เวเฟอร์อินเดียมแอนติโมไนด์ (InSb) ชนิด N ชนิด P Epi พร้อมใช้ ไม่เจือปนสาร Te หรือ Ge เจือปนสาร ความหนา 2 นิ้ว 3 นิ้ว 4 นิ้ว
คุณสมบัติ
ตัวเลือกการใช้สารกระตุ้น:
1.ไม่ใส่สารเจือปน:เวเฟอร์เหล่านี้ปราศจากสารเจือปนใดๆ จึงทำให้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการใช้งานเฉพาะทาง เช่น การเจริญเติบโตของเอพิแทกเซียล
2.เทโด๊ป (N-Type):การเจือปนเทลลูเรียม (Te) มักใช้เพื่อสร้างเวเฟอร์ชนิด N ซึ่งเหมาะอย่างยิ่งสำหรับการใช้งาน เช่น เครื่องตรวจจับอินฟราเรดและอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ความเร็วสูง
3.Ge โด๊ป (P-Type):การเจือปนเจอร์เมเนียม (Ge) ถูกนำมาใช้เพื่อสร้างเวเฟอร์ชนิด P ซึ่งให้การเคลื่อนตัวของรูสูงสำหรับการใช้งานเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง
ตัวเลือกขนาด:
1. มีให้เลือกขนาดเส้นผ่านศูนย์กลาง 2 นิ้ว 3 นิ้ว และ 4 นิ้ว เวเฟอร์เหล่านี้ตอบสนองความต้องการทางเทคโนโลยีที่หลากหลาย ตั้งแต่การวิจัยและพัฒนาไปจนถึงการผลิตขนาดใหญ่
2. ความคลาดเคลื่อนของเส้นผ่านศูนย์กลางที่แม่นยำช่วยให้แน่ใจถึงความสม่ำเสมอในแต่ละชุด โดยมีเส้นผ่านศูนย์กลาง 50.8±0.3 มม. (สำหรับเวเฟอร์ขนาด 2 นิ้ว) และ 76.2±0.3 มม. (สำหรับเวเฟอร์ขนาด 3 นิ้ว)
การควบคุมความหนา:
1.เวเฟอร์มีให้เลือกความหนา 500±5μm เพื่อประสิทธิภาพที่เหมาะสมที่สุดในแอพพลิเคชั่นต่างๆ
2. การวัดเพิ่มเติม เช่น TTV (Total Thickness Variation), BOW และ Warp ได้รับการควบคุมอย่างระมัดระวังเพื่อให้แน่ใจว่ามีความสม่ำเสมอและมีคุณภาพสูง
คุณภาพพื้นผิว:
1.เวเฟอร์มีพื้นผิวขัดเงา/แกะสลักเพื่อประสิทธิภาพทางแสงและทางไฟฟ้าที่ดีขึ้น
2. พื้นผิวเหล่านี้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการเจริญเติบโตแบบเอพิแทกเซียล โดยให้ฐานที่เรียบเนียนสำหรับการประมวลผลเพิ่มเติมในอุปกรณ์ที่มีประสิทธิภาพสูง
Epi-Ready:
1.เวเฟอร์ InSb เป็นแบบ epi-ready ซึ่งหมายความว่าเวเฟอร์ได้รับการบำบัดล่วงหน้าสำหรับกระบวนการสะสมแบบเอพิแทกเซียล ซึ่งทำให้เวเฟอร์นี้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการใช้งานในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่จำเป็นต้องปลูกชั้นเอพิแทกเซียลไว้ด้านบนของเวเฟอร์
แอปพลิเคชั่น
1.เครื่องตรวจจับอินฟราเรด:เวเฟอร์ InSb มักใช้ในการตรวจจับอินฟราเรด (IR) โดยเฉพาะในช่วงอินฟราเรดความยาวคลื่นกลาง (MWIR) เวเฟอร์เหล่านี้มีความจำเป็นสำหรับการมองเห็นตอนกลางคืน การถ่ายภาพความร้อน และการใช้งานสเปกโตรสโคปีอินฟราเรด
2.อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ความเร็วสูง:เนื่องจากเวเฟอร์ InSb มีความคล่องตัวของอิเล็กตรอนสูง จึงถูกนำมาใช้ในอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ความเร็วสูง เช่น ทรานซิสเตอร์ความถี่สูง อุปกรณ์ควอนตัมเวลล์ และทรานซิสเตอร์ที่มีความคล่องตัวของอิเล็กตรอนสูง (HEMT)
3.อุปกรณ์ควอนตัมเวลล์:แบนด์แก๊ปที่แคบและการเคลื่อนที่ของอิเล็กตรอนที่ยอดเยี่ยมทำให้เวเฟอร์ InSb เหมาะสำหรับการใช้งานในอุปกรณ์ควอนตัมเวลล์ อุปกรณ์เหล่านี้เป็นส่วนประกอบสำคัญในเลเซอร์ เครื่องตรวจจับ และระบบออปโตอิเล็กทรอนิกส์อื่นๆ
4.อุปกรณ์สปินโทรนิกส์:นอกจากนี้ InSb ยังถูกสำรวจในแอปพลิเคชันสปินทรอนิกส์ ซึ่งสปินอิเล็กตรอนจะถูกใช้เพื่อประมวลผลข้อมูล การจับคู่สปิน-วงโคจรที่ต่ำของวัสดุทำให้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับอุปกรณ์ประสิทธิภาพสูงเหล่านี้
5. การประยุกต์ใช้การแผ่รังสีเทระเฮิรตซ์ (THz):อุปกรณ์ที่ใช้ InSb ใช้ในการประยุกต์ใช้รังสี THz รวมถึงการวิจัยทางวิทยาศาสตร์ การถ่ายภาพ และการกำหนดลักษณะของวัสดุ อุปกรณ์เหล่านี้ช่วยให้สามารถใช้เทคโนโลยีขั้นสูง เช่น สเปกโตรสโคปี THz และระบบการถ่ายภาพ THz ได้
6.อุปกรณ์เทอร์โมอิเล็กทริก:คุณสมบัติเฉพาะตัวของ InSb ทำให้เป็นวัสดุที่น่าสนใจสำหรับการใช้งานเทอร์โมอิเล็กทริก โดยสามารถใช้ในการแปลงความร้อนเป็นพลังงานไฟฟ้าได้อย่างมีประสิทธิภาพ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในการใช้งานเฉพาะทาง เช่น เทคโนโลยีอวกาศหรือการผลิตพลังงานในสภาพแวดล้อมที่รุนแรง
พารามิเตอร์ผลิตภัณฑ์
| พารามิเตอร์ | 2 นิ้ว | 3 นิ้ว | 4 นิ้ว |
| เส้นผ่านศูนย์กลาง | 50.8±0.3มม. | 76.2±0.3มม. | - |
| ความหนา | 500±5ไมโครเมตร | 650±5ไมโครเมตร | - |
| พื้นผิว | ขัดเงา/แกะสลัก | ขัดเงา/แกะสลัก | ขัดเงา/แกะสลัก |
| ประเภทการใช้สารกระตุ้น | ไม่ใส่สารเจือปน, เท-โดป (N), จี-โดป (P) | ไม่ใส่สารเจือปน, เท-โดป (N), จี-โดป (P) | ไม่ใส่สารเจือปน, เท-โดป (N), จี-โดป (P) |
| ปฐมนิเทศ | (100) | (100) | (100) |
| บรรจุุภัณฑ์ | เดี่ยว | เดี่ยว | เดี่ยว |
| เอพิ-เรดดี้ | ใช่ | ใช่ | ใช่ |
พารามิเตอร์ไฟฟ้าสำหรับ Te Doped (N-Type):
- ความคล่องตัว: 2000-5000 ซม.²/ว.วินาที
- ความต้านทาน: (1-1000) Ω·ซม.
- EPD (ความหนาแน่นของข้อบกพร่อง): ≤2000 ข้อบกพร่อง/ซม.²
พารามิเตอร์ไฟฟ้าสำหรับ Ge Doped (P-Type):
- ความคล่องตัว: 4000-8000 ซม.²/ว.วินาที
- ความต้านทาน: (0.5-5) Ω·ซม.
- EPD (ความหนาแน่นของข้อบกพร่อง): ≤2000 ข้อบกพร่อง/ซม.²
บทสรุป
เวเฟอร์อินเดียมแอนติโมไนด์ (InSb) เป็นวัสดุที่จำเป็นสำหรับการใช้งานประสิทธิภาพสูงที่หลากหลายในสาขาอิเล็กทรอนิกส์ ออปโตอิเล็กทรอนิกส์ และเทคโนโลยีอินฟราเรด ด้วยความคล่องตัวของอิเล็กตรอนที่ยอดเยี่ยม สปิน-ออร์บิทคัปปลิ้งต่ำ และตัวเลือกการเจือปนสารหลากหลาย (Te สำหรับชนิด N, Ge สำหรับชนิด P) ทำให้เวเฟอร์ InSb เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการใช้งานในอุปกรณ์ต่างๆ เช่น เครื่องตรวจจับอินฟราเรด ทรานซิสเตอร์ความเร็วสูง อุปกรณ์ควอนตัมเวลล์ และอุปกรณ์สปินทรอนิกส์
เวเฟอร์มีให้เลือกหลายขนาด (2 นิ้ว 3 นิ้ว และ 4 นิ้ว) พร้อมการควบคุมความหนาที่แม่นยำและพื้นผิวที่พร้อมสำหรับ Epi รับรองว่าเวเฟอร์เหล่านี้ตรงตามความต้องการที่เข้มงวดของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์สมัยใหม่ เวเฟอร์เหล่านี้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการใช้งานในสาขาต่างๆ เช่น การตรวจจับ IR อิเล็กทรอนิกส์ความเร็วสูง และรังสี THz ช่วยให้สามารถใช้เทคโนโลยีขั้นสูงในการวิจัย อุตสาหกรรม และการป้องกันประเทศได้
แผนภาพรายละเอียด
