แผ่นเวเฟอร์ HPSI SiC เส้นผ่านศูนย์กลาง 3 นิ้ว ความหนา 350um± 25 µm สำหรับอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์กำลัง
แอปพลิเคชัน
เวเฟอร์ HPSI SiC ถูกนำมาใช้ในแอพพลิเคชั่นอิเล็กทรอนิกส์กำลังหลายประเภท รวมถึง:
สารกึ่งตัวนำกำลัง:เวเฟอร์ SiC มักใช้ในการผลิตไดโอดกำลัง ทรานซิสเตอร์ (MOSFET, IGBT) และไทริสเตอร์ เซมิคอนดักเตอร์เหล่านี้ใช้กันอย่างแพร่หลายในแอพพลิเคชั่นแปลงพลังงานที่ต้องการประสิทธิภาพและความน่าเชื่อถือสูง เช่น ในไดรฟ์มอเตอร์อุตสาหกรรม แหล่งจ่ายไฟ และอินเวอร์เตอร์สำหรับระบบพลังงานหมุนเวียน
รถยนต์ไฟฟ้า (EV):ในระบบส่งกำลังของยานยนต์ไฟฟ้า อุปกรณ์จ่ายไฟที่ใช้ SiC จะให้ความเร็วในการสลับที่เร็วขึ้น ประสิทธิภาพการใช้พลังงานที่สูงขึ้น และการสูญเสียความร้อนที่ลดลง ส่วนประกอบ SiC เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการใช้งานในระบบจัดการแบตเตอรี่ (BMS) โครงสร้างพื้นฐานการชาร์จ และเครื่องชาร์จบนเครื่อง (OBC) ซึ่งการลดน้ำหนักและประสิทธิภาพการแปลงพลังงานให้สูงสุดถือเป็นสิ่งสำคัญ
ระบบพลังงานหมุนเวียน:เวเฟอร์ SiC ถูกนำมาใช้ในอินเวอร์เตอร์พลังงานแสงอาทิตย์ เครื่องกำเนิดไฟฟ้ากังหันลม และระบบกักเก็บพลังงานมากขึ้น ซึ่งประสิทธิภาพและความทนทานเป็นสิ่งสำคัญ ส่วนประกอบที่ใช้ SiC ช่วยให้มีความหนาแน่นของพลังงานที่สูงขึ้นและประสิทธิภาพการทำงานที่ดีขึ้นในแอปพลิเคชันเหล่านี้ ช่วยปรับปรุงประสิทธิภาพการแปลงพลังงานโดยรวม
อิเล็กทรอนิกส์กำลังอุตสาหกรรม:ในการใช้งานอุตสาหกรรมที่มีประสิทธิภาพสูง เช่น ไดรฟ์มอเตอร์ หุ่นยนต์ และแหล่งจ่ายไฟขนาดใหญ่ การใช้เวเฟอร์ SiC ช่วยให้ประสิทธิภาพดีขึ้นในแง่ของประสิทธิภาพ ความน่าเชื่อถือ และการจัดการความร้อน อุปกรณ์ SiC สามารถจัดการกับความถี่การสลับสูงและอุณหภูมิสูง ทำให้เหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมที่ต้องการความแม่นยำสูง
โทรคมนาคมและศูนย์ข้อมูล:SiC ใช้ในแหล่งจ่ายไฟสำหรับอุปกรณ์โทรคมนาคมและศูนย์ข้อมูลซึ่งความน่าเชื่อถือสูงและการแปลงพลังงานอย่างมีประสิทธิภาพเป็นสิ่งสำคัญ อุปกรณ์จ่ายไฟที่ใช้ SiC ช่วยให้มีประสิทธิภาพสูงขึ้นในขนาดที่เล็กลง ซึ่งแปลว่าใช้พลังงานน้อยลงและประสิทธิภาพการระบายความร้อนดีขึ้นในโครงสร้างพื้นฐานขนาดใหญ่
แรงดันพังทลายที่สูง ความต้านทานการเปิดต่ำ และการนำความร้อนที่ยอดเยี่ยมของเวเฟอร์ SiC ทำให้เวเฟอร์นี้เหมาะเป็นพื้นผิวสำหรับแอพพลิเคชั่นขั้นสูงเหล่านี้ ช่วยให้สามารถพัฒนาอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์กำลังที่มีประสิทธิภาพด้านพลังงานรุ่นถัดไปได้
คุณสมบัติ
คุณสมบัติ | ค่า |
เส้นผ่านศูนย์กลางเวเฟอร์ | 3 นิ้ว (76.2 มม.) |
ความหนาของเวเฟอร์ | 350 ไมโครเมตร ± 25 ไมโครเมตร |
การวางแนวเวเฟอร์ | <0001> บนแกน ± 0.5° |
ความหนาแน่นของไมโครไพพ์ (MPD) | ≤ 1 ซม.⁻² |
ความต้านทานไฟฟ้า | ≥ 1E7 Ω·ซม. |
สารเจือปน | ไม่ใส่สารโด๊ป |
การวางแนวแบนหลัก | {11-20} ± 5.0° |
ความยาวแบนหลัก | 32.5 มม. ± 3.0 มม. |
ความยาวแบนรอง | 18.0 มม. ± 2.0 มม. |
การวางแนวแบบแบนรอง | SI หงายขึ้น: 90° CW จากระนาบหลัก ± 5.0° |
การยกเว้นขอบ | 3 มม. |
LTV/TTV/คันธนู/วาร์ป | 3 µm / 10 µm / ±30 µm / 40 µm |
ความหยาบของพื้นผิว | หน้า C: ขัดเงา หน้า Si: CMP |
รอยแตกร้าว (ตรวจสอบด้วยแสงความเข้มสูง) | ไม่มี |
แผ่นหกเหลี่ยม (ตรวจสอบด้วยแสงความเข้มสูง) | ไม่มี |
พื้นที่โพลีไทป์ (ตรวจสอบด้วยแสงที่มีความเข้มสูง) | พื้นที่รวม 5% |
รอยขีดข่วน (ตรวจสอบด้วยแสงความเข้มสูง) | รอยขีดข่วน ≤ 5 ความยาวรวม ≤ 150 มม. |
การบิ่นขอบ | ไม่อนุญาตให้มีความกว้างและความลึก ≥ 0.5 มม. |
การปนเปื้อนบนพื้นผิว (ตรวจสอบด้วยแสงที่มีความเข้มสูง) | ไม่มี |
ประโยชน์หลัก
การนำความร้อนสูง:เวเฟอร์ SiC ขึ้นชื่อในด้านความสามารถในการระบายความร้อนที่ยอดเยี่ยม ซึ่งช่วยให้เครื่องใช้ไฟฟ้าทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพมากขึ้นและรองรับกระแสไฟที่สูงขึ้นโดยไม่เกิดความร้อนมากเกินไป คุณสมบัตินี้มีความสำคัญอย่างยิ่งในอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์กำลังไฟฟ้าที่การจัดการความร้อนถือเป็นความท้าทายที่สำคัญ
แรงดันไฟฟ้าพังทลายสูง:แบนด์แก๊ปที่กว้างของ SiC ช่วยให้อุปกรณ์สามารถทนต่อระดับแรงดันไฟฟ้าที่สูงขึ้นได้ จึงเหมาะอย่างยิ่งสำหรับการใช้งานแรงดันไฟฟ้าสูง เช่น โครงข่ายไฟฟ้า ยานยนต์ไฟฟ้า และเครื่องจักรในอุตสาหกรรม
ประสิทธิภาพสูง:การผสมผสานระหว่างความถี่การสลับสูงและความต้านทานการเปิดต่ำส่งผลให้สูญเสียพลังงานในอุปกรณ์น้อยลง ช่วยปรับปรุงประสิทธิภาพโดยรวมของการแปลงพลังงาน และลดความจำเป็นในการใช้ระบบระบายความร้อนที่ซับซ้อน
ความน่าเชื่อถือในสภาพแวดล้อมที่รุนแรง:SiC สามารถทำงานได้ในอุณหภูมิสูง (สูงถึง 600°C) ซึ่งเหมาะสำหรับใช้ในสภาพแวดล้อมที่อาจสร้างความเสียหายให้กับอุปกรณ์ที่ใช้ซิลิกอนแบบดั้งเดิมได้
การประหยัดพลังงาน:อุปกรณ์พลังงาน SiC ช่วยปรับปรุงประสิทธิภาพการแปลงพลังงาน ซึ่งมีความสำคัญในการลดการใช้พลังงาน โดยเฉพาะในระบบขนาดใหญ่ เช่น ตัวแปลงไฟฟ้าอุตสาหกรรม ยานยนต์ไฟฟ้า และโครงสร้างพื้นฐานด้านพลังงานหมุนเวียน
แผนภาพรายละเอียด



