กล่องต่อสายไฟเบอร์ออปติก POD/FOSB ขนาด 6 นิ้ว / 8 นิ้ว กล่องจัดส่ง กล่องเก็บของ RSP แพลตฟอร์มบริการระยะไกล FOUP ช่องเปิดด้านหน้าแบบรวม Pod
แผนภาพรายละเอียด


ภาพรวมของ FOSB

การFOSB (กล่องขนส่งแบบเปิดด้านหน้า)เป็นภาชนะเปิดด้านหน้าที่ออกแบบอย่างแม่นยำ ออกแบบมาเพื่อการขนส่งและจัดเก็บเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ขนาด 300 มม. อย่างปลอดภัย มีบทบาทสำคัญในการปกป้องเวเฟอร์ระหว่างกระบวนการถ่ายโอนระหว่างโรงงานและการขนส่งระยะไกล พร้อมทั้งรักษาความสะอาดและความสมบูรณ์เชิงกลในระดับสูงสุด
FOSB ผลิตจากวัสดุสะอาดพิเศษที่ป้องกันไฟฟ้าสถิตย์ และออกแบบตามมาตรฐาน SEMI มอบการปกป้องที่ยอดเยี่ยมจากการปนเปื้อนของอนุภาค การปล่อยประจุไฟฟ้าสถิตย์ และแรงกระแทก FOSB ถูกใช้อย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โลจิสติกส์ และพันธมิตร OEM/OSAT ทั่วโลก โดยเฉพาะอย่างยิ่งในสายการผลิตอัตโนมัติของโรงงานผลิตแผ่นเวเฟอร์ขนาด 300 มม.
โครงสร้างและวัสดุของ FOSB
กล่อง FOSB ทั่วไปประกอบด้วยชิ้นส่วนแม่นยำหลายชิ้น ซึ่งได้รับการออกแบบมาให้ทำงานร่วมกับระบบอัตโนมัติในโรงงานได้อย่างราบรื่นและรับประกันความปลอดภัยของเวเฟอร์:
-
ตัวหลัก:ขึ้นรูปจากพลาสติกวิศวกรรมที่มีความบริสุทธิ์สูง เช่น PC (โพลีคาร์บอเนต) หรือ PEEK ให้มีความแข็งแรงเชิงกลสูง เกิดอนุภาคต่ำ และทนต่อสารเคมี
-
ประตูเปิดด้านหน้า:ได้รับการออกแบบให้เข้ากันได้กับระบบอัตโนมัติเต็มรูปแบบ มีปะเก็นปิดผนึกแน่นหนาที่ช่วยให้แน่ใจว่ามีการแลกเปลี่ยนอากาศน้อยที่สุดในระหว่างการขนส่ง
-
ถาดเรติเคิล/เวเฟอร์ภายใน:รองรับเวเฟอร์ได้สูงสุด 25 แผ่นอย่างแน่นหนา ถาดป้องกันไฟฟ้าสถิตย์และบุด้วยวัสดุกันกระแทกเพื่อป้องกันเวเฟอร์เลื่อน ขอบบิ่น หรือรอยขีดข่วน
-
กลไกการล็อค:ระบบล็อคเพื่อความปลอดภัยช่วยให้ประตูยังคงปิดอยู่ระหว่างการขนส่งและการจัดการ
-
คุณสมบัติการตรวจสอบย้อนกลับ:โมเดลต่างๆ มากมายมีแท็ก RFID บาร์โค้ด หรือรหัส QR ฝังไว้สำหรับการรวม MES และการติดตามตลอดทั้งห่วงโซ่อุปทานโลจิสติกส์
-
การควบคุม ESD:วัสดุมีคุณสมบัติป้องกันไฟฟ้าสถิต โดยทั่วไปจะมีค่าต้านทานพื้นผิวอยู่ระหว่าง 10⁶ ถึง 10⁹ โอห์ม ช่วยปกป้องเวเฟอร์จากการคายประจุไฟฟ้าสถิต
ส่วนประกอบเหล่านี้ผลิตขึ้นในสภาพแวดล้อมห้องคลีนรูมและตรงตามหรือเกินมาตรฐาน SEMI สากล เช่น E10, E47, E62 และ E83
ข้อได้เปรียบหลัก
● การป้องกันเวเฟอร์ระดับสูง
FOSB ถูกสร้างขึ้นเพื่อปกป้องเวเฟอร์จากความเสียหายทางกายภาพและสารปนเปื้อนในสิ่งแวดล้อม:
-
ระบบปิดสนิทแบบปิดสนิทช่วยป้องกันความชื้น ไอสารเคมี และอนุภาคในอากาศ
-
ระบบป้องกันการสั่นสะเทือนภายในช่วยลดความเสี่ยงจากแรงกระแทกทางกลหรือรอยแตกร้าวขนาดเล็ก
-
เปลือกนอกที่แข็งแรงทนทานต่อแรงกระแทกจากการตกและแรงกดทับระหว่างการขนส่ง
● ความเข้ากันได้ของระบบอัตโนมัติเต็มรูปแบบ
FOSB ได้รับการออกแบบมาเพื่อใช้ใน AMHS (ระบบการจัดการวัสดุอัตโนมัติ):
-
เข้ากันได้กับแขนหุ่นยนต์ที่รองรับ SEMI พอร์ตโหลด เครื่องสต็อก และเครื่องเปิด
-
กลไกการเปิดด้านหน้าสอดคล้องกับระบบ FOUP และพอร์ตโหลดมาตรฐานเพื่อการทำงานอัตโนมัติในโรงงานที่ราบรื่น
● การออกแบบพร้อมสำหรับห้องคลีนรูม
-
ผลิตจากวัสดุที่สะอาดเป็นพิเศษและมีการปล่อยก๊าซต่ำ
ทำความสะอาดและนำกลับมาใช้ใหม่ได้ง่าย เหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมห้องคลีนรูมระดับ 1 ขึ้นไป
ปราศจากไอออนของโลหะหนัก ช่วยให้มั่นใจได้ว่าไม่มีการปนเปื้อนระหว่างการถ่ายโอนเวเฟอร์
● การติดตามอัจฉริยะและการรวม MES
-
ระบบ RFID/NFC/บาร์โค้ดเสริมช่วยให้สามารถตรวจสอบย้อนกลับได้ตั้งแต่โรงงานหนึ่งไปยังอีกโรงงานหนึ่งอย่างครบถ้วน
แต่ละ FOSB สามารถระบุและติดตามได้เฉพาะเจาะจงภายในระบบ MES หรือ WMS
รองรับความโปร่งใสของกระบวนการ การระบุชุด และการควบคุมสินค้าคงคลัง
ตารางข้อมูลจำเพาะรวมของกล่อง FOSB
หมวดหมู่ | รายการ | ค่า |
---|---|---|
วัสดุ | เวเฟอร์คอนแทค | โพลีคาร์บอเนต |
วัสดุ | เปลือกหอย ประตู เบาะประตู | โพลีคาร์บอเนต |
วัสดุ | รีเทนเนอร์ด้านหลัง | โพลีบิวทิลีนเทเรฟทาเลต |
วัสดุ | ที่จับ, หน้าแปลนอัตโนมัติ, แผ่นข้อมูล | โพลีคาร์บอเนต |
วัสดุ | ปะเก็น | อีลาสโตเมอร์เทอร์โมพลาสติก |
วัสดุ | จาน KC | โพลีคาร์บอเนต |
ข้อมูลจำเพาะ | ความจุ | เวเฟอร์ 25 ชิ้น |
ข้อมูลจำเพาะ | ความลึก | 332.77 มม. ±0.1 มม. (13.10 นิ้ว ±0.005 นิ้ว) |
ข้อมูลจำเพาะ | ความกว้าง | 389.52 มม. ±0.1 มม. (15.33 นิ้ว ±0.005 นิ้ว) |
ข้อมูลจำเพาะ | ความสูง | 336.93 มม. ±0.1 มม. (13.26 นิ้ว ±0.005 นิ้ว) |
ข้อมูลจำเพาะ | ความยาวแพ็ค 2 ชิ้น | 680 มม. (26.77 นิ้ว) |
ข้อมูลจำเพาะ | ความกว้าง 2 แพ็ค | 415 มม. (16.34 นิ้ว) |
ข้อมูลจำเพาะ | ความสูง 2 แพ็ค | 365 มม. (14.37 นิ้ว) |
ข้อมูลจำเพาะ | น้ำหนัก (ว่างเปล่า) | 4.6 กก. (10.1 ปอนด์) |
ข้อมูลจำเพาะ | น้ำหนัก (เต็ม) | 7.8 กก. (17.2 ปอนด์) |
ความเข้ากันได้ของเวเฟอร์ | ขนาดเวเฟอร์ | 300 มม. |
ความเข้ากันได้ของเวเฟอร์ | ขว้าง | 10.0 มม. (0.39 นิ้ว) |
ความเข้ากันได้ของเวเฟอร์ | เครื่องบิน | ±0.5 มม. (0.02") จากค่าปกติ |
สถานการณ์การใช้งาน
FOSB เป็นเครื่องมือสำคัญในการขนส่งและจัดเก็บแผ่นเวเฟอร์ขนาด 300 มม. FOSB ถูกนำมาใช้อย่างแพร่หลายในสถานการณ์ต่อไปนี้:
-
การโอนย้ายจาก Fab ถึง Fab:สำหรับการเคลื่อนย้ายเวเฟอร์ระหว่างโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่แตกต่างกัน
-
การส่งมอบโรงหล่อ:การขนส่งเวเฟอร์สำเร็จรูปจากโรงงานไปยังลูกค้าหรือโรงงานบรรจุภัณฑ์
-
โลจิสติกส์ OEM/OSAT:ในกระบวนการบรรจุภัณฑ์และการทดสอบแบบเอาท์ซอร์ส
-
การจัดเก็บและคลังสินค้าของบุคคลที่สาม:การจัดเก็บเวเฟอร์อันมีค่าในระยะยาวหรือชั่วคราวอย่างปลอดภัย
-
การถ่ายโอนเวเฟอร์ภายใน:ในโรงงานขนาดใหญ่ที่มีการเชื่อมต่อโมดูลการผลิตระยะไกลผ่าน AMHS หรือการขนส่งด้วยมือ
ในการดำเนินงานห่วงโซ่อุปทานทั่วโลก FOSB ได้กลายเป็นมาตรฐานสำหรับการขนส่งเวเฟอร์ที่มีมูลค่าสูง ช่วยให้มั่นใจได้ว่าการส่งมอบจะปราศจากการปนเปื้อนข้ามทวีป
FOSB เทียบกับ FOUP – มีความแตกต่างกันอย่างไร?
คุณสมบัติ | FOSB (กล่องขนส่งแบบเปิดด้านหน้า) | FOUP (Front Opening Unified Pod) |
---|---|---|
การใช้งานหลัก | การขนส่งและโลจิสติกส์เวเฟอร์ Inter-fab | การถ่ายโอนเวเฟอร์ภายในโรงงานและการประมวลผลอัตโนมัติ |
โครงสร้าง | ภาชนะแข็งปิดสนิทพร้อมการปกป้องพิเศษ | ฝักแบบใช้ซ้ำได้ที่ได้รับการปรับให้เหมาะสมสำหรับระบบอัตโนมัติภายใน |
ความแน่นหนาของอากาศ | ประสิทธิภาพการปิดผนึกที่สูงขึ้น | ออกแบบมาให้เข้าถึงได้ง่าย ป้องกันการรั่วซึม |
ความถี่ในการใช้งาน | ขนาดกลาง (เน้นการขนส่งระยะไกลอย่างปลอดภัย) | ความถี่สูงในสายการผลิตอัตโนมัติ |
ความจุเวเฟอร์ | โดยทั่วไปมีเวเฟอร์ 25 ชิ้นต่อกล่อง | โดยทั่วไปมีเวเฟอร์ 25 ชิ้นต่อฝัก |
การสนับสนุนระบบอัตโนมัติ | ใช้งานร่วมกับเครื่องเปิด FOSB ได้ | บูรณาการกับพอร์ตโหลด FOUP |
การปฏิบัติตาม | เซมิ E47, E62 | SEMI E47, E62, E84 และอื่นๆ |
แม้ว่าทั้งสองจะมีบทบาทสำคัญในการขนส่งเวเฟอร์ แต่ FOSB ได้รับการสร้างขึ้นเพื่อการขนส่งที่แข็งแกร่งระหว่างโรงงานหรือไปยังลูกค้าภายนอก ในขณะที่ FOUP มุ่งเน้นไปที่ประสิทธิภาพของสายการผลิตอัตโนมัติมากกว่า
คำถามที่พบบ่อย (FAQ)
คำถามที่ 1: FOSB สามารถนำกลับมาใช้ซ้ำได้หรือไม่?
ใช่ FOSB คุณภาพสูงออกแบบมาเพื่อการใช้งานซ้ำๆ และสามารถรองรับการทำความสะอาดและการใช้งานได้หลายสิบรอบหากได้รับการบำรุงรักษาอย่างถูกต้อง ขอแนะนำให้ทำความสะอาดเป็นประจำด้วยเครื่องมือที่ได้รับการรับรอง
ไตรมาสที่ 2: FOSB สามารถปรับแต่งเพื่อสร้างแบรนด์หรือติดตามได้หรือไม่
แน่นอน FOSB สามารถปรับแต่งได้ด้วยโลโก้ลูกค้า แท็ก RFID เฉพาะ การปิดผนึกป้องกันความชื้น และแม้แต่รหัสสีที่แตกต่างกัน เพื่อการจัดการด้านโลจิสติกส์ที่ง่ายขึ้น
คำถามที่ 3: FOSB เหมาะกับสภาพแวดล้อมห้องคลีนรูมหรือไม่?
ใช่ FOSB ผลิตจากพลาสติกเกรดสะอาดและปิดผนึกเพื่อป้องกันการเกิดอนุภาค เหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมห้องสะอาดระดับ Class 1 ถึง Class 1000 และโซนเซมิคอนดักเตอร์สำคัญ
ไตรมาสที่ 4: FOSB เปิดระหว่างการทำงานอัตโนมัติได้อย่างไร?
FOSB เข้ากันได้กับตัวเปิด FOSB เฉพาะทางที่สามารถถอดประตูหน้าออกได้โดยไม่ต้องสัมผัสด้วยมือ ช่วยรักษาความสมบูรณ์ของสภาพห้องคลีนรูม
เกี่ยวกับเรา
XKH เชี่ยวชาญด้านการพัฒนา การผลิต และการจำหน่ายกระจกออปติคอลชนิดพิเศษและวัสดุคริสตัลชนิดใหม่ด้วยเทคโนโลยีขั้นสูง ผลิตภัณฑ์ของเราครอบคลุมอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ออปติคอล อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์สำหรับผู้บริโภค และกองทัพ เราจำหน่ายชิ้นส่วนออปติคอลแซฟไฟร์ ฝาครอบเลนส์โทรศัพท์มือถือ เซรามิกส์ ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SIC) ควอตซ์ และเวเฟอร์คริสตัลเซมิคอนดักเตอร์ ด้วยความเชี่ยวชาญและอุปกรณ์ที่ทันสมัย เรามีความเชี่ยวชาญในกระบวนการผลิตผลิตภัณฑ์ที่ไม่ได้มาตรฐาน โดยมุ่งมั่นที่จะเป็นองค์กรเทคโนโลยีขั้นสูงชั้นนำด้านวัสดุออปติคอลอิเล็กทรอนิกส์
