แท่งกึ่งฉนวนซิลิกอนคาร์ไบด์ 4H-SiC ขนาด 6 นิ้ว เกรดจำลอง
คุณสมบัติ
1. คุณสมบัติทางกายภาพและโครงสร้าง
●ประเภทวัสดุ: ซิลิกอนคาร์ไบด์ (SiC)
●โพลีไทป์: 4H-SiC โครงสร้างผลึกหกเหลี่ยม
●เส้นผ่านศูนย์กลาง: 6 นิ้ว (150 มม.)
●ความหนา: กำหนดค่าได้ (โดยทั่วไปคือ 5-15 มม. สำหรับเกรดจำลอง)
●การวางแนวคริสตัล:
oหลัก: [0001] (ระนาบ C)
oตัวเลือกรอง: นอกแกน 4° เพื่อการเจริญเติบโตของเอพิแทกเซียลที่ได้รับการปรับให้เหมาะสม
●การวางแนวแบนหลัก: (10-10) ± 5°
●การวางแนวแบนรอง: 90° ทวนเข็มนาฬิกาจากแบนหลัก ± 5°
2. คุณสมบัติทางไฟฟ้า
●ความต้านทาน:
oกึ่งฉนวน (>106^66 Ω·cm) เหมาะสำหรับการลดความจุปรสิตให้เหลือน้อยที่สุด
●ประเภทการใช้สารกระตุ้น:
การเจือปนโดยไม่ได้ตั้งใจ ส่งผลให้มีค่าความต้านทานไฟฟ้าสูงและมีเสถียรภาพภายใต้สภาวะการทำงานที่หลากหลาย
3. คุณสมบัติทางความร้อน
● การนำความร้อน: 3.5-4.9 W/cm·K ช่วยให้ระบายความร้อนได้อย่างมีประสิทธิภาพในระบบกำลังไฟสูง
●ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน: 4.2×10−64.2 \times 10^{-6}4.2×10−6/K ช่วยให้มั่นใจถึงเสถียรภาพของมิติระหว่างการประมวลผลที่อุณหภูมิสูง
4. คุณสมบัติทางแสง
●แบนด์แก๊ป: แบนด์แก๊ปกว้าง 3.26 eV ช่วยให้สามารถทำงานได้ภายใต้แรงดันไฟฟ้าและอุณหภูมิสูง
●ความโปร่งใส: ความโปร่งใสสูงต่อรังสี UV และความยาวคลื่นที่มองเห็นได้ มีประโยชน์สำหรับการทดสอบออปโตอิเล็กทรอนิกส์
5. คุณสมบัติเชิงกล
●ความแข็ง: ระดับโมห์ส 9 รองจากเพชร ช่วยให้ทนทานระหว่างการแปรรูป
●ความหนาแน่นของข้อบกพร่อง:
ควบคุมข้อบกพร่องในระดับมหภาคให้น้อยที่สุด เพื่อให้มั่นใจถึงคุณภาพที่เพียงพอสำหรับการใช้งานในระดับจำลอง
●ความเรียบ: ความสม่ำเสมอพร้อมความเบี่ยงเบน
พารามิเตอร์ | รายละเอียด | หน่วย |
ระดับ | เกรดดัมมี่ | |
เส้นผ่านศูนย์กลาง | 150.0 ± 0.5 | mm |
การวางแนวเวเฟอร์ | บนแกน: <0001> ± 0.5° | ระดับ |
ความต้านทานไฟฟ้า | > 1E5 | Ω·ซม. |
การวางแนวแบนหลัก | {10-10} ± 5.0° | ระดับ |
ความยาวแบนหลัก | รอยบาก | |
รอยแตกร้าว (การตรวจสอบด้วยแสงความเข้มสูง) | < 3 มม. ในแนวรัศมี | mm |
แผ่นหกเหลี่ยม (การตรวจสอบด้วยแสงความเข้มสูง) | พื้นที่สะสม ≤ 5% | % |
พื้นที่โพลีไทป์ (การตรวจสอบด้วยแสงความเข้มสูง) | พื้นที่สะสม ≤ 10% | % |
ความหนาแน่นของไมโครไพพ์ | < 50 | ซม.−2^-2−2 |
การบิ่นของขอบ | อนุญาต 3 อัน อันละ ≤ 3 มม. | mm |
บันทึก | ความหนาของแผ่นเวเฟอร์ < 1 มม., > 70% (ไม่รวมปลายทั้งสองข้าง) ตรงตามข้อกำหนดข้างต้น |
แอปพลิเคชัน
1. การสร้างต้นแบบและการวิจัย
แท่ง 4H-SiC เกรดจำลองขนาด 6 นิ้วเป็นวัสดุที่เหมาะสำหรับการสร้างต้นแบบและการวิจัย ช่วยให้ผู้ผลิตและห้องปฏิบัติการสามารถ:
● พารามิเตอร์กระบวนการทดสอบในการสะสมไอทางเคมี (CVD) หรือการสะสมไอทางกายภาพ (PVD)
● พัฒนาและปรับปรุงเทคนิคการกัด การขัด และการหั่นเวเฟอร์
● สำรวจการออกแบบอุปกรณ์ใหม่ก่อนที่จะเปลี่ยนไปใช้วัสดุระดับการผลิต
2. การสอบเทียบและการทดสอบอุปกรณ์
คุณสมบัติกึ่งเป็นฉนวนทำให้แท่งโลหะนี้มีคุณค่าอย่างยิ่งสำหรับ:
● การประเมินและปรับเทียบคุณสมบัติทางไฟฟ้าของอุปกรณ์กำลังสูงและความถี่สูง
● จำลองเงื่อนไขการทำงานของ MOSFET, IGBT หรือไดโอดในสภาพแวดล้อมการทดสอบ
● ทำหน้าที่เป็นสารทดแทนสารตั้งต้นที่มีความบริสุทธิ์สูงที่คุ้มต้นทุนในช่วงการพัฒนาในระยะเริ่มต้น
3. อิเล็กทรอนิกส์กำลัง
คุณสมบัติการนำความร้อนสูงและแบนด์แก๊ปกว้างของ 4H-SiC ช่วยให้การทำงานในอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์กำลังมีประสิทธิภาพ รวมถึง:
● แหล่งจ่ายไฟฟ้าแรงดันสูง
●อินเวอร์เตอร์รถยนต์ไฟฟ้า (EV)
●ระบบพลังงานหมุนเวียน เช่น อินเวอร์เตอร์พลังงานแสงอาทิตย์และกังหันลม
4. การประยุกต์ใช้ความถี่วิทยุ (RF)
การสูญเสียไดอิเล็กตริกต่ำและการเคลื่อนที่ของอิเล็กตรอนสูงของ 4H-SiC ทำให้เหมาะสำหรับ:
●เครื่องขยายสัญญาณ RF และทรานซิสเตอร์ในโครงสร้างพื้นฐานการสื่อสาร
● ระบบเรดาร์ความถี่สูงสำหรับการใช้งานด้านอวกาศและการป้องกันประเทศ
● ส่วนประกอบเครือข่ายไร้สายสำหรับเทคโนโลยี 5G ที่เกิดขึ้นใหม่
5. อุปกรณ์ทนรังสี
เนื่องจากมีความต้านทานโดยธรรมชาติต่อข้อบกพร่องที่เกิดจากรังสี 4H-SiC กึ่งฉนวนจึงเหมาะอย่างยิ่งสำหรับ:
●อุปกรณ์สำรวจอวกาศ รวมถึงระบบอิเล็กทรอนิกส์ดาวเทียมและระบบไฟฟ้า
● อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ที่ทนทานต่อรังสีสำหรับการตรวจสอบและควบคุมนิวเคลียร์
● แอปพลิเคชันด้านการป้องกันที่ต้องการความทนทานในสภาพแวดล้อมที่รุนแรง
6. ออปโตอิเล็กทรอนิกส์
ความโปร่งใสของแสงและแบนด์แก๊ปกว้างของ 4H-SiC ช่วยให้สามารถใช้งานได้ใน:
● เครื่องตรวจจับแสง UV และ LED กำลังสูง
● การทดสอบการเคลือบออปติคอลและการปรับสภาพพื้นผิว
● การสร้างต้นแบบส่วนประกอบออปติคัลสำหรับเซ็นเซอร์ขั้นสูง
ข้อดีของวัสดุเกรดดัมมี่
ประสิทธิภาพต้นทุน:
เกรดเสมือนเป็นทางเลือกที่ราคาไม่แพงเมื่อเทียบกับวัสดุเกรดวิจัยหรือการผลิต ทำให้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการทดสอบตามปกติและการปรับปรุงกระบวนการ
ความสามารถในการปรับแต่ง:
ขนาดที่กำหนดค่าได้และการวางแนวคริสตัลช่วยให้เข้ากันได้กับแอพพลิเคชั่นที่หลากหลาย
ความสามารถในการปรับขนาด:
เส้นผ่านศูนย์กลาง 6 นิ้วเป็นไปตามมาตรฐานอุตสาหกรรม ช่วยให้ปรับขนาดให้เข้ากับกระบวนการระดับการผลิตได้อย่างราบรื่น
ความแข็งแกร่ง:
ความแข็งแรงเชิงกลสูงและเสถียรภาพทางความร้อนทำให้แท่งโลหะมีความทนทานและเชื่อถือได้ภายใต้สภาวะการทดลองที่หลากหลาย
ความอเนกประสงค์:
เหมาะสำหรับหลากหลายอุตสาหกรรม ตั้งแต่ระบบพลังงานไปจนถึงการสื่อสารและออปโตอิเล็กทรอนิกส์
บทสรุป
แท่งซิลิคอนคาร์ไบด์กึ่งฉนวนขนาด 6 นิ้ว (4H-SiC) เกรดดัมมี่ มอบแพลตฟอร์มที่เชื่อถือได้และใช้งานได้หลากหลายสำหรับการวิจัย การสร้างต้นแบบ และการทดสอบในภาคเทคโนโลยีที่ล้ำสมัย ด้วยคุณสมบัติทางความร้อน ไฟฟ้า และเชิงกลที่ยอดเยี่ยม ประกอบกับราคาที่เข้าถึงได้และการปรับแต่งได้ ทำให้แท่งซิลิคอนคาร์ไบด์เป็นวัสดุที่ขาดไม่ได้สำหรับทั้งภาคการศึกษาและภาคอุตสาหกรรม ตั้งแต่อิเล็กทรอนิกส์กำลังไปจนถึงระบบ RF และอุปกรณ์ป้องกันรังสี แท่งซิลิคอนคาร์ไบด์นี้ช่วยสนับสนุนนวัตกรรมในทุกขั้นตอนของการพัฒนา
หากต้องการรายละเอียดเพิ่มเติมหรือต้องการขอใบเสนอราคา โปรดติดต่อเราโดยตรง ทีมเทคนิคของเราพร้อมให้ความช่วยเหลือด้วยโซลูชันที่ปรับแต่งให้ตรงกับความต้องการของคุณ
แผนภาพรายละเอียด



