อุปกรณ์ระบบการเจริญเติบโตของแท่งซิลิคอนโมโนคริสตัลไลน์ในเตาเผาซิลิคอนโมโนคริสตัลไลน์ อุณหภูมิสูงถึง 2100℃

คำอธิบายสั้น ๆ :

เตาเผาซิลิคอนโมโนคริสตัลไลน์เป็นอุปกรณ์สำคัญสำหรับการผลิตแท่งซิลิคอนโมโนคริสตัลไลน์ความบริสุทธิ์สูง ซึ่งใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และอุตสาหกรรมพลังงานแสงอาทิตย์ ซิลิคอนโมโนคริสตัลไลน์เป็นวัตถุดิบหลักในการผลิตวงจรรวม เซลล์แสงอาทิตย์ และอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์อื่นๆ เตาเผาซิลิคอนโมโนคริสตัลไลน์แปลงวัตถุดิบโพลีซิลิคอนให้เป็นแท่งซิลิคอนโมโนคริสตัลไลน์คุณภาพสูงโดยใช้เทคนิคต่างๆ เช่น โชชราลสกี (CZ) โชชราลสกี หรือวิธีโซนลอยตัว (FZ)

หน้าที่หลัก: ให้ความร้อนวัตถุดิบโพลีซิลิคอนจนหลอมเหลว ควบคุมและนำทางการเติบโตของผลึกผ่านผลึกเมล็ดเพื่อสร้างแท่งซิลิคอนโมโนคริสตัลไลน์ที่มีทิศทางและขนาดผลึกที่เฉพาะเจาะจง

ส่วนประกอบหลัก:
ระบบทำความร้อน: ให้สภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง โดยปกติจะใช้เครื่องทำความร้อนแบบกราไฟต์หรือการเหนี่ยวนำความถี่สูง

เบ้าหลอม: ใช้สำหรับบรรจุซิลิคอนหลอมเหลว โดยทั่วไปทำจากควอตซ์หรือกราไฟต์

ระบบการยก: ควบคุมการหมุนและความเร็วในการยกของเมล็ดคริสตัลเพื่อให้แน่ใจว่าผลึกเติบโตสม่ำเสมอ

ระบบควบคุมบรรยากาศ: ของเหลวที่ละลายได้รับการปกป้องจากการปนเปื้อนของก๊าซเฉื่อย เช่น อาร์กอน

ระบบทำความเย็น: ควบคุมอัตราการทำความเย็นของคริสตัลเพื่อลดความเครียดจากความร้อน


คุณสมบัติ

ลักษณะสำคัญของเตาเผาซิลิคอนโมโนคริสตัลไลน์

(1) การควบคุมความแม่นยำสูง
การควบคุมอุณหภูมิ: ควบคุมอุณหภูมิความร้อนอย่างแม่นยำ (จุดหลอมเหลวของซิลิกอนอยู่ที่ประมาณ 1,414°C) เพื่อให้มั่นใจถึงเสถียรภาพของการหลอมเหลว
การควบคุมความเร็วในการยก: ความเร็วในการยกเมล็ดคริสตัลจะถูกควบคุมโดยมอเตอร์ที่มีความแม่นยำ (ปกติ 0.5-2 มม./นาที) ซึ่งส่งผลต่อเส้นผ่านศูนย์กลางและคุณภาพของคริสตัล
การควบคุมความเร็วในการหมุน: ปรับความเร็วในการหมุนของเมล็ดพันธุ์และเบ้าหลอมเพื่อให้แน่ใจว่าผลึกเติบโตสม่ำเสมอ

(2) การเจริญเติบโตของผลึกคุณภาพสูง
ความหนาแน่นของข้อบกพร่องต่ำ: โดยการปรับพารามิเตอร์ของกระบวนการให้เหมาะสม ก็สามารถปลูกแท่งซิลิคอนโมโนคริสตัลลีนที่มีข้อบกพร่องต่ำและความบริสุทธิ์สูงได้
ผลึกขนาดใหญ่: สามารถปลูกแท่งซิลิคอนโมโนคริสตัลไลน์ที่มีเส้นผ่านศูนย์กลางสูงสุด 12 นิ้ว (300 มม.) เพื่อตอบสนองความต้องการของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ได้

(3) การผลิตที่มีประสิทธิภาพ
การทำงานอัตโนมัติ: เตาเผาซิลิคอนโมโนคริสตัลไลน์แบบทันสมัยติดตั้งระบบควบคุมอัตโนมัติเพื่อลดการแทรกแซงด้วยมือและปรับปรุงประสิทธิภาพการผลิต
การออกแบบเพื่อประหยัดพลังงาน: ใช้ระบบทำความร้อนและทำความเย็นที่มีประสิทธิภาพเพื่อลดการใช้พลังงาน

(4) ความอเนกประสงค์
เหมาะสำหรับกระบวนการต่างๆ: รองรับวิธี CZ วิธี FZ และเทคโนโลยีการเจริญเติบโตของผลึกอื่นๆ
ใช้งานได้กับวัสดุหลากหลายชนิด: นอกจากซิลิกอนโมโนคริสตัลไลน์แล้ว ยังสามารถนำไปใช้ปลูกวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ชนิดอื่นๆ ได้อีกด้วย (เช่น เจอร์เมเนียม แกลเลียมอาร์เซไนด์)

การใช้งานหลักของเตาเผาซิลิคอนโมโนคริสตัลไลน์

(1) อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
การผลิตวงจรรวม: ซิลิกอนโมโนคริสตัลไลน์เป็นวัสดุหลักในการผลิต CPU หน่วยความจำ และวงจรรวมอื่นๆ
อุปกรณ์ไฟฟ้ากำลัง: ใช้ในการผลิต MOSFET, IGBT และอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์กำลังอื่นๆ

(2) อุตสาหกรรมพลังงานแสงอาทิตย์
เซลล์แสงอาทิตย์: ซิลิคอนโมโนคริสตัลไลน์เป็นวัสดุหลักของเซลล์แสงอาทิตย์ประสิทธิภาพสูง และใช้กันอย่างแพร่หลายในการผลิตพลังงานไฟฟ้าจากโฟโตโวลตาอิก
โมดูลโฟโตโวลตาอิค: ใช้ในการผลิตโมดูลโฟโตโวลตาอิคซิลิคอนโมโนคริสตัลไลน์เพื่อปรับปรุงประสิทธิภาพการแปลงไฟฟ้าเป็นโฟโตอิเล็กทริก

(3) การวิจัยทางวิทยาศาสตร์
การวิจัยวัสดุ: ใช้เพื่อศึกษาคุณสมบัติทางกายภาพและทางเคมีของซิลิกอนโมโนคริสตัลไลน์และพัฒนาวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ใหม่
การเพิ่มประสิทธิภาพกระบวนการ: สนับสนุนนวัตกรรมและการเพิ่มประสิทธิภาพกระบวนการการเติบโตของผลึก

(4) อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์อื่นๆ
เซ็นเซอร์: ใช้ในการผลิตเซ็นเซอร์ที่มีความแม่นยำสูง เช่น เซ็นเซอร์วัดแรงดันและเซ็นเซอร์วัดอุณหภูมิ
อุปกรณ์ออปโตอิเล็กทรอนิกส์: ใช้ในการผลิตเลเซอร์และเครื่องตรวจจับแสง

XKH จัดหาอุปกรณ์และบริการเตาเผาซิลิคอนโมโนคริสตัลไลน์

XKH มุ่งเน้นการพัฒนาและการผลิตอุปกรณ์เตาเผาการเจริญเติบโตของซิลิคอนโมโนคริสตัลไลน์ โดยให้บริการดังต่อไปนี้:

อุปกรณ์ที่กำหนดเอง: XKH จัดหาเตาเผาการเจริญเติบโตของซิลิคอนโมโนคริสตัลไลน์ที่มีคุณลักษณะและการกำหนดค่าที่แตกต่างกันตามความต้องการของลูกค้าเพื่อรองรับกระบวนการเจริญเติบโตของผลึกที่หลากหลาย

การสนับสนุนด้านเทคนิค: XKH ให้การสนับสนุนกระบวนการครบวงจรแก่ลูกค้าตั้งแต่การติดตั้งอุปกรณ์และการเพิ่มประสิทธิภาพกระบวนการไปจนถึงคำแนะนำทางเทคนิคด้านการเติบโตของคริสตัล

บริการการฝึกอบรม: XKH จัดให้มีการฝึกอบรมเชิงปฏิบัติการและการฝึกอบรมด้านเทคนิคแก่ลูกค้าเพื่อให้มั่นใจถึงการทำงานของอุปกรณ์อย่างมีประสิทธิภาพ

บริการหลังการขาย: XKH ให้บริการหลังการขายและการบำรุงรักษาอุปกรณ์ที่รวดเร็วเพื่อให้มั่นใจถึงความต่อเนื่องของการผลิตของลูกค้า

บริการอัพเกรด: XKH มอบบริการอัพเกรดและแปลงอุปกรณ์ตามความต้องการของลูกค้าเพื่อปรับปรุงประสิทธิภาพการผลิตและคุณภาพคริสตัล

เตาเผาซิลิคอนโมโนคริสตัลไลน์เป็นอุปกรณ์หลักของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และเซลล์แสงอาทิตย์ โดดเด่นด้วยการควบคุมที่แม่นยำสูง ผลึกซิลิคอนคุณภาพสูง และการผลิตที่มีประสิทธิภาพ เตาเผานี้ถูกใช้อย่างแพร่หลายในสาขาวงจรรวม เซลล์แสงอาทิตย์ งานวิจัยทางวิทยาศาสตร์ และอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ XKH นำเสนออุปกรณ์เตาเผาซิลิคอนโมโนคริสตัลไลน์ขั้นสูงและบริการครบวงจร เพื่อสนับสนุนลูกค้าให้บรรลุการผลิตแท่งซิลิคอนโมโนคริสตัลไลน์คุณภาพสูง เพื่อช่วยพัฒนาอุตสาหกรรมที่เกี่ยวข้อง

แผนภาพรายละเอียด

เตาเผาซิลิคอนแบบเจริญเติบโต 4
เตาเผาซิลิคอนแบบเจริญเติบโต 5
เตาเผาซิลิคอนแบบเจริญเติบโต 6

  • ก่อนหน้า:
  • ต่อไป:

  • เขียนข้อความของคุณที่นี่และส่งถึงเรา