แผ่นเวเฟอร์ AlN บนแผ่นเวเฟอร์แซฟไฟร์ที่ไม่ขัดเงา: ชั้นอะลูมิเนียมไนไตรด์ประสิทธิภาพสูงบนพื้นผิวแซฟไฟร์ที่ไม่ขัดเงา สำหรับการใช้งานที่อุณหภูมิสูง กำลังสูง และคลื่นความถี่วิทยุ (RF)
คุณสมบัติ
ชั้น AlN ประสิทธิภาพสูงอะลูมิเนียมไนไตรด์ (AlN) เป็นที่รู้จักกันดีในด้าน...การนำความร้อนสูง(~200 วัตต์/เมตร·เคลวิน)ช่องว่างแถบกว้าง, และแรงดันพังทลายสูงจึงเป็นวัสดุที่เหมาะสมอย่างยิ่งสำหรับกำลังสูง, ความถี่สูง, และอุณหภูมิสูงแอปพลิเคชัน
แผ่นรองพื้นแซฟไฟร์ที่ไม่ขัดเงา (NPSS)พลอยแซฟไฟร์ที่ไม่ผ่านการขัดเงาให้คุณสมบัติดังนี้:คุ้มค่า, แข็งแรงทนทานทางกลเป็นฐานที่มั่นคงสำหรับการเจริญเติบโตแบบเอพิเท็กเซียโดยไม่ต้องมีการขัดผิวที่ซับซ้อน คุณสมบัติทางกลที่ดีเยี่ยมของ NPSS ทำให้ทนทานต่อสภาพแวดล้อมที่ท้าทาย
เสถียรภาพทางความร้อนสูงแผ่นเวเฟอร์ AlN-on-NPSS สามารถทนต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างรุนแรงได้ ทำให้เหมาะสำหรับการใช้งานในอิเล็กทรอนิกส์กำลัง, ระบบยานยนต์, ไฟ LED, และการใช้งานทางแสงซึ่งต้องการประสิทธิภาพการทำงานที่เสถียรในสภาวะอุณหภูมิสูง
ฉนวนไฟฟ้าAlN มีคุณสมบัติเป็นฉนวนไฟฟ้าที่ดีเยี่ยม ทำให้เหมาะสำหรับงานต่างๆ ที่ต้องการคุณสมบัติเป็นฉนวนไฟฟ้าการแยกทางไฟฟ้ามีความสำคัญอย่างยิ่ง รวมถึงอุปกรณ์ RFและอิเล็กทรอนิกส์ไมโครเวฟ.
การระบายความร้อนที่เหนือกว่าด้วยค่าการนำความร้อนสูง ชั้น AlN ช่วยให้การระบายความร้อนมีประสิทธิภาพ ซึ่งเป็นสิ่งสำคัญในการรักษาประสิทธิภาพและอายุการใช้งานของอุปกรณ์ที่ทำงานภายใต้กำลังและความถี่สูง
พารามิเตอร์ทางเทคนิค
| พารามิเตอร์ | ข้อกำหนด |
| เส้นผ่านศูนย์กลางเวเฟอร์ | ขนาด 2 นิ้ว, 4 นิ้ว (สามารถสั่งทำขนาดพิเศษได้) |
| ประเภทของวัสดุรองรับ | แผ่นรองพื้นแซฟไฟร์ที่ไม่ขัดเงา (NPSS) |
| ความหนาของชั้น AlN | 2 ไมโครเมตร ถึง 10 ไมโครเมตร (ปรับแต่งได้) |
| ความหนาของวัสดุรองรับ | 430 µm ± 25 µm (สำหรับขนาด 2 นิ้ว), 500 µm ± 25 µm (สำหรับขนาด 4 นิ้ว) |
| การนำความร้อน | 200 วัตต์/เมตร·เคลวิน |
| ความต้านทานไฟฟ้า | ฉนวนสูง เหมาะสำหรับงานด้านคลื่นวิทยุ (RF) |
| ความหยาบของพื้นผิว | Ra ≤ 0.5 µm (สำหรับชั้น AlN) |
| ความบริสุทธิ์ของวัสดุ | AlN บริสุทธิ์สูง (99.9%) |
| สี | สีขาว/ขาวนวล (ชั้น AlN บนพื้นผิว NPSS สีอ่อน) |
| เวเฟอร์ วาร์ป | < 30 ไมโครเมตร (โดยทั่วไป) |
| ประเภทการใช้สารกระตุ้น | ไม่เจือสาร (สามารถปรับแต่งได้) |
แอปพลิเคชัน
เดอะแผ่นเวเฟอร์ AlN บน NPSSออกแบบมาเพื่อการใช้งานประสิทธิภาพสูงหลากหลายประเภทในหลายอุตสาหกรรม:
อิเล็กทรอนิกส์กำลังสูง: ค่าการนำความร้อนสูงและคุณสมบัติเป็นฉนวนของชั้น AlN ทำให้เป็นวัสดุที่เหมาะสมอย่างยิ่งสำหรับทรานซิสเตอร์กำลัง, ตัวเรียงกระแส, และไอซีพลังงานใช้ในยานยนต์, ทางอุตสาหกรรม, และพลังงานหมุนเวียนระบบต่างๆ
ส่วนประกอบคลื่นความถี่วิทยุ (RF)คุณสมบัติการเป็นฉนวนไฟฟ้าที่ดีเยี่ยมของ AlN ประกอบกับการสูญเสียต่ำ ทำให้สามารถผลิต AlN ได้ทรานซิสเตอร์ RF, ทรานซิสเตอร์ HEMT (High-Electron-Mobility Transistors)และอื่นๆส่วนประกอบไมโครเวฟซึ่งทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพที่ความถี่และระดับกำลังสูง
อุปกรณ์ทางแสงแผ่นเวเฟอร์ AlN-on-NPSS ถูกนำมาใช้ในไดโอดเลเซอร์, ไฟ LED, และเครื่องตรวจจับแสงที่ซึ่งการนำความร้อนสูงและความแข็งแรงเชิงกลสิ่งเหล่านี้จำเป็นอย่างยิ่งต่อการรักษาประสิทธิภาพการทำงานตลอดอายุการใช้งานที่ยาวนาน
เซ็นเซอร์อุณหภูมิสูงคุณสมบัติของเวเฟอร์ที่ทนต่อความร้อนสูง ทำให้เวเฟอร์นี้เหมาะสำหรับการใช้งานต่างๆเซ็นเซอร์วัดอุณหภูมิและการตรวจสอบด้านสิ่งแวดล้อมในอุตสาหกรรมต่างๆ เช่นอวกาศ, ยานยนต์, และน้ำมันและก๊าซ.
บรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์: ใช้ใน ตัวกระจายความร้อนและชั้นการจัดการความร้อนในระบบบรรจุภัณฑ์ ช่วยให้มั่นใจได้ถึงความน่าเชื่อถือและประสิทธิภาพของเซมิคอนดักเตอร์
ถาม-ตอบ
ถาม: ข้อได้เปรียบหลักของเวเฟอร์ AlN บน NPSS เมื่อเทียบกับวัสดุแบบดั้งเดิม เช่น ซิลิคอน คืออะไร?
A: ข้อได้เปรียบหลักคือ AlNการนำความร้อนสูงซึ่งช่วยให้ระบายความร้อนได้อย่างมีประสิทธิภาพ ทำให้เหมาะสำหรับกำลังสูงและการใช้งานความถี่สูงซึ่งการจัดการความร้อนเป็นสิ่งสำคัญ นอกจากนี้ AlN ยังมีช่องว่างแถบกว้างและยอดเยี่ยมฉนวนไฟฟ้าทำให้มีคุณสมบัติเหนือกว่าในการใช้งานRFและอุปกรณ์ไมโครเวฟเมื่อเทียบกับซิลิคอนแบบดั้งเดิม
ถาม: สามารถปรับแต่งชั้น AlN บนเวเฟอร์ NPSS ได้หรือไม่?
A: ใช่ครับ ชั้น AlN สามารถปรับแต่งความหนาได้ (ตั้งแต่ 2 ไมโครเมตร ถึง 10 ไมโครเมตร หรือมากกว่านั้น) เพื่อให้ตรงกับความต้องการเฉพาะของแอปพลิเคชันของคุณ เรายังเสนอการปรับแต่งในแง่ของประเภทการเจือปน (ชนิด N หรือชนิด P) และชั้นเพิ่มเติมสำหรับฟังก์ชันพิเศษต่างๆ อีกด้วย
ถาม: โดยทั่วไปแล้วแผ่นเวเฟอร์นี้ใช้ในอุตสาหกรรมยานยนต์ในด้านใดบ้าง?
A: ในอุตสาหกรรมยานยนต์ เวเฟอร์ AlN-on-NPSS นิยมใช้กันอย่างแพร่หลายในอิเล็กทรอนิกส์กำลัง, ระบบไฟ LED, และเซ็นเซอร์วัดอุณหภูมิวัสดุเหล่านี้ให้การจัดการความร้อนและฉนวนไฟฟ้าที่เหนือกว่า ซึ่งเป็นสิ่งจำเป็นสำหรับระบบประสิทธิภาพสูงที่ทำงานภายใต้สภาวะอุณหภูมิที่เปลี่ยนแปลงได้
แผนภาพโดยละเอียด
