อะลูมินาเซรามิกเอนด์เอฟเฟกเตอร์ / แขนส้อมสำหรับการจัดการเวเฟอร์และซับสเตรต

ภาพเด่นของตัวจับปลายเซรามิกอะลูมินา / แขนส้อมสำหรับการจัดการเวเฟอร์และซับสเตรต

คำอธิบายสั้น ๆ :

อะลูมินาเซรามิกเอนด์เอฟเฟคเตอร์ หรือที่เรียกกันทั่วไปว่าแขนส้อมเซรามิกหรือกริปเปอร์เซรามิก เป็นเครื่องมือสำคัญที่ใช้ในระบบอัตโนมัติหุ่นยนต์และสายการผลิตในห้องคลีนรูม ส่วนประกอบนี้ติดตั้งอยู่บนแขนหุ่นยนต์เพื่อทำหน้าที่เป็นส่วนเชื่อมต่อขั้นสุดท้ายกับผลิตภัณฑ์ ทำหน้าที่หยิบจับ ยึด จัดตำแหน่ง และถ่ายโอนชิ้นส่วนที่มีความไวสูง เช่น แผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน แผงกระจก หรือส่วนประกอบไมโครอิเล็กทรอนิกส์

ส่งอีเมล์ถึงเรา

คุณสมบัติ

แผนภาพรายละเอียด

ceramic-arm-for-wafer-drive-of-semiconductors-02 - 副本

ภาพรวมของตัวกระตุ้นปลายเซรามิกอะลูมินา

อะลูมินาเซรามิกเอนด์เอฟเฟคเตอร์ หรือที่เรียกกันทั่วไปว่าแขนส้อมเซรามิกหรือกริปเปอร์เซรามิก เป็นเครื่องมือสำคัญที่ใช้ในระบบอัตโนมัติหุ่นยนต์และสายการผลิตในห้องคลีนรูม อะลูมินาเซรามิกเอนด์เอฟเฟคเตอร์ติดตั้งอยู่บนแขนหุ่นยนต์เพื่อทำหน้าที่เป็นจุดเชื่อมต่อขั้นสุดท้ายกับผลิตภัณฑ์ ทำหน้าที่หยิบจับ ยึด จัดตำแหน่ง และถ่ายโอนชิ้นส่วนที่มีความไวสูง เช่น แผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน แผงกระจก หรือส่วนประกอบไมโครอิเล็กทรอนิกส์

แขนส้อมนี้ผลิตจากเซรามิกอะลูมินาบริสุทธิ์พิเศษ (Al2O3) จึงเป็นโซลูชันที่สะอาดและเสถียรเป็นพิเศษสำหรับสภาพแวดล้อมที่ไม่สามารถทนต่อการปนเปื้อนของโลหะ การเสียรูปพลาสติก หรือการเกิดอนุภาคได้

คุณสมบัติของวัสดุ – ทำไมต้องใช้อะลูมินา

เกี่ยวกับ Alumina Ceramic End Effector, Alumina (Al2O3) เป็นหนึ่งในผลิตภัณฑ์ที่ได้รับการยอมรับและเชื่อถือได้มากที่สุดวิศวกรรมเซรามิกขั้นสูงเกรดที่เราใช้ (ความบริสุทธิ์ ≥99.5%) นำเสนอคุณสมบัติทางกายภาพและเคมีที่ผสมผสานกันอย่างเป็นเอกลักษณ์ ซึ่งทำให้เป็นวัสดุที่เลือกใช้สำหรับการใช้งานเซมิคอนดักเตอร์และสูญญากาศ:

ความแข็งระดับสุดยอด– ด้วยค่าความแข็ง Mohs 9 จึงมีความทนทานยาวนานและทนต่อรอยขีดข่วน
ความทนทานต่อความร้อน– รักษาความสมบูรณ์ของโครงสร้างได้ดีกว่าอุณหภูมิ 1,600°C เหนือกว่าวัสดุโลหะและโพลีเมอร์
ฉนวนไฟฟ้า– กำจัดไฟฟ้าสถิตย์และให้การปกป้องทางไฟฟ้าอย่างเต็มรูปแบบ
ภูมิคุ้มกันทางเคมี– ไม่ได้รับผลกระทบจากกรด ด่าง ก๊าซพลาสม่า และสารทำความสะอาดที่กัดกร่อน
ความเสี่ยงจากการปนเปื้อนต่ำเป็นพิเศษ– พื้นผิวไม่ปล่อยก๊าซ มีแรงเสียดทานต่ำ ช่วยลดการปล่อยอนุภาคในห้องคลีนรูม

คุณลักษณะเหล่านี้ทำให้ตัวกระตุ้นปลายเซรามิกอะลูมินาสามารถทำงานได้อย่างสมบูรณ์แบบในสภาพแวดล้อมที่มีความแม่นยำสูงและรุนแรง

การประยุกต์ใช้หลักของตัวกระตุ้นปลายเซรามิกอะลูมินา

ความเก่งกาจของแขนปลายเอฟเฟกเตอร์ฟอร์คที่ทำจากเซรามิกอะลูมินาทำให้แขนเหล่านี้มีความจำเป็นในอุตสาหกรรมเทคโนโลยีชั้นสูงหลายประเภท:

ระบบขนส่งเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์– เคลื่อนย้ายเวเฟอร์ซิลิกอนจากกระบวนการหนึ่งไปยังอีกกระบวนการหนึ่งอย่างปลอดภัยโดยไม่เกิดรอยขีดข่วนเล็กๆ น้อยๆ
การผลิตจอแบน– การจัดการพื้นผิวกระจกที่เปราะบางสำหรับการผลิต OLED, LCD หรือ microLED
การผลิตพลังงานแสงอาทิตย์ (PV)– รองรับการโหลดและขนถ่ายเวเฟอร์พลังงานแสงอาทิตย์ภายใต้วงจรหุ่นยนต์ความเร็วสูง
การประกอบชิ้นส่วนออปติคัลและอิเล็กทรอนิกส์– จับชิ้นส่วนที่บอบบาง เช่น เซ็นเซอร์ ตัวต้านทาน และชิปขนาดเล็ก
ระบบอัตโนมัติสูญญากาศและห้องคลีนรูม– ดำเนินงานที่ต้องใช้ความแม่นยำภายใต้สภาวะการควบคุมอนุภาคที่สะอาดเป็นพิเศษ

ในทุกสถานการณ์ ตัวกระตุ้นปลายเซรามิกอะลูมินาทำหน้าที่เป็นตัวเชื่อมโยงที่สำคัญระหว่างระบบอัตโนมัติของหุ่นยนต์และผลิตภัณฑ์ที่กำลังเคลื่อนย้าย

ตัวเลือกการออกแบบและการปรับแต่งของตัวกระตุ้นปลายเซรามิกอะลูมินา

แต่ละสายการผลิตมีข้อกำหนดเฉพาะตัว ดังนั้นเราจึงนำเสนอโซลูชัน Alumina Ceramic End Effector ที่ออกแบบเฉพาะสำหรับเวเฟอร์หลากหลายขนาด ระบบหุ่นยนต์ และวิธีการจัดการ:

ความเข้ากันได้ของเวเฟอร์: รองรับเวเฟอร์ขนาดตั้งแต่ 2” ถึง 12” และสามารถปรับขนาดสำหรับชิ้นส่วนที่กำหนดเองได้

ตัวเลือกรูปทรงเรขาคณิต: ส้อมเดี่ยว ส้อมคู่ ช่องหลายช่อง หรือรูปทรงที่กำหนดเองพร้อมช่องเว้าแบบบูรณาการ

การจัดการสูญญากาศ: ช่องดูดสูญญากาศเสริมสำหรับการรองรับเวเฟอร์แบบไร้สัมผัส

อินเทอร์เฟซการติดตั้ง: รูโบลต์ หน้าแปลน หรือการออกแบบแบบมีร่องที่กำหนดเองเพื่อให้พอดีกับแขนหุ่นยนต์ทุกประเภท

การตกแต่งพื้นผิว: พื้นผิวขัดเงาหรือพื้นผิวเคลือบพิเศษ (ถึง Ra < 0.15 μm)

โปรไฟล์ขอบ: ขอบเอียงหรือขอบมนเพื่อการปกป้องเวเฟอร์สูงสุด

ทีมวิศวกรรมตัวกระตุ้นปลายเซรามิกอะลูมินาของเราสามารถทำงานจากรูปวาด CAD ของลูกค้าหรือชิ้นส่วนตัวอย่าง ช่วยให้มั่นใจได้ว่าจะบูรณาการเข้ากับระบบอัตโนมัติที่มีอยู่ได้อย่างราบรื่น

ประโยชน์หลักของตัวกระตุ้นปลายเซรามิกอะลูมินา

คุณสมบัติ	ทำไมมันจึงสำคัญ
ความแม่นยำของมิติ	รักษาการจัดตำแหน่งให้สมบูรณ์แบบแม้ในรอบความเร็วสูงซ้ำๆ กัน
ไม่ปนเปื้อน	แทบไม่ผลิตอนุภาคใดๆ ตอบสนองความต้องการห้องคลีนรูมที่เข้มงวด
ทนความร้อนและการกัดกร่อน	ทนทานต่อขั้นตอนการประมวลผลที่เข้มงวดและการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิ
ไม่มีประจุไฟฟ้าสถิต	ปกป้องเวเฟอร์และส่วนประกอบที่บอบบางจากความเสี่ยงจากไฟฟ้าสถิต
น้ำหนักเบาแต่แข็งแรง	มีความแข็งแกร่งสูงโดยไม่กระทบต่อภาระของแขนหุ่นยนต์
อายุการใช้งานยาวนาน	เหนือกว่าแขนโลหะและโพลีเมอร์ในด้านอายุการใช้งานและความน่าเชื่อถือ

การเปรียบเทียบวัสดุของตัวกระตุ้นปลายเซรามิกอะลูมินา

คุณลักษณะ	แขนส้อมพลาสติก	แขนส้อมอลูมิเนียม/โลหะ	แขนส้อมเซรามิกอะลูมินา
ความแข็ง	ต่ำ	ปานกลาง	สูงมาก
ช่วงความร้อน	≤ 150 องศาเซลเซียส	≤ 500 องศาเซลเซียส	สูงถึง 1600°C
ความเสถียรทางเคมี	ยากจน	ปานกลาง	ยอดเยี่ยม
การจัดอันดับห้องสะอาด	ต่ำ	เฉลี่ย	เหมาะสำหรับคลาส 100 ขึ้นไป
ความต้านทานการสึกหรอ	จำกัด	ดี	โดดเด่น
ระดับการปรับแต่ง	ปานกลาง	จำกัด	กว้างขวาง

คำถามที่พบบ่อย (FAQ) ของตัวกระตุ้นปลายเซรามิกอะลูมินา

คำถามที่ 1: อะไรที่ทำให้เอฟเฟกเตอร์ปลายเซรามิกอะลูมินาแตกต่างจากเอฟเฟกเตอร์ปลายโลหะ?
ก1:ต่างจากแขนอะลูมิเนียมหรือเหล็ก เซรามิกอะลูมินาไม่กัดกร่อน เสียรูป หรือนำไอออนโลหะเข้าสู่กระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ เซรามิกยังคงมีเสถียรภาพทางมิติภายใต้สภาวะที่รุนแรง และแทบไม่ปล่อยอนุภาคใดๆ ออกมาเลย

คำถามที่ 2: สามารถใช้ Alumina Ceramic End Effector ในห้องสุญญากาศสูงและห้องพลาสม่าได้หรือไม่
A2:ใช่ครับ เซรามิกอะลูมินาเป็นไม่ปล่อยก๊าซและทนต่อพลาสมา ซึ่งทำให้เป็นวัสดุที่นิยมใช้ในอุปกรณ์การแปรรูปและแกะสลักแบบสูญญากาศ

ไตรมาสที่ 3: แขนส้อม Alumina Ceramic End Effector เหล่านี้ปรับแต่งได้มากเพียงใด?
A3:ทุกหน่วยสามารถเป็นได้ปรับแต่งได้อย่างเต็มที่—รวมถึงรูปร่าง ช่อง รูดูด รูปแบบการติดตั้ง และขอบตกแต่ง—ให้ตรงตามข้อกำหนดของระบบหุ่นยนต์ของคุณ

Q4: มันเปราะบางไหม?
ก4:แม้ว่าเซรามิกจะมีความเปราะตามธรรมชาติ แต่การออกแบบทางวิศวกรรมของเราช่วยกระจายน้ำหนักอย่างสม่ำเสมอและลดจุดรับแรงกดให้น้อยที่สุด เมื่อใช้งานอย่างถูกต้อง อายุการใช้งานมักจะยาวนานกว่าโลหะหรือพอลิเมอร์

เกี่ยวกับเรา

XKH เชี่ยวชาญด้านการพัฒนา การผลิต และการจำหน่ายกระจกออปติคอลชนิดพิเศษและวัสดุคริสตัลชนิดใหม่ด้วยเทคโนโลยีขั้นสูง ผลิตภัณฑ์ของเราครอบคลุมอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ออปติคอล อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์สำหรับผู้บริโภค และกองทัพ เราจำหน่ายชิ้นส่วนออปติคอลแซฟไฟร์ ฝาครอบเลนส์โทรศัพท์มือถือ เซรามิกส์ ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SIC) ควอตซ์ และเวเฟอร์คริสตัลเซมิคอนดักเตอร์ ด้วยความเชี่ยวชาญและอุปกรณ์ที่ทันสมัย เรามีความเชี่ยวชาญในกระบวนการผลิตผลิตภัณฑ์ที่ไม่ได้มาตรฐาน โดยมุ่งมั่นที่จะเป็นองค์กรเทคโนโลยีขั้นสูงชั้นนำด้านวัสดุออปติคอลอิเล็กทรอนิกส์