8 นิ้ว SiC เวเฟอร์เกรดการผลิต 4H-N SiC สารตั้งต้น

คำอธิบายสั้น:

วัสดุพิมพ์ SiC ขนาด 8 นิ้วใช้ในอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์กำลังสูง เช่น Power MOSFET (ทรานซิสเตอร์สนามแม่เหล็กของเซมิคอนดักเตอร์เมทัลออกไซด์) ไดโอด Schottky และอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์กำลังอื่นๆ

ส่งอีเมลถึงเรา

รายละเอียดผลิตภัณฑ์

แท็กสินค้า

ตารางต่อไปนี้แสดงข้อมูลจำเพาะของเวเฟอร์ SiC ขนาด 8 นิ้วของเรา:

ข้อมูลจำเพาะ SiC DSP ชนิด N ขนาด 8 นิ้ว
ตัวเลข	รายการ	หน่วย	การผลิต	วิจัย	หุ่นเชิด
1:พารามิเตอร์
1.1	โพลีไทป์	--	4H	4H	4H
1.2	การวางแนวพื้นผิว	°	<11-20>4±0.5	<11-20>4±0.5	<11-20>4±0.5
2: พารามิเตอร์ทางไฟฟ้า
2.1	สารเจือปน	--	ไนโตรเจนชนิด n	ไนโตรเจนชนิด n	ไนโตรเจนชนิด n
2.2	ความต้านทาน	โอห์ม ·ซม	0.015~0.025	0.01~0.03	NA
3: พารามิเตอร์ทางกล
3.1	เส้นผ่านศูนย์กลาง	mm	200±0.2	200±0.2	200±0.2
3.2	ความหนา	ไมโครเมตร	500±25	500±25	500±25
3.3	การวางแนวรอยบาก	°	[1- 100]±5	[1- 100]±5	[1- 100]±5
3.4	ความลึกของรอยบาก	mm	1~1.5	1~1.5	1~1.5
3.5	LTV	ไมโครเมตร	≤5(10มม.* 10มม.)	≤5(10มม.* 10มม.)	≤10(10มม.* 10มม.)
3.6	ทีทีวี	ไมโครเมตร	≤10	≤10	≤15
3.7	โค้งคำนับ	ไมโครเมตร	-25~25	-45~45	-65~65
3.8	วาร์ป	ไมโครเมตร	≤30	≤50	≤70
3.9	เอเอฟเอ็ม	nm	รา≤0.2	รา≤0.2	รา≤0.2
4: โครงสร้าง
4.1	ความหนาแน่นของไมโครไพพ์	อี/ซม2	≤2	≤10	≤50
4.2	เนื้อหาโลหะ	อะตอม/cm2	≤1E11	≤1E11	NA
4.3	ศูนย์รับฝาก	อี/ซม2	≤500	≤1000	NA
4.4	บีพีดี	อี/ซม2	≤2000	≤5000	NA
4.5	เท็ด	อี/ซม2	≤7000	≤10000	NA
5.คุณภาพด้านหน้า
5.1	ด้านหน้า	--	Si	Si	Si
5.2	การตกแต่งพื้นผิว	--	ซี-เฟซ ซีเอ็มพี	ซี-เฟซ ซีเอ็มพี	ซี-เฟซ ซีเอ็มพี
5.3	อนุภาค	อี/เวเฟอร์	≤100 (ขนาด≥0.3μm)	NA	NA
5.4	เกา	อี/เวเฟอร์	≤5,ความยาวรวม≤200มม	NA	NA
5.5	ขอบ ชิป/เยื้อง/รอยแตก/คราบ/การปนเปื้อน	--	ไม่มี	ไม่มี	NA
5.6	พื้นที่โพลีไทป์	--	ไม่มี	พื้นที่ ≤10%	พื้นที่ ≤30%
5.7	เครื่องหมายด้านหน้า	--	ไม่มี	ไม่มี	ไม่มี
6: คุณภาพกลับ
6.1	ด้านหลังเสร็จสิ้น	--	ส.ส.หน้าซี	ส.ส.หน้าซี	ส.ส.หน้าซี
6.2	เกา	mm	NA	NA	NA
6.3	ขอบมีตำหนิด้านหลัง ชิป/เยื้อง	--	ไม่มี	ไม่มี	NA
6.4	กลับหยาบกร้าน	nm	รา≤5	รา≤5	รา≤5
6.5	เครื่องหมายด้านหลัง	--	รอยบาก	รอยบาก	รอยบาก
7:ขอบ
7.1	ขอบ	--	แชมเฟอร์	แชมเฟอร์	แชมเฟอร์
8: แพคเกจ
8.1	บรรจุภัณฑ์	--	Epi พร้อมระบบสุญญากาศ บรรจุภัณฑ์	Epi พร้อมระบบสุญญากาศ บรรจุภัณฑ์	Epi พร้อมระบบสุญญากาศ บรรจุภัณฑ์
8.2	บรรจุภัณฑ์	--	มัลติเวเฟอร์ บรรจุภัณฑ์เทปคาสเซ็ท	มัลติเวเฟอร์ บรรจุภัณฑ์เทปคาสเซ็ท	มัลติเวเฟอร์ บรรจุภัณฑ์เทปคาสเซ็ท