แผ่นเวเฟอร์ SiC เกรดการผลิตขนาด 8 นิ้ว แผ่นพื้นผิว SiC 4H-N
ตารางต่อไปนี้แสดงข้อมูลจำเพาะของเวเฟอร์ SiC ขนาด 8 นิ้วของเรา:
| ข้อมูลจำเพาะของ DSP SiC ชนิด N ขนาด 8 นิ้ว | |||||
| ตัวเลข | รายการ | หน่วย | การผลิต | วิจัย | หุ่นจำลอง |
| 1:พารามิเตอร์ | |||||
| 1.1 | โพลีไทป์ | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | การวางแนวพื้นผิว | ° | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 |
| 2:พารามิเตอร์ไฟฟ้า | |||||
| 2.1 | สารเจือปน | -- | ไนโตรเจนชนิด n | ไนโตรเจนชนิด n | ไนโตรเจนชนิด n |
| 2.2 | ความต้านทาน | โอห์ม · ซม. | 0.015~0.025 | 0.01~0.03 | NA |
| 3: พารามิเตอร์ทางกล | |||||
| 3.1 | เส้นผ่านศูนย์กลาง | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
| 3.2 | ความหนา | ไมโครเมตร | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | การวางแนวรอยบาก | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| 3.4 | ความลึกของรอยบาก | mm | 1~1.5 | 1~1.5 | 1~1.5 |
| 3.5 | มูลค่าหลักทรัพย์ตามราคาตลาด (LTV) | ไมโครเมตร | ≤5(10มม.*10มม.) | ≤5(10มม.*10มม.) | ≤10(10มม.*10มม.) |
| 3.6 | ทีทีวี | ไมโครเมตร | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | โค้งคำนับ | ไมโครเมตร | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | การบิดเบี้ยว | ไมโครเมตร | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | เอเอฟเอ็ม | nm | รา≤0.2 | รา≤0.2 | รา≤0.2 |
| 4:โครงสร้าง | |||||
| 4.1 | ความหนาแน่นของไมโครไพพ์ | หน่วย/ซม2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | ปริมาณโลหะ | อะตอม/ซม2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | ศูนย์รับฝากหลักทรัพย์ (TSD) | หน่วย/ซม2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | โรค BPD | หน่วย/ซม2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | เท็ด | หน่วย/ซม2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5.คุณภาพด้านหน้า | |||||
| 5.1 | ด้านหน้า | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | ผิวสำเร็จ | -- | ซีเอ็มพี ไซเฟซ | ซีเอ็มพี ไซเฟซ | ซีเอ็มพี ไซเฟซ |
| 5.3 | อนุภาค | เอ/เวเฟอร์ | ≤100(ขนาด≥0.3μm) | NA | NA |
| 5.4 | เกา | เอ/เวเฟอร์ | ≤5, ความยาวรวม≤200มม. | NA | NA |
| 5.5 | ขอบ รอยแตก/รอยบุบ/รอยแตก/คราบ/การปนเปื้อน | -- | ไม่มี | ไม่มี | NA |
| 5.6 | พื้นที่โพลีไทป์ | -- | ไม่มี | พื้นที่ ≤10% | พื้นที่ ≤30% |
| 5.7 | เครื่องหมายด้านหน้า | -- | ไม่มี | ไม่มี | ไม่มี |
| 6:คุณภาพด้านหลัง | |||||
| 6.1 | ด้านหลังเสร็จสิ้น | -- | สส.หน้าซี | สส.หน้าซี | สส.หน้าซี |
| 6.2 | เกา | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | ขอบหลังมีตำหนิ ชิป/รอยบุ๋ม | -- | ไม่มี | ไม่มี | NA |
| 6.4 | ความหยาบหลัง | nm | รา≤5 | รา≤5 | รา≤5 |
| 6.5 | การทำเครื่องหมายด้านหลัง | -- | รอยบาก | รอยบาก | รอยบาก |
| 7:ขอบ | |||||
| 7.1 | ขอบ | -- | มุมเฉียง | มุมเฉียง | มุมเฉียง |
| 8:แพ็คเกจ | |||||
| 8.1 | บรรจุภัณฑ์ | -- | อีพีพร้อมแล้วด้วยระบบสูญญากาศ บรรจุภัณฑ์ | อีพีพร้อมแล้วด้วยระบบสูญญากาศ บรรจุภัณฑ์ | อีพีพร้อมแล้วด้วยระบบสูญญากาศ บรรจุภัณฑ์ |
| 8.2 | บรรจุภัณฑ์ | -- | มัลติเวเฟอร์ บรรจุภัณฑ์แบบตลับเทป | มัลติเวเฟอร์ บรรจุภัณฑ์แบบตลับเทป | มัลติเวเฟอร์ บรรจุภัณฑ์แบบตลับเทป |
แผนภาพรายละเอียด
เขียนข้อความของคุณที่นี่และส่งถึงเรา