยีกัดแบบ ICP จากนั้นนำมาสก์ออก และในขั้นตอนสุดท้ายจะเพาะวัสดุ GaN ลงไป ทำให้อิพิแทกซีตามยาวของวัสดุ GaN กลายเป็นอิพิแทกซีแนวนอน กระบวนการนี้ประกอบด้วยหลายขั้นตอน เช่น การเคลือบด้วยโฟโตเรซิสต์ การเปิดรับแสงแบบเป็นขั้นตอน การพัฒนารูปแบบการเปิดรับแสง การกัดแบบแห้งด้วย ICP และการทำความสะอาด


คุณสมบัติ

คุณสมบัติหลัก

1. ลักษณะโครงสร้าง :
พื้นผิว PSS มีรูปแบบกรวยหรือรูปสามเหลี่ยมที่มีระเบียบ โดยสามารถควบคุมรูปร่าง ขนาด และการกระจายได้โดยการปรับพารามิเตอร์กระบวนการกัด
โครงสร้างกราฟิกเหล่านี้ช่วยเปลี่ยนเส้นทางการแพร่กระจายของแสงและลดการสะท้อนของแสงทั้งหมด จึงทำให้ประสิทธิภาพในการสกัดแสงดีขึ้น

2. คุณสมบัติของวัสดุ:
PSS ใช้แซฟไฟร์คุณภาพสูงเป็นวัสดุพื้นผิว ซึ่งมีคุณลักษณะคือความแข็งสูง การนำความร้อนสูง เสถียรภาพทางเคมีที่ดี และความโปร่งใสทางแสง
คุณลักษณะเหล่านี้ทำให้ PSS สามารถทนต่อสภาพแวดล้อมที่รุนแรง เช่น อุณหภูมิและแรงดันสูงได้ ในขณะที่ยังคงประสิทธิภาพทางแสงที่ยอดเยี่ยม

3. ประสิทธิภาพด้านออปติคอล:
การเปลี่ยนแปลงการกระเจิงหลายครั้งที่อินเทอร์เฟซระหว่าง GaN และซับสเตรตแซฟไฟร์ PSS ทำให้โฟตอนที่สะท้อนทั้งหมดภายในชั้น GaN มีโอกาสหลุดออกจากซับสเตรตแซฟไฟร์
คุณสมบัตินี้ช่วยปรับปรุงประสิทธิภาพการสกัดแสงของ LED ได้อย่างมีนัยสำคัญและเพิ่มความเข้มของการส่องสว่างของ LED

4. ลักษณะกระบวนการ:
กระบวนการผลิต PSS ค่อนข้างซับซ้อน เกี่ยวข้องกับขั้นตอนต่างๆ มากมาย เช่น การพิมพ์หินและการแกะสลัก และต้องใช้อุปกรณ์ที่มีความแม่นยำสูงและการควบคุมกระบวนการ
อย่างไรก็ตาม ด้วยความก้าวหน้าอย่างต่อเนื่องของเทคโนโลยีและการลดต้นทุน กระบวนการผลิต PSS จึงค่อยๆ ได้รับการปรับให้เหมาะสมและปรับปรุง

ข้อได้เปรียบหลัก

1. ปรับปรุงประสิทธิภาพการสกัดแสง: PSS ช่วยปรับปรุงประสิทธิภาพการสกัดแสงของ LED อย่างมีนัยสำคัญโดยการเปลี่ยนเส้นทางการแพร่กระจายแสงและลดการสะท้อนทั้งหมด

2. ยืดอายุการใช้งานของ LED: PSS สามารถลดความหนาแน่นของการเคลื่อนตัวของวัสดุเอพิแทกเซียล GaN ได้ จึงช่วยลดการรวมตัวที่ไม่แผ่รังสีและกระแสไฟรั่วย้อนกลับในบริเวณที่ทำงานอยู่ ทำให้ยืดอายุการใช้งานของ LED ได้

3.ปรับปรุงความสว่างของ LED: เนื่องจากการปรับปรุงประสิทธิภาพในการสกัดแสงและการขยายอายุการใช้งานของ LED ความเข้มของการส่องสว่างของ LED บน PSS จึงเพิ่มขึ้นอย่างมาก

4.ลดต้นทุนการผลิต: แม้ว่ากระบวนการผลิต PSS จะค่อนข้างซับซ้อน แต่สามารถปรับปรุงประสิทธิภาพการส่องสว่างและอายุการใช้งานของ LED ได้อย่างมีนัยสำคัญ ซึ่งช่วยลดต้นทุนการผลิตได้ในระดับหนึ่งและปรับปรุงขีดความสามารถในการแข่งขันของผลิตภัณฑ์

พื้นที่การใช้งานหลัก

1. ไฟ LED: PSS เป็นวัสดุพื้นผิวสำหรับชิป LED ซึ่งช่วยปรับปรุงประสิทธิภาพการส่องสว่างและอายุการใช้งานของ LED ได้อย่างมีนัยสำคัญ
ในด้านของไฟ LED, PSS ถูกใช้กันอย่างแพร่หลายในผลิตภัณฑ์ไฟส่องสว่างต่างๆ เช่น โคมไฟถนน โคมไฟตั้งโต๊ะ ไฟรถยนต์ และอื่นๆ

2.อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์: นอกเหนือจากไฟ LED แล้ว PSS ยังสามารถใช้ในการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์อื่นๆ เช่น เครื่องตรวจจับแสง เลเซอร์ เป็นต้น อุปกรณ์เหล่านี้มีการใช้งานที่หลากหลายในด้านการสื่อสาร การแพทย์ การทหาร และสาขาอื่นๆ

3. การบูรณาการออปโตอิเล็กทรอนิกส์: คุณสมบัติทางแสงและความเสถียรของ PSS ทำให้เป็นหนึ่งในวัสดุที่เหมาะอย่างยิ่งในสาขาการบูรณาการออปโตอิเล็กทรอนิกส์ ในการบูรณาการออปโตอิเล็กทรอนิกส์ PSS สามารถใช้ในการผลิตท่อนำคลื่นแสง สวิตช์แสง และส่วนประกอบอื่นๆ เพื่อให้สามารถส่งและประมวลผลสัญญาณแสงได้

พารามิเตอร์ทางเทคนิค

รายการ พื้นผิวลายแซฟไฟร์ (2~6 นิ้ว)
เส้นผ่านศูนย์กลาง 50.8 ± 0.1 มม. 100.0 ± 0.2 มม. 150.0 ± 0.3 มม.
ความหนา 430 ± 25ไมโครเมตร 650 ± 25ไมโครเมตร 1000 ± 25ไมโครเมตร
การวางแนวพื้นผิว ระนาบ C (0001) มุมเอียงไปทางแกน M (10-10) 0.2 ± 0.1°
ระนาบ C (0001) มุมเอียงไปทางแกน A (11-20) 0 ± 0.1°
การวางแนวแบนหลัก ระนาบ A (11-20) ± 1.0°
ความยาวแบนหลัก 16.0 ± 1.0 มม. 30.0 ± 1.0 มม. 47.5 ± 2.0 มม.
เครื่องบินอาร์ 9 นาฬิกา
พื้นผิวด้านหน้า ลวดลาย
พื้นผิวด้านหลัง SSP: บดละเอียด, Ra=0.8-1.2um; DSP: ขัดเงาแบบ Epi, Ra<0.3nm
เลเซอร์มาร์ค ด้านหลัง
ทีทีวี ≤8ไมโครเมตร ≤10ไมโครเมตร ≤20ไมโครเมตร
โค้งคำนับ ≤10ไมโครเมตร ≤15ไมโครเมตร ≤25ไมโครเมตร
วาร์ป ≤12ไมโครเมตร ≤20ไมโครเมตร ≤30ไมโครเมตร
การยกเว้นขอบ ≤2 มม.
ข้อมูลจำเพาะของรูปแบบ โครงสร้างรูปทรง โดม, กรวย, พีระมิด
ความสูงของรูปแบบ 1.6~1.8ไมโครเมตร
เส้นผ่านศูนย์กลางของรูปแบบ 2.75~2.85ไมโครเมตร
พื้นที่รูปแบบ 0.1~0.3ไมโครเมตร

XKH มุ่งเน้นการพัฒนา ผลิต และจำหน่ายแผ่นซับสเตรตแซฟไฟร์แบบมีลวดลาย (PSS) และมุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์ PSS คุณภาพสูงและประสิทธิภาพสูงให้กับลูกค้าทั่วโลก XKH มีเทคโนโลยีการผลิตที่ทันสมัยและทีมงานเทคนิคมืออาชีพที่สามารถปรับแต่งผลิตภัณฑ์ PSS ให้มีคุณสมบัติและโครงสร้างลวดลายที่แตกต่างกันตามความต้องการของลูกค้า ขณะเดียวกัน XKH ยังให้ความสำคัญกับคุณภาพผลิตภัณฑ์และคุณภาพการบริการ พร้อมมุ่งมั่นที่จะมอบการสนับสนุนทางเทคนิคและโซลูชั่นที่ครบวงจรให้แก่ลูกค้า ในด้าน PSS นั้น XKH ได้สั่งสมประสบการณ์และข้อได้เปรียบอันยาวนาน และมุ่งหวังที่จะร่วมมือกับพันธมิตรระดับโลกเพื่อส่งเสริมการพัฒนานวัตกรรมของไฟ LED อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ และอุตสาหกรรมอื่นๆ

แผนภาพรายละเอียด

พื้นผิวไพลินที่มีลวดลาย (PSS) 6
พื้นผิวไพลินที่มีลวดลาย (PSS) 5
พื้นผิวไพลินที่มีลวดลาย (PSS) 4

  • ก่อนหน้า:
  • ต่อไป:

  • เขียนข้อความของคุณที่นี่และส่งถึงเรา