SiC แบบผลึกเดี่ยวนำไฟฟ้าขนาด 6 นิ้วบนพื้นผิวคอมโพสิต SiC โพลีคริสตัลไลน์ เส้นผ่านศูนย์กลาง 150 มม. ประเภท P ประเภท N
พารามิเตอร์ทางเทคนิค
ขนาด: | 6 นิ้ว |
เส้นผ่านศูนย์กลาง : | 150 มม. |
ความหนา: | 400-500 ไมโครเมตร |
พารามิเตอร์ฟิล์มโมโนคริสตัลไลน์ SiC | |
โพลีไทป์: | 4H-SiC หรือ 6H-SiC |
ความเข้มข้นของสารกระตุ้น: | 1×10¹⁴ - 1×10¹⁸ ซม.⁻³ |
ความหนา: | 5-20 ไมโครเมตร |
ความต้านทานแผ่น: | 10-1000 Ω/ตร.ม. |
การเคลื่อนที่ของอิเล็กตรอน: | 800-1200 ตร.ซม./ตร.ซม. |
ความคล่องตัวของรู: | 100-300 ตร.ซม./ตร.ซม. |
พารามิเตอร์ชั้นบัฟเฟอร์ SiC โพลีคริสตัลไลน์ | |
ความหนา: | 50-300 ไมโครเมตร |
การนำความร้อน: | 150-300 วัตต์/ม.·เคลวิน |
พารามิเตอร์ของพื้นผิวโมโนคริสตัลไลน์ SiC | |
โพลีไทป์: | 4H-SiC หรือ 6H-SiC |
ความเข้มข้นของสารกระตุ้น: | 1×10¹⁴ - 1×10¹⁸ ซม.⁻³ |
ความหนา: | 300-500 ไมโครเมตร |
ขนาดเมล็ดพืช: | > 1 มม. |
ความหยาบของพื้นผิว: | < 0.3 มม. RMS |
คุณสมบัติทางกลและไฟฟ้า | |
ความแข็ง: | 9-10 โมห์ส |
ความแข็งแรงอัด: | เกรดเฉลี่ย 3-4 |
ความต้านทานแรงดึง: | เกรดเฉลี่ย 0.3-0.5 |
ความเข้มของสนามพังทลาย: | > 2 เอ็มวี/ซม. |
ความทนต่อปริมาณยาโดยรวม: | > 10 มรัด |
ความต้านทานผลเหตุการณ์เดี่ยว: | > 100 MeV·cm²/มก. |
การนำความร้อน: | 150-380 วัตต์/ม.·เคลวิน |
ช่วงอุณหภูมิในการทำงาน: | -55 ถึง 600°C |
คุณสมบัติที่สำคัญ
แผ่นคอมโพสิต SiC โมโนคริสตัลไลน์แบบนำไฟฟ้าขนาด 6 นิ้วบนพื้นผิวโพลีคริสตัลไลน์ SiC มอบความสมดุลที่เป็นเอกลักษณ์ระหว่างโครงสร้างวัสดุและประสิทธิภาพการทำงาน ทำให้เหมาะกับสภาพแวดล้อมอุตสาหกรรมที่ต้องการความแม่นยำสูง:
1. ความคุ้มต้นทุน: ฐาน SiC โพลีคริสตัลไลน์ช่วยลดต้นทุนได้อย่างมากเมื่อเทียบกับ SiC โมโนคริสตัลไลน์เต็มรูปแบบ ในขณะที่ชั้นแอ็คทีฟ SiC โมโนคริสตัลไลน์ช่วยให้มั่นใจได้ถึงประสิทธิภาพในระดับอุปกรณ์ ซึ่งเหมาะอย่างยิ่งสำหรับการใช้งานที่คำนึงถึงต้นทุน
2.คุณสมบัติทางไฟฟ้าที่โดดเด่น: ชั้น SiC โมโนคริสตัลไลน์แสดงให้เห็นความคล่องตัวของตัวพาสูง (>500 cm²/V·s) และความหนาแน่นของข้อบกพร่องต่ำ รองรับการทำงานของอุปกรณ์ความถี่สูงและกำลังไฟสูง
3. เสถียรภาพในอุณหภูมิสูง: ความต้านทานต่ออุณหภูมิสูงโดยธรรมชาติของ SiC (>600°C) ช่วยให้มั่นใจได้ว่าพื้นผิวคอมโพสิตจะยังคงมีเสถียรภาพภายใต้สภาวะที่รุนแรง จึงเหมาะสำหรับยานพาหนะไฟฟ้าและการใช้งานมอเตอร์อุตสาหกรรม
ขนาดเวเฟอร์มาตรฐาน 4.6 นิ้ว: เมื่อเปรียบเทียบกับแผ่นซิลิคอน SiC ขนาด 4 นิ้วแบบดั้งเดิม แผ่นซิลิคอนขนาด 6 นิ้วจะเพิ่มผลผลิตชิปได้มากกว่า 30% ช่วยลดต้นทุนอุปกรณ์ต่อหน่วย
5. การออกแบบที่เป็นสื่อกระแสไฟฟ้า: ชั้น N-type หรือ P-type ที่ถูกเจือปนไว้ล่วงหน้าช่วยลดขั้นตอนการฝังไอออนในการผลิตอุปกรณ์ ทำให้ประสิทธิภาพการผลิตและผลผลิตดีขึ้น
6. การจัดการความร้อนที่เหนือกว่า: ฐาน SiC โพลีคริสตัลไลน์มีค่าการนำความร้อน (~120 W/m·K) ที่ใกล้เคียงกับ SiC โมโนคริสตัลไลน์ ซึ่งช่วยแก้ไขปัญหาการกระจายความร้อนในอุปกรณ์ที่มีกำลังไฟสูงได้อย่างมีประสิทธิภาพ
ลักษณะพิเศษเหล่านี้ทำให้แผ่น SiC โมโนคริสตัลไลน์แบบนำไฟฟ้าขนาด 6 นิ้วบนพื้นผิวคอมโพสิต SiC โพลีคริสตัลไลน์เป็นโซลูชันที่สามารถแข่งขันได้สำหรับอุตสาหกรรมต่างๆ เช่น พลังงานหมุนเวียน การขนส่งทางราง และการบินอวกาศ
แอปพลิเคชันหลัก
แผ่นคอมโพสิต SiC โมโนคริสตัลไลน์แบบนำไฟฟ้าขนาด 6 นิ้วบนพื้นผิวโพลีคริสตัลไลน์ SiC ได้รับการนำไปใช้งานอย่างประสบความสำเร็จในหลายสาขาที่มีความต้องการสูง:
1. ระบบส่งกำลังของยานพาหนะไฟฟ้า: ใช้ใน MOSFET และไดโอด SiC แรงดันสูงเพื่อเพิ่มประสิทธิภาพอินเวอร์เตอร์และขยายช่วงแบตเตอรี่ (เช่น รุ่น Tesla และ BYD)
2. ระบบขับเคลื่อนมอเตอร์อุตสาหกรรม: ช่วยให้สามารถใช้โมดูลพลังงานความถี่การสลับสูงที่อุณหภูมิสูงได้ ทำให้ลดการใช้พลังงานในเครื่องจักรกลหนักและกังหันลม
3.อินเวอร์เตอร์ไฟฟ้าโซลาร์เซลล์: อุปกรณ์ SiC ช่วยปรับปรุงประสิทธิภาพการแปลงพลังงานแสงอาทิตย์ (>99%) ในขณะที่พื้นผิวคอมโพสิตช่วยลดต้นทุนระบบเพิ่มเติมอีกด้วย
4. การขนส่งทางราง: ใช้ในตัวแปลงแรงดึงสำหรับระบบรถไฟความเร็วสูงและรถไฟใต้ดิน ซึ่งมีความต้านทานแรงดันไฟฟ้าสูง (>1700V) และมีขนาดกะทัดรัด
5. การบินและอวกาศ: เหมาะสำหรับระบบพลังงานดาวเทียมและวงจรควบคุมเครื่องยนต์เครื่องบิน สามารถทนต่ออุณหภูมิและรังสีที่รุนแรงได้
ในการผลิตจริง แผ่นคอมโพสิต SiC โมโนคริสตัลไลน์แบบนำไฟฟ้าขนาด 6 นิ้วบนพื้นผิวโพลีคริสตัลไลน์ SiC เข้ากันได้ดีกับกระบวนการอุปกรณ์ SiC มาตรฐาน (เช่น การพิมพ์หิน การแกะสลัก) โดยไม่ต้องใช้เงินลงทุนเพิ่มเติม
บริการ XKH
XKH ให้การสนับสนุนที่ครอบคลุมสำหรับ SiC โมโนคริสตัลไลน์แบบนำไฟฟ้าขนาด 6 นิ้วบนพื้นผิวคอมโพสิต SiC โพลีคริสตัลไลน์ ครอบคลุมถึงการวิจัยและพัฒนาไปจนถึงการผลิตจำนวนมาก:
1. การปรับแต่ง: ความหนาของชั้นโมโนคริสตัลไลน์ที่ปรับได้ (5–100 μm) ความเข้มข้นของการเจือปน (1e15–1e19 cm⁻³) และการวางแนวผลึก (4H/6H-SiC) เพื่อตอบสนองข้อกำหนดอุปกรณ์ที่หลากหลาย
2. การประมวลผลเวเฟอร์: จัดหาแผ่นพื้นผิวขนาด 6 นิ้วจำนวนมากพร้อมบริการการทำให้บางด้านหลังและการชุบโลหะสำหรับการรวมระบบแบบ plug-and-play
3. การตรวจสอบทางเทคนิค: รวมถึงการวิเคราะห์ผลึก XRD การทดสอบเอฟเฟกต์ฮอลล์ และการวัดความต้านทานความร้อนเพื่อเร่งคุณสมบัติของวัสดุ
4. การสร้างต้นแบบอย่างรวดเร็ว: ตัวอย่างขนาด 2 ถึง 4 นิ้ว (กระบวนการเดียวกัน) สำหรับสถาบันวิจัยเพื่อเร่งวงจรการพัฒนา
5. การวิเคราะห์และเพิ่มประสิทธิภาพความล้มเหลว: โซลูชันระดับวัสดุสำหรับความท้าทายในการประมวลผล (เช่น ข้อบกพร่องของชั้นเอพิแทกเซียล)
พันธกิจของเราคือการสร้างแผ่น SiC โมโนคริสตัลไลน์แบบนำไฟฟ้าขนาด 6 นิ้วบนพื้นผิวคอมโพสิต SiC โพลีคริสตัลไลน์ เป็นโซลูชันคุ้มต้นทุนที่ต้องการสำหรับอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์กำลัง SiC โดยให้การสนับสนุนครบวงจรตั้งแต่การสร้างต้นแบบไปจนถึงการผลิตจำนวนมาก
บทสรุป
แผ่นซิลิคอนซิลิคอนแบบโมโนคริสตัลไลน์ตัวนำขนาด 6 นิ้วบนแผ่นซิลิคอนซิลิคอนแบบโพลีคริสตัลไลน์สร้างสมดุลที่ก้าวล้ำระหว่างประสิทธิภาพและต้นทุนด้วยโครงสร้างไฮบริดโมโน/โพลีคริสตัลไลน์อันล้ำสมัย ในขณะที่ยานยนต์ไฟฟ้าขยายตัวและอุตสาหกรรม 4.0 ก้าวหน้า แผ่นซิลิคอนซิลิคอนนี้จึงเป็นฐานวัสดุที่เชื่อถือได้สำหรับอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์กำลังรุ่นต่อไป XKH ยินดีต้อนรับความร่วมมือเพื่อสำรวจศักยภาพของเทคโนโลยีซิลิคอนซิลิคอนเพิ่มเติม

