ปลายเอฟเฟกเตอร์เซรามิกอะลูมินาประสิทธิภาพสูง (แขนส้อม) สำหรับเซมิคอนดักเตอร์และระบบอัตโนมัติในห้องคลีนรูม

ภาพเด่นของตัวกระตุ้นปลายเซรามิกอะลูมินาประสิทธิภาพสูง (แขนส้อม) สำหรับเซมิคอนดักเตอร์และระบบอัตโนมัติในห้องคลีนรูม

คำอธิบายสั้น ๆ :

อะลูมินาเซรามิกเอนด์เอฟเฟกเตอร์ หรือที่รู้จักกันในชื่อแขนเซรามิกฟอร์ก หรือมือเซรามิกหุ่นยนต์ เป็นส่วนประกอบการจัดการความแม่นยำสูงที่ออกแบบมาสำหรับระบบอัตโนมัติในเซมิคอนดักเตอร์ โฟโตโวลตาอิก จอแสดงผลแบบแผง และสภาพแวดล้อมห้องปฏิบัติการที่มีความบริสุทธิ์สูง ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมเพื่อให้มีเสถียรภาพทางความร้อน ความแข็งแกร่งเชิงกล และความทนทานต่อสารเคมีที่ยอดเยี่ยม ช่วยให้การขนส่งวัสดุที่ไวต่อแสง เช่น เวเฟอร์ซิลิคอน แผ่นรองรับแก้ว และส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ขนาดเล็กเป็นไปอย่างสะอาด เชื่อถือได้ และปลอดภัย

ส่งอีเมล์ถึงเรา

คุณสมบัติ

แผนภาพรายละเอียด

การแนะนำผลิตภัณฑ์

ในฐานะอุปกรณ์ปลายแขนหุ่นยนต์ชนิดหนึ่ง ส่วนประกอบเซรามิกนี้เป็นส่วนเชื่อมต่อขั้นสุดท้ายระหว่างระบบอัตโนมัติและชิ้นงาน มีบทบาทสำคัญในการถ่ายโอน การจัดตำแหน่ง การโหลด/การขนถ่าย และการกำหนดตำแหน่งที่แม่นยำในห้องคลีนรูมและสภาพแวดล้อมสุญญากาศ

แขนเซรามิกสำหรับไดรฟ์เวเฟอร์ของเซมิคอนดักเตอร์-G13

แขนเซรามิกสำหรับไดรฟ์เวเฟอร์ของเซมิคอนดักเตอร์-G10

แขนเซรามิกสำหรับไดรฟ์เวเฟอร์ของเซมิคอนดักเตอร์-G07

ภาพรวมวัสดุ – เซรามิกอะลูมินา (Al₂O₃)

อะลูมินาเซรามิกเป็นวัสดุเซรามิกทางเทคนิคที่มีความเสถียรสูงและเฉื่อยทางเคมี ซึ่งขึ้นชื่อในด้านคุณสมบัติเชิงกลและทางไฟฟ้าที่ยอดเยี่ยม อะลูมินาที่มีความบริสุทธิ์สูง (≥ 99.5%) ที่ใช้ในอุปกรณ์ปลายสุดเหล่านี้รับประกัน:

ความแข็งสูง (โมห์ส 9):รองจากเพชร อะลูมินามีความทนทานต่อการสึกหรอสูงมาก
ความสามารถในการทนอุณหภูมิสูง:คงความสมบูรณ์ของโครงสร้างไว้ที่อุณหภูมิสูงกว่า 1,600°C
ความเฉื่อยทางเคมี:ทนทานต่อกรด ด่าง ตัวทำละลาย และสภาพแวดล้อมการกัดพลาสมา
ฉนวนไฟฟ้า:มีความแข็งแรงทางไฟฟ้าสูงและการสูญเสียทางไฟฟ้าต่ำ
การขยายตัวทางความร้อนต่ำ:ช่วยให้มั่นใจถึงเสถียรภาพของมิติในสภาพแวดล้อมที่มีการหมุนเวียนของความร้อน
การสร้างอนุภาคต่ำ:จำเป็นสำหรับความเข้ากันได้ของห้องคลีนรูม (คลาส 10 ถึงคลาส 1000)

คุณสมบัติเหล่านี้ทำให้เซรามิกอะลูมินาเหมาะอย่างยิ่งสำหรับการดำเนินงานที่สำคัญในอุตสาหกรรมที่อ่อนไหวต่อการปนเปื้อน

การประยุกต์ใช้ฟังก์ชัน

ปลายเอฟเฟกเตอร์อะลูมินาเซรามิกถูกนำมาใช้อย่างแพร่หลายในกระบวนการอุตสาหกรรมเทคโนโลยีขั้นสูง โดยเฉพาะอย่างยิ่งในกรณีที่วัสดุโลหะหรือพลาสติกแบบดั้งเดิมมีข้อบกพร่องเนื่องจากการขยายตัวเนื่องจากความร้อน การปนเปื้อน หรือปัญหาการกัดกร่อน ขอบเขตการใช้งานหลักๆ ได้แก่:

การถ่ายโอนเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์
ระบบการโหลดและการขนถ่ายด้วยแสงลิโทกราฟี
การจัดการพื้นผิวกระจกในสาย OLED และ LCD
การถ่ายโอนเวเฟอร์ซิลิกอนผลึกในการผลิตเซลล์แสงอาทิตย์
การตรวจสอบด้วยแสงหรือไมโครอิเล็กทรอนิกส์อัตโนมัติ
การขนส่งตัวอย่างในห้องปฏิบัติการวิเคราะห์หรือห้องปฏิบัติการชีวการแพทย์
ระบบอัตโนมัติสภาพแวดล้อมสุญญากาศ

ความสามารถในการทำงานโดยไม่ต้องมีอนุภาคหรือประจุไฟฟ้าสถิตทำให้มีความจำเป็นสำหรับการดำเนินงานหุ่นยนต์ที่แม่นยำในระบบอัตโนมัติในห้องคลีนรูม

คุณสมบัติการออกแบบและการปรับแต่ง

ปลายเครื่องเซรามิกแต่ละชิ้นได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมให้เหมาะสมกับแขนหุ่นยนต์หรือระบบการจัดการเวเฟอร์โดยเฉพาะ เรารองรับการปรับแต่งอย่างเต็มรูปแบบโดยอิงตาม:

ความเข้ากันได้ของขนาดเวเฟอร์: 2", 4", 6", 8", 12" และอื่นๆ
รูปทรงและระยะห่างของช่อง: รองรับการจับขอบ การรองรับด้านหลัง หรือการออกแบบเวเฟอร์แบบมีรอยบาก
พอร์ตดูด:รูหรือช่องสุญญากาศแบบบูรณาการสำหรับการจัดการแบบไม่สัมผัส
การกำหนดค่าการติดตั้ง:รู เกลียว ช่องที่ปรับแต่งให้เข้ากับหน้าแปลนเครื่องมือปลายของหุ่นยนต์ของคุณ
การบำบัดพื้นผิว: ขัดเงา ขัดแต่ง หรือเจียรละเอียด (Ra < 0.2 µm มีให้เลือก)
การป้องกันขอบ: มุมโค้งมนหรือการลบมุมเพื่อหลีกเลี่ยงความเสียหายของแผ่นเวเฟอร์

ด้วยการใช้รูปวาด CAD หรือโมเดล 3 มิติที่ลูกค้าให้มา วิศวกรของเราสามารถปรับแขนโช้คแต่ละอันให้เหมาะสมทั้งในเรื่องน้ำหนัก ความแข็งแรง และความสะอาด

en_177_d780dae2bf2639e7dd5142ca3d29c41d_image

ข้อดีของเซรามิกเอนด์เอฟเฟกเตอร์

คุณสมบัติ	ผลประโยชน์
ความแข็งแกร่งเชิงกลสูง	รักษาความแม่นยำของมิติภายใต้แรงโหลดของหุ่นยนต์
ประสิทธิภาพความร้อนที่ยอดเยี่ยม	ดำเนินการได้อย่างน่าเชื่อถือในสภาพแวดล้อมอุณหภูมิสูงหรือพลาสมา
การปนเปื้อนโลหะเป็นศูนย์	ไม่มีความเสี่ยงของการปนเปื้อนของไอออนในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ที่สำคัญ
พื้นผิวแรงเสียดทานต่ำ	ลดความเสี่ยงในการขีดข่วนบนแผ่นเวเฟอร์หรือพื้นผิวกระจก
ป้องกันไฟฟ้าสถิตย์และไม่ใช่แม่เหล็ก	ไม่ดึงดูดฝุ่นหรือส่งผลกระทบต่อส่วนประกอบที่ไวต่อแม่เหล็ก
อายุการใช้งานยาวนาน	ความทนทานต่อการสึกหรอที่เหนือกว่าในรอบการทำงานอัตโนมัติความเร็วสูงแบบซ้ำๆ
ความเข้ากันได้ของอัลตร้าคลีน	เหมาะสำหรับห้องคลีนรูมตามมาตรฐาน ISO 14644 (คลาส 100 และต่ำกว่า)

เมื่อเปรียบเทียบกับแขนพลาสติกหรืออลูมิเนียม เซรามิกอะลูมินามีเสถียรภาพทางเคมีและกายภาพที่ดีขึ้นอย่างมากโดยต้องการการบำรุงรักษาน้อยที่สุด

คุณสมบัติ	แขนโลหะ	แขนพลาสติก	แขนเซรามิกอะลูมินา
ความแข็ง	ปานกลาง	ต่ำ	สูงมาก (โมห์ส 9)
เสถียรภาพทางความร้อน	≤ 500 องศาเซลเซียส	≤ 150 องศาเซลเซียส	≥ 1600°C
ความต้านทานต่อสารเคมี	ปานกลาง	ยากจน	ยอดเยี่ยม
ความเหมาะสมของห้องคลีนรูม	ปานกลาง	ต่ำ	สูงมาก
ความต้านทานการสึกหรอ	ปานกลาง	ต่ำ	โดดเด่น
ความแข็งแรงของฉนวนไฟฟ้า	ต่ำ	ปานกลาง	สูง
ความแม่นยำในการกลึงตามสั่ง	จำกัด	ปานกลาง	สูง (±0.01 มม. เป็นไปได้)

ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิค

พารามิเตอร์	ค่า
วัสดุ	อะลูมินาที่มีความบริสุทธิ์สูง (≥ 99.5%)
อุณหภูมิในการทำงาน	สูงถึง 1600°C
ความหยาบของพื้นผิว	Ra ≤ 0.2 µm (ทางเลือก)
ขนาดเวเฟอร์ที่เข้ากันได้	2" ถึง 12" หรือแบบกำหนดเอง
ความคลาดเคลื่อนของความเรียบ	±0.01 มม. (ขึ้นอยู่กับการใช้งาน)
การรองรับการดูดสูญญากาศ	ช่องทางเลือกที่ปรับแต่งได้
ตัวเลือกการติดตั้ง	สลักเกลียว, หน้าแปลน, รูเจาะ

คำถามที่พบบ่อย (FAQ)

คำถามที่ 1: สามารถรวมเอฟเฟกเตอร์ปลายน้ำเข้ากับระบบหุ่นยนต์ที่มีอยู่ได้หรือไม่
ก1:ใช่ เรารองรับการปรับแต่งตามอินเทอร์เฟซหุ่นยนต์ของคุณ คุณสามารถส่งแบบร่าง CAD หรือขนาดหน้าแปลนมาให้เราเพื่อปรับแต่งให้ตรงตามความต้องการของคุณ

คำถามที่ 2: แขนเซรามิกจะแตกหักง่ายระหว่างการใช้งานหรือไม่?
A2:แม้ว่าเซรามิกจะเปราะโดยธรรมชาติ แต่การออกแบบของเราใช้รูปทรงเรขาคณิตที่ปรับให้เหมาะสมเพื่อลดการกระจุกตัวของแรงเค้น ภายใต้สภาวะการใช้งานที่เหมาะสม เซรามิกจะมีอายุการใช้งานยาวนานกว่าโลหะหรือพลาสติกอย่างมาก

คำถามที่ 3: สามารถใช้ในห้องกัดสูญญากาศหรือพลาสม่าระดับสูงได้หรือไม่
A3:ใช่ เซรามิกอะลูมินาไม่ปล่อยก๊าซ ทนความร้อน และทนต่อการกัดกร่อน เหมาะอย่างยิ่งสำหรับสภาพแวดล้อมที่มีสุญญากาศสูง ก๊าซไวไฟ หรือพลาสมา

ไตรมาสที่ 4: ส่วนประกอบเหล่านี้ได้รับการทำความสะอาดหรือบำรุงรักษาอย่างไร?
ก4:สามารถทำความสะอาดได้โดยใช้น้ำ DI แอลกอฮอล์ หรือน้ำยาทำความสะอาดสำหรับห้องคลีนรูม ไม่จำเป็นต้องบำรุงรักษาเป็นพิเศษเนื่องจากมีความคงตัวทางเคมีและพื้นผิวเฉื่อย

เกี่ยวกับเรา

XKH เชี่ยวชาญด้านการพัฒนา การผลิต และการจำหน่ายกระจกออปติคอลชนิดพิเศษและวัสดุคริสตัลชนิดใหม่ด้วยเทคโนโลยีขั้นสูง ผลิตภัณฑ์ของเราครอบคลุมอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ออปติคอล อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์สำหรับผู้บริโภค และกองทัพ เราจำหน่ายชิ้นส่วนออปติคอลแซฟไฟร์ ฝาครอบเลนส์โทรศัพท์มือถือ เซรามิกส์ ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SIC) ควอตซ์ และเวเฟอร์คริสตัลเซมิคอนดักเตอร์ ด้วยความเชี่ยวชาญและอุปกรณ์ที่ทันสมัย เรามีความเชี่ยวชาญในกระบวนการผลิตผลิตภัณฑ์ที่ไม่ได้มาตรฐาน โดยมุ่งมั่นที่จะเป็นองค์กรเทคโนโลยีขั้นสูงชั้นนำด้านวัสดุออปติคอลอิเล็กทรอนิกส์