แม่แบบ AlN บน FSS ขนาด 2 นิ้ว และ 4 นิ้ว NPSS/FSS สำหรับพื้นที่เซมิคอนดักเตอร์
คุณสมบัติ
ส่วนประกอบของวัสดุ:
อะลูมิเนียมไนไตรด์ (AlN) – ชั้นเซรามิกสีขาวประสิทธิภาพสูง ให้การนำความร้อนที่ดีเยี่ยม (โดยทั่วไป 200-300 วัตต์/เมตร·เคลวิน) เป็นฉนวนไฟฟ้าที่ดี และมีความแข็งแรงเชิงกลสูง
วัสดุรองรับแบบยืดหยุ่น (FSS) – ฟิล์มโพลีเมอร์แบบยืดหยุ่น (เช่น โพลีอิไมด์, PET เป็นต้น) ที่ให้ความทนทานและความสามารถในการโค้งงอโดยไม่ลดทอนการทำงานของชั้น AlN
มีขนาดเวเฟอร์ให้เลือก:
2 นิ้ว (50.8 มม.)
4 นิ้ว (100 มม.)
ความหนา:
ชั้น AlN: 100-2000 นาโนเมตร
ความหนาของแผ่นรองพื้น FSS: 50 µm - 500 µm (สามารถปรับแต่งได้ตามความต้องการ)
ตัวเลือกการตกแต่งพื้นผิว:
NPSS (พื้นผิวไม่ขัดเงา) – พื้นผิววัสดุที่ไม่ขัดเงา เหมาะสำหรับงานบางประเภทที่ต้องการพื้นผิวหยาบเพื่อการยึดเกาะหรือการรวมตัวที่ดีขึ้น
FSS (Flexible Substrate) – ฟิล์มยืดหยุ่นขัดเงาหรือไม่ขัดเงา โดยสามารถเลือกพื้นผิวเรียบหรือมีลวดลายได้ ขึ้นอยู่กับความต้องการใช้งานเฉพาะด้าน
คุณสมบัติทางไฟฟ้า:
คุณสมบัติเป็นฉนวนไฟฟ้า – คุณสมบัติเป็นฉนวนไฟฟ้าของ AlN ทำให้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการใช้งานในสารกึ่งตัวนำแรงดันสูงและกำลังไฟฟ้าสูง
ค่าคงที่ไดอิเล็กทริก: ~9.5
ค่าการนำความร้อน: 200-300 วัตต์/เมตร·เคลวิน (ขึ้นอยู่กับเกรดและความหนาของ AlN ที่ใช้)
คุณสมบัติทางกล:
ความยืดหยุ่น: AlN ถูกเคลือบลงบนพื้นผิวที่ยืดหยุ่นได้ (FSS) ซึ่งช่วยให้สามารถโค้งงอและมีความยืดหยุ่นได้
ความแข็งของพื้นผิว: อลูมิเนียมไนไตรด์ (AlN) มีความทนทานสูงและทนต่อความเสียหายทางกายภาพภายใต้สภาวะการใช้งานปกติ
แอปพลิเคชัน
อุปกรณ์กำลังสูงเหมาะอย่างยิ่งสำหรับอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์กำลังที่ต้องการการระบายความร้อนสูง เช่น ตัวแปลงกำลังไฟฟ้า เครื่องขยายสัญญาณ RF และโมดูล LED กำลังสูง
ส่วนประกอบ RF และไมโครเวฟ: เหมาะสำหรับชิ้นส่วนต่างๆ เช่น เสาอากาศ ตัวกรอง และตัวเรโซเนเตอร์ ที่ต้องการทั้งการนำความร้อนและความยืดหยุ่นเชิงกล
อิเล็กทรอนิกส์แบบยืดหยุ่นเหมาะอย่างยิ่งสำหรับงานที่อุปกรณ์จำเป็นต้องปรับตัวให้เข้ากับพื้นผิวที่ไม่เรียบ หรือต้องการดีไซน์ที่เบาและยืดหยุ่น (เช่น อุปกรณ์สวมใส่ เซ็นเซอร์แบบยืดหยุ่น)
บรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์: ใช้เป็นวัสดุรองรับในบรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์ ช่วยระบายความร้อนในงานที่สร้างความร้อนสูง
ไฟ LED และอุปกรณ์อิเล็กโทรออปติกเหมาะสำหรับอุปกรณ์ที่ต้องการการทำงานที่อุณหภูมิสูงและการระบายความร้อนที่มีประสิทธิภาพสูง
ตารางพารามิเตอร์
| คุณสมบัติ | ค่าหรือช่วง |
| ขนาดเวเฟอร์ | 2 นิ้ว (50.8 มม.), 4 นิ้ว (100 มม.) |
| ความหนาของชั้น AlN | 100 นาโนเมตร – 2000 นาโนเมตร |
| ความหนาของพื้นผิว FSS | 50 µm – 500 µm (ปรับแต่งได้) |
| การนำความร้อน | 200 – 300 วัตต์/เมตร·เคลวิน |
| คุณสมบัติทางไฟฟ้า | เป็นฉนวน (ค่าคงที่ไดอิเล็กตริก: ~9.5) |
| การตกแต่งพื้นผิว | ขัดเงาหรือไม่ขัดเงา |
| ประเภทของวัสดุรองรับ | NPSS (พื้นผิวที่ไม่ขัดเงา), FSS (พื้นผิวที่ยืดหยุ่นได้) |
| ความยืดหยุ่นเชิงกล | มีความยืดหยุ่นสูง เหมาะสำหรับอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์แบบยืดหยุ่น |
| สี | สีขาวถึงสีขาวนวล (ขึ้นอยู่กับวัสดุที่ใช้) |
แอปพลิเคชัน
●อิเล็กทรอนิกส์กำลัง:คุณสมบัติการนำความร้อนสูงและความยืดหยุ่นทำให้แผ่นเวเฟอร์เหล่านี้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับอุปกรณ์กำลังไฟฟ้า เช่น ตัวแปลงกำลังไฟฟ้า ทรานซิสเตอร์ และตัวควบคุมแรงดันไฟฟ้า ที่ต้องการการระบายความร้อนอย่างมีประสิทธิภาพ
●อุปกรณ์ RF/ไมโครเวฟ:เนื่องจากคุณสมบัติทางความร้อนที่เหนือกว่าและการนำไฟฟ้าต่ำของ AlN แผ่นเวเฟอร์เหล่านี้จึงถูกนำไปใช้ในชิ้นส่วน RF เช่น แอมพลิฟายเออร์ ออสซิเลเตอร์ และเสาอากาศ
●อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์แบบยืดหยุ่น:ความยืดหยุ่นของชั้น FSS ผสานกับการจัดการความร้อนที่ยอดเยี่ยมของ AlN ทำให้เป็นตัวเลือกที่เหมาะสมอย่างยิ่งสำหรับอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์แบบสวมใส่และเซ็นเซอร์
●บรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์:ใช้สำหรับงานบรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์ประสิทธิภาพสูง ซึ่งการระบายความร้อนที่มีประสิทธิภาพและความน่าเชื่อถือเป็นสิ่งสำคัญยิ่ง
●การใช้งาน LED และอุปกรณ์อิเล็กโทรออปติก:อะลูมิเนียมไนไตรด์เป็นวัสดุที่ยอดเยี่ยมสำหรับการบรรจุภัณฑ์ LED และอุปกรณ์อิเล็กโทรออปติกอื่นๆ ที่ต้องการความทนทานต่อความร้อนสูง
คำถามและคำตอบ (คำถามที่พบบ่อย)
คำถามที่ 1: การใช้ AlN บนเวเฟอร์ FSS มีประโยชน์อย่างไรบ้าง?
A1แผ่นเวเฟอร์ AlN บน FSS ผสานคุณสมบัติการนำความร้อนสูงและฉนวนไฟฟ้าของ AlN เข้ากับความยืดหยุ่นเชิงกลของวัสดุพอลิเมอร์ ทำให้สามารถระบายความร้อนได้ดีขึ้นในระบบอิเล็กทรอนิกส์แบบยืดหยุ่น ในขณะที่ยังคงรักษาความสมบูรณ์ของอุปกรณ์ภายใต้สภาวะการดัดงอและการยืด
Q2: มีขนาดใดบ้างสำหรับ AlN บนเวเฟอร์ FSS ที่สามารถใช้งานได้?
A2เราเสนอ2 นิ้วและ4 นิ้วขนาดเวเฟอร์ สามารถปรึกษาเรื่องขนาดที่กำหนดเองได้ตามคำขอ เพื่อให้ตรงกับความต้องการใช้งานเฉพาะของคุณ
Q3: ฉันสามารถปรับแต่งความหนาของชั้น AlN ได้หรือไม่?
A3ใช่ความหนาของชั้น AlNสามารถปรับแต่งได้ โดยมีช่วงราคาโดยทั่วไปตั้งแต่100 นาโนเมตร ถึง 2000 นาโนเมตรขึ้นอยู่กับข้อกำหนดของแอปพลิเคชันของคุณ
แผนภาพโดยละเอียด




