แท่ง SiC ขนาด 2 นิ้ว Dia50.8mmx10mmt โมโนคริสตัล 4H-N

คำอธิบายสั้น ๆ :

แท่งซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) ขนาด 2 นิ้ว หมายถึงผลึกเดี่ยวของซิลิคอนคาร์ไบด์รูปทรงกระบอกหรือรูปบล็อก มีเส้นผ่านศูนย์กลางหรือความยาวขอบ 2 นิ้ว แท่งซิลิคอนคาร์ไบด์ใช้เป็นวัตถุดิบเริ่มต้นในการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ต่างๆ เช่น อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์กำลังและอุปกรณ์ออปโตอิเล็กทรอนิกส์

ส่งอีเมล์ถึงเรา

คุณสมบัติ

เทคโนโลยีการเจริญเติบโตของผลึก SiC

ลักษณะเฉพาะของ SiC ทำให้การปลูกผลึกเดี่ยวทำได้ยาก สาเหตุหลักมาจากไม่มีเฟสของเหลวที่มีอัตราส่วนสโตอิจิโอเมตริกของ Si: C = 1: 1 ที่ความดันบรรยากาศ และไม่สามารถปลูก SiC ได้ด้วยวิธีการปลูกที่โตเต็มที่กว่า เช่น วิธีการดึงโดยตรงและวิธีการเบ้าหลอมแบบตกตะกอน ซึ่งเป็นวิธีการหลักของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ในทางทฤษฎี สารละลายที่มีอัตราส่วนสโตอิจิโอเมตริกของ Si: C = 1: 1 สามารถทำได้เฉพาะเมื่อความดันมากกว่า 10E5atm และอุณหภูมิสูงกว่า 3200℃ ปัจจุบัน วิธีการหลักๆ ได้แก่ วิธี PVT วิธีเฟสของเหลว และวิธีการสะสมทางเคมีแบบไอที่อุณหภูมิสูง

เวเฟอร์และคริสตัล SiC ที่เรานำเสนอส่วนใหญ่ปลูกโดยการขนส่งไอทางกายภาพ (PVT) และต่อไปนี้คือคำแนะนำสั้นๆ เกี่ยวกับ PVT:

วิธีการขนส่งไอทางกายภาพ (PVT) มีต้นกำเนิดมาจากเทคนิคการระเหิดในสถานะก๊าซที่คิดค้นโดย Lely ในปี พ.ศ. 2498 โดยนำผง SiC ลงในหลอดแกรไฟต์และให้ความร้อนที่อุณหภูมิสูงเพื่อทำให้ผง SiC สลายตัวและระเหิด จากนั้นจึงทำให้หลอดแกรไฟต์เย็นลง จากนั้นส่วนประกอบในสถานะก๊าซที่สลายตัวของผง SiC จะถูกสะสมและตกผลึกเป็นผลึก SiC ในบริเวณรอบๆ หลอดแกรไฟต์ แม้ว่าวิธีการนี้จะยากต่อการได้ผลึก SiC ขนาดใหญ่ และกระบวนการสะสมภายในหลอดแกรไฟต์ก็ยากต่อการควบคุม แต่ก็เป็นแนวคิดสำหรับนักวิจัยรุ่นต่อๆ ไป

YM Tairov และคณะ ในรัสเซีย ได้นำเสนอแนวคิดเรื่องผลึกเมล็ดบนพื้นฐานนี้ ซึ่งช่วยแก้ปัญหารูปร่างผลึกและตำแหน่งนิวเคลียสของผลึก SiC ที่ควบคุมไม่ได้ นักวิจัยรุ่นต่อๆ มาได้พัฒนาวิธีการถ่ายเทไอทางกายภาพ (PVT) อย่างต่อเนื่อง และในที่สุดก็ได้พัฒนาวิธีการถ่ายเทไอทางกายภาพ (PVT) ซึ่งใช้ในอุตสาหกรรมในปัจจุบัน

PVT เป็นวิธีการปลูกผลึก SiC ยุคแรกๆ ในปัจจุบันที่ได้รับความนิยมสูงสุด เมื่อเทียบกับวิธีอื่นๆ วิธีนี้ใช้อุปกรณ์ปลูกน้อย มีกระบวนการปลูกง่าย ควบคุมได้ง่าย มีการพัฒนาและวิจัยอย่างละเอียดถี่ถ้วน และได้ถูกนำมาใช้ในอุตสาหกรรมแล้ว