แท่ง SiC ขนาด 2 นิ้ว Dia50.8mmx10mmt โมโนคริสตัล 4H-N

แท่ง SiC ขนาด 2 นิ้ว Dia50.8mmx10mmt 4H-N monocrystal ภาพเด่น

คำอธิบายสั้น:

แท่ง SiC (ซิลิคอนคาร์ไบด์) ขนาด 2 นิ้วหมายถึงผลึกเดี่ยวของซิลิคอนคาร์ไบด์ทรงกระบอกหรือทรงบล็อกที่มีเส้นผ่านศูนย์กลางหรือความยาวขอบ 2 นิ้วแท่งซิลิคอนคาร์ไบด์ถูกใช้เป็นวัสดุเริ่มต้นสำหรับการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ต่างๆ เช่น อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์กำลัง และอุปกรณ์ออปโตอิเล็กทรอนิกส์

ส่งอีเมลถึงเรา

รายละเอียดผลิตภัณฑ์

แท็กสินค้า

เทคโนโลยีการเติบโตของคริสตัล SiC

ลักษณะของ SiC ทำให้ยากต่อการเติบโตของผลึกเดี่ยวสาเหตุหลักมาจากการไม่มีเฟสของเหลวที่มีอัตราส่วนปริมาณสัมพันธ์ของ Si : C = 1 : 1 ที่ความดันบรรยากาศ และเป็นไปไม่ได้ที่จะเติบโต SiC ด้วยวิธีการเจริญเติบโตที่เป็นผู้ใหญ่มากขึ้น เช่น วิธีการวาดโดยตรงและ วิธีการหลอมละลายซึ่งเป็นแกนหลักของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ตามทฤษฎีแล้ว สารละลายที่มีอัตราส่วนปริมาณสัมพันธ์ Si : C = 1 : 1 สามารถรับได้เฉพาะเมื่อความดันมากกว่า 10E5atm และอุณหภูมิสูงกว่า 3200°C เท่านั้นปัจจุบัน วิธีการกระแสหลัก ได้แก่ วิธี PVT วิธีเฟสของเหลว และวิธีการสะสมสารเคมีในเฟสไออุณหภูมิสูง

เวเฟอร์และคริสตัล SiC ที่เราจัดหาให้นั้นส่วนใหญ่ปลูกโดยการขนส่งไอทางกายภาพ (PVT) และต่อไปนี้เป็นคำแนะนำสั้นๆ เกี่ยวกับ PVT:

วิธีการขนส่งไอทางกายภาพ (PVT) มีต้นกำเนิดมาจากเทคนิคการระเหิดของเฟสก๊าซที่คิดค้นโดย Lely ในปี 1955 โดยใส่ผง SiC ในหลอดกราไฟท์และให้ความร้อนที่อุณหภูมิสูงเพื่อทำให้ผง SiC สลายตัวและระเหิด จากนั้นกราไฟท์ หลอดจะถูกทำให้เย็นลง และส่วนประกอบในเฟสก๊าซที่สลายตัวของผง SiC จะถูกสะสมและตกผลึกเป็นผลึก SiC ในบริเวณรอบๆ หลอดกราไฟท์แม้ว่าวิธีนี้ยากที่จะได้ผลึกเดี่ยว SiC ขนาดใหญ่ และกระบวนการสะสมภายในหลอดกราไฟท์ก็ควบคุมได้ยาก แต่ก็ให้แนวคิดสำหรับนักวิจัยรุ่นต่อๆ ไป

YM Tairov และคณะในรัสเซียได้นำเสนอแนวคิดเกี่ยวกับผลึกเมล็ดบนพื้นฐานนี้ ซึ่งช่วยแก้ปัญหารูปร่างผลึกที่ไม่สามารถควบคุมได้และตำแหน่งนิวเคลียสของผลึก SiCนักวิจัยคนต่อมายังคงปรับปรุงและพัฒนาวิธีการถ่ายโอนไอทางกายภาพ (PVT) ที่ใช้ในอุตสาหกรรมในปัจจุบันในที่สุด

เนื่องจากเป็นวิธีการเติบโตของผลึก SiC ที่เก่าแก่ที่สุด ปัจจุบัน PVT จึงเป็นวิธีการเติบโตที่สำคัญที่สุดสำหรับผลึก SiCเมื่อเปรียบเทียบกับวิธีอื่นๆ วิธีการนี้มีข้อกำหนดต่ำสำหรับอุปกรณ์การเจริญเติบโต กระบวนการเจริญเติบโตอย่างง่าย สามารถควบคุมได้แข็งแกร่ง การพัฒนาและการวิจัยอย่างละเอียด และได้ผ่านการพัฒนาทางอุตสาหกรรมแล้ว