LiTaO3 เวเฟอร์ 2 นิ้ว-8 นิ้ว 10x10x0.5 มม. 1sp 2sp สำหรับการสื่อสาร 5G/6G
พารามิเตอร์ทางเทคนิค
ชื่อ | LiTaO3 เกรดออปติคอล | ตารางระดับเสียง LiTaO3 |
แกน | ตัด Z + / - 0.2 ° | ตัดแบบ 36°Y / ตัดแบบ 42°Y / ตัดแบบ X (+ / - 0.2°) |
เส้นผ่านศูนย์กลาง | 76.2มม. + / - 0.3มม./ 100±0.2มม. | 76.2มม. + /-0.3มม. 100มม. + /-0.3มม. 0r 150±0.5มม. |
ระนาบอ้างอิง | 22มม. + / - 2มม. | 22มม. + /-2มม. 32มม. + /-2มม. |
ความหนา | 500um + /-5มม. 1000um + /-5มม. | 500um + /-20มม. 350um + /-20มม. |
ทีทีวี | ≤ 10ไมโครเมตร | ≤ 10ไมโครเมตร |
อุณหภูมิคูรี | 605 °C + / - 0.7 °C (วิธี DTA) | 605 °C + / -3 °C (วิธี DTA |
คุณภาพพื้นผิว | การขัดเงาสองด้าน | การขัดเงาสองด้าน |
ขอบเอียง | การปัดขอบ | การปัดขอบ |
คุณสมบัติที่สำคัญ
1.ประสิทธิภาพทางไฟฟ้าและแสง
· ค่าสัมประสิทธิ์อิเล็กโทรออปติก: r33 มีค่าถึง 30 pm/V (X-cut) สูงกว่า LiNbO3 1.5 เท่า ช่วยให้สามารถมอดูเลตอิเล็กโทรออปติกแบนด์วิดท์กว้างพิเศษได้ (>แบนด์วิดท์ 40 GHz)
· การตอบสนองสเปกตรัมกว้าง: ช่วงการส่งสัญญาณ 0.4–5.0 μm (ความหนา 8 มม.) โดยมีขอบการดูดกลืนรังสีอัลตราไวโอเลตต่ำถึง 280 นาโนเมตร เหมาะสำหรับเลเซอร์ UV และอุปกรณ์จุดควอนตัม
· ค่าสัมประสิทธิ์ไพโรอิเล็กทริกต่ำ: dP/dT = 3.5×10⁻⁴ C/(m²·K) ช่วยให้มั่นใจถึงความเสถียรในเซนเซอร์อินฟราเรดอุณหภูมิสูง
2.คุณสมบัติทางความร้อนและทางกล
· การนำความร้อนสูง: 4.6 W/m·K (X-cut) มากกว่าควอตซ์สี่เท่า รักษาอุณหภูมิเป็นรอบ -200–500°C
· ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวเนื่องจากความร้อนต่ำ: CTE = 4.1×10⁻⁶/K (25–1000°C) เข้ากันได้กับบรรจุภัณฑ์ซิลิโคนเพื่อลดความเครียดจากความร้อนให้เหลือน้อยที่สุด
3.การควบคุมข้อบกพร่องและความแม่นยำในการประมวลผล
· ความหนาแน่นของไมโครท่อ: <0.1 ซม.⁻² (เวเฟอร์ขนาด 8 นิ้ว), ความหนาแน่นของการเคลื่อนตัว <500 ซม.⁻² (ตรวจสอบผ่านการกัดด้วย KOH)
· คุณภาพพื้นผิว: ขัดเงาด้วย CMP ที่ Ra <0.5 nm ตอบสนองข้อกำหนดด้านความเรียบระดับลิโธกราฟี EUV
แอปพลิเคชันที่สำคัญ
โดเมน | สถานการณ์การใช้งาน | ข้อได้เปรียบทางเทคนิค |
การสื่อสารด้วยแสง | เลเซอร์ DWDM 100G/400G โมดูลไฮบริดซิลิกอนโฟโตนิกส์ | การส่งผ่านสเปกตรัมกว้างและการสูญเสียคลื่นนำสัญญาณต่ำ (α <0.1 dB/cm) ของเวเฟอร์ LiTaO3 ช่วยให้สามารถขยายแบนด์ C ได้ |
การสื่อสารแบบ 5G/6G | ฟิลเตอร์ SAW (1.8–3.5 GHz), ฟิลเตอร์ BAW-SMR | เวเฟอร์ตัดแนว Y 42° ทำได้ถึง Kt² >15% ซึ่งส่งผลให้การสูญเสียการแทรกต่ำ (<1.5 dB) และการกลิ้งออกสูง (>30 dB) |
เทคโนโลยีควอนตัม | เครื่องตรวจจับโฟตอนเดี่ยว แหล่งแปลงค่าพารามิเตอร์ | ค่าสัมประสิทธิ์ไม่เชิงเส้นสูง (χ(2)=40 pm/V) และอัตราการนับมืดต่ำ (<100 การนับ/วินาที) ช่วยเพิ่มความแม่นยำของควอนตัม |
การตรวจจับทางอุตสาหกรรม | เซ็นเซอร์วัดแรงดันอุณหภูมิสูง หม้อแปลงกระแสไฟฟ้า | การตอบสนองของพีโซอิเล็กทริกของเวเฟอร์ LiTaO3 (g33 >20 mV/m) และการทนต่ออุณหภูมิสูง (>400°C) เหมาะกับสภาพแวดล้อมที่รุนแรง |
บริการ XKH
1.การผลิตเวเฟอร์แบบกำหนดเอง
ขนาดและการตัด: เวเฟอร์ขนาด 2–8 นิ้ว พร้อมการตัดตามแนว X/Y/Z, การตัดตามแนว Y 42° และการตัดเชิงมุมแบบกำหนดเอง (ความคลาดเคลื่อน ±0.01°)
· การควบคุมการเจือปน: การเจือปน Fe, Mg ผ่านวิธี Czochralski (ช่วงความเข้มข้น 10¹⁶–10¹⁹ cm⁻³) เพื่อเพิ่มค่าสัมประสิทธิ์อิเล็กโทรออปติกและเสถียรภาพทางความร้อนให้เหมาะสม
2.เทคโนโลยีกระบวนการขั้นสูง
· เสาแบบเป็นระยะ (PPLT): เทคโนโลยี Smart-Cut สำหรับเวเฟอร์ LTOI ที่ให้ความแม่นยำของช่วงโดเมน ±10 นาโนเมตร และการแปลงความถี่แบบจับคู่เฟสกึ่ง (QPM)
· การผสานรวมแบบไม่สม่ำเสมอ: เวเฟอร์คอมโพสิต LiTaO3 ที่ใช้ฐาน Si (POI) พร้อมการควบคุมความหนา (300–600 นาโนเมตร) และการนำความร้อนสูงถึง 8.78 W/m·K สำหรับฟิลเตอร์ SAW ความถี่สูง
3.ระบบการจัดการคุณภาพ
การทดสอบแบบครบวงจร: การสเปกโตรสโคปีรามาน (การตรวจสอบโพลีไทป์), XRD (ความเป็นผลึก), AFM (สัณฐานวิทยาพื้นผิว) และการทดสอบความสม่ำเสมอของแสง (Δn <5×10⁻⁵)
4.การสนับสนุนห่วงโซ่อุปทานทั่วโลก
· ความสามารถในการผลิต: ผลผลิตรายเดือนมากกว่า 5,000 แผ่นเวเฟอร์ (ขนาด 8 นิ้ว: 70%) พร้อมส่งมอบฉุกเฉินภายใน 48 ชั่วโมง
· เครือข่ายโลจิสติกส์: ครอบคลุมยุโรป อเมริกาเหนือ และเอเชียแปซิฟิก โดยการขนส่งทางอากาศ/ทางทะเล ด้วยบรรจุภัณฑ์ควบคุมอุณหภูมิ


