เวเฟอร์พื้นผิว SiC 4H-N 8 นิ้วซิลิคอนคาร์ไบด์ Dummy Research เกรดความหนา 500um

เมื่อเลือกเวเฟอร์และซับสเตรตของซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) มีหลายปัจจัยที่ต้องพิจารณา ต่อไปนี้เป็นเกณฑ์สำคัญบางประการ:

ประเภทวัสดุ: กำหนดประเภทของวัสดุ SiC ที่เหมาะกับการใช้งานของคุณ เช่น 4H-SiC หรือ 6H-SiC โครงสร้างผลึกที่ใช้กันมากที่สุดคือ 4H-SiC

ประเภทสารต้องห้าม: ตัดสินใจว่าคุณต้องการซับสเตรต SiC ที่เจือหรือไม่เจือ ประเภทยาสลบทั่วไปคือประเภท N (n-doped) หรือประเภท P (p-doped) ขึ้นอยู่กับข้อกำหนดเฉพาะของคุณ

คุณภาพคริสตัล: ประเมินคุณภาพคริสตัลของเวเฟอร์หรือซับสเตรต SiC คุณภาพที่ต้องการถูกกำหนดโดยพารามิเตอร์ต่างๆ เช่น จำนวนข้อบกพร่อง การวางแนวของผลึกศาสตร์ และความหยาบของพื้นผิว

เส้นผ่านศูนย์กลางเวเฟอร์: เลือกขนาดเวเฟอร์ที่เหมาะสมตามการใช้งานของคุณ ขนาดทั่วไปได้แก่ 2 นิ้ว, 3 นิ้ว, 4 นิ้ว และ 6 นิ้ว ยิ่งเส้นผ่านศูนย์กลางใหญ่เท่าไร คุณก็จะได้ผลผลิตต่อเวเฟอร์มากขึ้นเท่านั้น

ความหนา: พิจารณาความหนาที่ต้องการของเวเฟอร์หรือซับสเตรต SiC ตัวเลือกความหนาโดยทั่วไปมีตั้งแต่ไม่กี่ไมโครเมตรไปจนถึงหลายร้อยไมโครเมตร

การวางแนว: กำหนดการวางแนวของผลึกศาสตร์ที่สอดคล้องกับข้อกำหนดการใช้งานของคุณ การวางแนวทั่วไป ได้แก่ (0001) สำหรับ 4H-SiC และ (0001) หรือ (0001̅) สำหรับ 6H-SiC

การตกแต่งพื้นผิว: ประเมินการตกแต่งพื้นผิวของเวเฟอร์หรือซับสเตรต SiC พื้นผิวควรเรียบ ขัดเงา และปราศจากรอยขีดข่วนหรือสิ่งปนเปื้อน

ชื่อเสียงของซัพพลายเออร์: เลือกซัพพลายเออร์ที่มีชื่อเสียงซึ่งมีประสบการณ์อย่างกว้างขวางในการผลิตเวเฟอร์และซับสเตรต SiC คุณภาพสูง พิจารณาปัจจัยต่างๆ เช่น ความสามารถในการผลิต การควบคุมคุณภาพ และบทวิจารณ์ของลูกค้า

ต้นทุน: พิจารณาผลกระทบด้านต้นทุน รวมถึงราคาต่อเวเฟอร์หรือซับสเตรต และค่าใช้จ่ายในการปรับแต่งเพิ่มเติม

การประเมินปัจจัยเหล่านี้อย่างรอบคอบเป็นสิ่งสำคัญและปรึกษากับผู้เชี่ยวชาญในอุตสาหกรรมหรือซัพพลายเออร์เพื่อให้แน่ใจว่าเวเฟอร์และซับสเตรต SiC ที่เลือกนั้นตรงตามข้อกำหนดการใช้งานเฉพาะของคุณ