เวเฟอร์ SiC Epi ขนาด 4 นิ้วสำหรับ MOS หรือ SBD

เวเฟอร์ SiC Epi ขนาด 4 นิ้วสำหรับรูปภาพเด่นของ MOS หรือ SBD

คำอธิบายสั้น:

SiCC มีสายการผลิตซับสเตรตเวเฟอร์ SiC (ซิลิคอนคาร์ไบด์) ที่สมบูรณ์ โดยบูรณาการการเติบโตของคริสตัล การประมวลผลเวเฟอร์ การผลิตเวเฟอร์ การขัดเงา การทำความสะอาด และการทดสอบในปัจจุบัน เราสามารถจัดหาเวเฟอร์ SiC 4H และ 6H กึ่งฉนวนและกึ่งตัวนำในแนวแกนหรือนอกแกนที่มีขนาด 5x5 มม. 2, 10x10 มม. 2, 2″, 3″, 4″ และ 6″ ซึ่งทำลายการปราบปรามข้อบกพร่อง การประมวลผลเมล็ดคริสตัล และการเติบโตอย่างรวดเร็วและอื่น ๆ ได้ทะลุผ่านเทคโนโลยีที่สำคัญ เช่น การปราบปรามข้อบกพร่อง การประมวลผลเมล็ดคริสตัล และการเติบโตอย่างรวดเร็ว และส่งเสริมการวิจัยขั้นพื้นฐานและการพัฒนา epitaxy ซิลิคอนคาร์ไบด์ อุปกรณ์ และการวิจัยพื้นฐานอื่น ๆ ที่เกี่ยวข้อง

ส่งอีเมลถึงเรา

รายละเอียดผลิตภัณฑ์

แท็กสินค้า

Epitaxy หมายถึงการเติบโตของชั้นของวัสดุผลึกเดี่ยวคุณภาพสูงกว่าบนพื้นผิวของซับสเตรตซิลิคอนคาร์ไบด์ในหมู่พวกเขาการเจริญเติบโตของชั้น epitaxis ของแกลเลียมไนไตรด์บนพื้นผิวซิลิกอนคาร์ไบด์กึ่งฉนวนเรียกว่า epitaxy ที่ต่างกันการเจริญเติบโตของชั้น epitaxis ของซิลิคอนคาร์ไบด์บนพื้นผิวของสารตั้งต้นของซิลิคอนคาร์ไบด์ที่เป็นสื่อกระแสไฟฟ้าเรียกว่า epitaxy ที่เป็นเนื้อเดียวกัน

Epitaxis เป็นไปตามข้อกำหนดการออกแบบอุปกรณ์สำหรับการเจริญเติบโตของชั้นการทำงานหลัก ซึ่งส่วนใหญ่จะกำหนดประสิทธิภาพของชิปและอุปกรณ์ โดยมีต้นทุน 23%วิธีการหลักของ epitaxy แบบฟิล์มบาง SiC ในขั้นตอนนี้ ได้แก่ การสะสมไอสารเคมี (CVD), epitaxy ลำแสงโมเลกุล (MBE), epitaxy เฟสของเหลว (LPE) และการสะสมด้วยเลเซอร์แบบพัลซ์และการระเหิด (PLD)

Epitaxy เป็นจุดเชื่อมโยงที่สำคัญมากในอุตสาหกรรมทั้งหมดด้วยการเพิ่มชั้น epitaxis ของ GaN บนพื้นผิวซิลิกอนคาร์ไบด์กึ่งฉนวน เวเฟอร์ epitaxis ของ GaN ที่ใช้ซิลิกอนคาร์ไบด์จึงถูกผลิตขึ้น ซึ่งสามารถนำไปสร้างเพิ่มเติมเป็นอุปกรณ์ GaN RF ได้ เช่น ทรานซิสเตอร์การเคลื่อนที่ของอิเล็กตรอนสูง (HEMT)

โดยการปลูกชั้น epitaxial ของซิลิคอนคาร์ไบด์บนพื้นผิวที่เป็นสื่อกระแสไฟฟ้าเพื่อให้ได้แผ่นเวเฟอร์ epitaxial ของซิลิคอนคาร์ไบด์ และในชั้น epitaxis ในการผลิตไดโอด Schottky ทรานซิสเตอร์เอฟเฟกต์ครึ่งสนามทองคำออกซิเจน ทรานซิสเตอร์สองขั้วเกตที่หุ้มฉนวน และอุปกรณ์ไฟฟ้าอื่น ๆ ดังนั้นคุณภาพของ epitaxis กับประสิทธิภาพของอุปกรณ์มีผลกระทบอย่างมากต่อการพัฒนาของอุตสาหกรรมก็มีบทบาทที่สำคัญมากเช่นกัน