6 ในซิลิคอนคาร์ไบด์ 4H-SiC แท่งกึ่งฉนวน เกรดจำลอง
คุณสมบัติ
1. คุณสมบัติทางกายภาพและโครงสร้าง
●ประเภทวัสดุ: ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC)
●ประเภทโพลี: 4H-SiC โครงสร้างคริสตัลหกเหลี่ยม
●เส้นผ่านศูนย์กลาง: 6 นิ้ว (150 มม.)
●ความหนา: กำหนดค่าได้ (ปกติ 5-15 มม. สำหรับเกรดจำลอง)
●การวางแนวคริสตัล:
oหลัก: [0001] (ระนาบ C)
oตัวเลือกรอง: นอกแกน 4° เพื่อการเจริญเติบโตของเยื่อบุผิวที่เหมาะสมที่สุด
●การวางแนวแบนหลัก: (10-10) ± 5°
●การวางแนวแนวราบรอง: 90° ทวนเข็มนาฬิกาจากแนวราบหลัก ± 5°
2. คุณสมบัติทางไฟฟ้า
●ความต้านทาน:
oฉนวนกึ่ง (>106^66 Ω·cm) เหมาะสำหรับการลดความจุของปรสิต
●ประเภทยาสลบ:
oเจือโดยไม่ได้ตั้งใจ ส่งผลให้มีความต้านทานไฟฟ้าและความเสถียรสูงภายใต้สภาวะการทำงานที่หลากหลาย
3. คุณสมบัติทางความร้อน
●การนำความร้อน: 3.5-4.9 W/cm·K ทำให้กระจายความร้อนได้อย่างมีประสิทธิภาพในระบบกำลังสูง
●ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวเนื่องจากความร้อน: 4.2×10−64.2 \times 10^{-6}4.2×10−6/K ทำให้มั่นใจได้ถึงความเสถียรของมิติระหว่างการประมวลผลที่อุณหภูมิสูง
4. คุณสมบัติทางแสง
●แถบความถี่: แถบความถี่กว้าง 3.26 eV ช่วยให้ทำงานภายใต้แรงดันไฟฟ้าและอุณหภูมิสูงได้
●ความโปร่งใส: ความโปร่งใสสูงต่อรังสี UV และความยาวคลื่นที่มองเห็นได้ มีประโยชน์สำหรับการทดสอบออปโตอิเล็กทรอนิกส์
5. คุณสมบัติทางกล
●ความแข็ง: โมห์สสเกล 9 รองจากเพชรเท่านั้น จึงรับประกันความทนทานระหว่างการประมวลผล
●ความหนาแน่นของข้อบกพร่อง:
oควบคุมข้อบกพร่องมาโครน้อยที่สุด ทำให้มั่นใจได้ถึงคุณภาพที่เพียงพอสำหรับการใช้งานเกรดจำลอง
●ความเรียบ: ความสม่ำเสมอและการเบี่ยงเบน
พารามิเตอร์ | รายละเอียด | หน่วย |
ระดับ | เกรดจำลอง | |
เส้นผ่านศูนย์กลาง | 150.0 ± 0.5 | mm |
การวางแนวเวเฟอร์ | บนแกน: <0001> ± 0.5° | ระดับ |
ความต้านทานไฟฟ้า | > 1E5 | Ω·ซม |
ปฐมนิเทศแบนหลัก | {10-10} ± 5.0° | ระดับ |
ความยาวแบนหลัก | รอยบาก | |
รอยแตกร้าว (การตรวจสอบด้วยแสงความเข้มสูง) | รัศมี < 3 มม | mm |
แผ่นเพลทหกเหลี่ยม (การตรวจสอบแสงความเข้มสูง) | พื้นที่สะสม ≤ 5% | % |
พื้นที่ประเภทโพลีไทป์ (การตรวจสอบแสงความเข้มสูง) | พื้นที่สะสม ≤ 10% | % |
ความหนาแน่นของไมโครไพพ์ | < 50 | ซม.−2^-2−2 |
ขอบบิ่น | อนุญาต 3 อัน แต่ละอัน ≤ 3 มม | mm |
บันทึก | ความหนาของเวเฟอร์ในการตัด < 1 มม. > 70% (ไม่รวมปลายทั้งสองด้าน) ตรงตามข้อกำหนดข้างต้น |
การใช้งาน
1. การสร้างต้นแบบและการวิจัย
ลิ่ม 4H-SiC เกรดจำลองขนาด 6 นิ้วเป็นวัสดุที่เหมาะสำหรับการสร้างต้นแบบและการวิจัย ช่วยให้ผู้ผลิตและห้องปฏิบัติการสามารถ:
●ทดสอบพารามิเตอร์กระบวนการในการสะสมไอสารเคมี (CVD) หรือการสะสมไอทางกายภาพ (PVD)
●พัฒนาและปรับปรุงเทคนิคการแกะสลัก การขัดเงา และการตัดแผ่นเวเฟอร์
●สำรวจการออกแบบอุปกรณ์ใหม่ๆ ก่อนที่จะเปลี่ยนไปใช้วัสดุเกรดการผลิต
2. การสอบเทียบและการทดสอบอุปกรณ์
คุณสมบัติกึ่งฉนวนทำให้โลหะนี้มีค่าสำหรับ:
●การประเมินและสอบเทียบคุณสมบัติทางไฟฟ้าของอุปกรณ์กำลังสูงและความถี่สูง
●จำลองสภาวะการปฏิบัติงานสำหรับ MOSFET, IGBT หรือไดโอดในสภาพแวดล้อมการทดสอบ
● ทำหน้าที่เป็นสารทดแทนที่คุ้มค่าสำหรับซับสเตรตที่มีความบริสุทธิ์สูงในระหว่างการพัฒนาในระยะเริ่มต้น
3. อิเล็กทรอนิกส์กำลัง
ค่าการนำความร้อนสูงและคุณลักษณะแถบความถี่ที่กว้างของ 4H-SiC ช่วยให้การทำงานที่มีประสิทธิภาพในอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์กำลัง ได้แก่:
●อุปกรณ์ไฟฟ้าแรงสูง
●อินเวอร์เตอร์รถยนต์ไฟฟ้า (EV)
●ระบบพลังงานหมุนเวียน เช่น เครื่องแปลงกระแสไฟฟ้าพลังงานแสงอาทิตย์และกังหันลม
4. การใช้งานคลื่นความถี่วิทยุ (RF)
การสูญเสียอิเล็กทริกต่ำและการเคลื่อนตัวของอิเล็กตรอนสูงของ 4H-SiC ทำให้เหมาะสำหรับ:
●เครื่องขยายสัญญาณ RF และทรานซิสเตอร์ในโครงสร้างพื้นฐานการสื่อสาร
●ระบบเรดาร์ความถี่สูงสำหรับการใช้งานด้านการบินและอวกาศและการป้องกันประเทศ
●ส่วนประกอบเครือข่ายไร้สายสำหรับเทคโนโลยี 5G ที่เกิดขึ้นใหม่
5. อุปกรณ์ที่ทนต่อรังสี
เนื่องจากความต้านทานโดยธรรมชาติต่อข้อบกพร่องที่เกิดจากรังสี 4H-SiC กึ่งฉนวนจึงเหมาะสำหรับ:
●อุปกรณ์สำรวจอวกาศ รวมถึงอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ผ่านดาวเทียมและระบบไฟฟ้า
●อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ที่ชุบแข็งด้วยรังสีสำหรับการตรวจสอบและควบคุมนิวเคลียร์
●การใช้งานด้านการป้องกันที่ต้องการความทนทานในสภาพแวดล้อมที่รุนแรง
6. ออปโตอิเล็กทรอนิกส์
ความโปร่งใสทางแสงและแถบความถี่ที่กว้างของ 4H-SiC ช่วยให้สามารถใช้งานได้ใน:
●เครื่องตรวจจับแสง UV และ LED กำลังสูง
●การทดสอบการเคลือบด้วยแสงและการปรับสภาพพื้นผิว
●การสร้างต้นแบบส่วนประกอบทางแสงสำหรับเซ็นเซอร์ขั้นสูง
ข้อดีของวัสดุเกรดจำลอง
ประสิทธิภาพต้นทุน:
เกรดจำลองเป็นทางเลือกที่ประหยัดกว่าสำหรับวัสดุเกรดการวิจัยหรือการผลิต ทำให้เหมาะสำหรับการทดสอบตามปกติและการปรับแต่งกระบวนการ
ความสามารถในการปรับแต่ง:
ขนาดที่กำหนดค่าได้และการวางแนวคริสตัลทำให้มั่นใจได้ว่าสามารถใช้งานร่วมกับการใช้งานที่หลากหลาย
ความสามารถในการขยายขนาด:
เส้นผ่านศูนย์กลาง 6 นิ้วสอดคล้องกับมาตรฐานอุตสาหกรรม ช่วยให้ปรับขนาดกระบวนการระดับการผลิตได้อย่างราบรื่น
ความทนทาน:
ความแข็งแรงเชิงกลสูงและความเสถียรทางความร้อนทำให้แท่งโลหะมีความทนทานและเชื่อถือได้ภายใต้สภาวะการทดลองที่หลากหลาย
ความเก่งกาจ:
เหมาะสำหรับอุตสาหกรรมหลายประเภท ตั้งแต่ระบบพลังงานไปจนถึงการสื่อสารและออปโตอิเล็กทรอนิกส์
บทสรุป
แท่งโลหะกึ่งฉนวนซิลิคอนคาร์ไบด์ (4H-SiC) ขนาด 6 นิ้ว เกรดจำลอง นำเสนอแพลตฟอร์มที่เชื่อถือได้และอเนกประสงค์สำหรับการวิจัย การสร้างต้นแบบ และการทดสอบในภาคส่วนเทคโนโลยีที่ล้ำสมัย คุณสมบัติทางความร้อน ไฟฟ้า และทางกลที่ยอดเยี่ยม รวมกับความสามารถในการจ่ายและปรับแต่งได้ ทำให้เป็นวัสดุที่ขาดไม่ได้สำหรับทั้งภาควิชาการและอุตสาหกรรม ตั้งแต่อิเล็กทรอนิกส์กำลังไปจนถึงระบบ RF และอุปกรณ์ที่ชุบแข็งด้วยรังสี แท่งโลหะนี้สนับสนุนนวัตกรรมในทุกขั้นตอนของการพัฒนา
หากต้องการรายละเอียดข้อกำหนดเพิ่มเติมหรือขอใบเสนอราคา โปรดติดต่อเราโดยตรง ทีมเทคนิคของเราพร้อมที่จะช่วยเหลือด้วยโซลูชันที่ปรับแต่งให้ตรงตามความต้องการของคุณ