SiC ชนิด N บนพื้นผิวคอมโพสิต Si ขนาดเส้นผ่านศูนย์กลาง 6 นิ้ว
| 等级ระดับ | คุณ 级 | พี | D级 |
| ระดับ BPD ต่ำ | เกรดการผลิต | เกรดดัมมี่ | |
| 直径เส้นผ่านศูนย์กลาง | 150.0 มม.±0.25 มม. | ||
| 厚度ความหนา | 500ไมโครเมตร±25ไมโครเมตร | ||
| 晶ฝ方向การวางแนวเวเฟอร์ | นอกแกน : 4.0° ไปทาง < 11-20 > ±0.5° สำหรับ 4H-N บนแกน : <0001>±0.5° สำหรับ 4H-SI | ||
| 主定位边方向แฟลตประถม | {10-10}±5.0° | ||
| 主定位边长度ความยาวแบนหลัก | 47.5 มม.±2.5 มม. | ||
| 边缘การยกเว้นขอบ | 3 มม. | ||
| 总厚度变化/弯曲度/翘曲度 TTV/โบว์ /วาร์ป | ≤15ไมโครเมตร /≤40ไมโครเมตร /≤60ไมโครเมตร | ||
| 微管密度和基เลดี้位错ภาวะกล้ามเนื้อหัวใจตายเฉียบพลันและโรคกล้ามเนื้อหัวใจตายเฉียบพลัน | MPD≤1ซม-2 | MPD≤5ซม-2 | MPD≤15 ซม.-2 |
| BPD≤1000ซม.-2 | |||
| 电阻率ความต้านทาน | ≥1E5 Ω·ซม. | ||
| 表的粗糙度ความหยาบ | โปแลนด์ Ra≤1 nm | ||
| CMP Ra≤0.5 นาโนเมตร | |||
| 裂纹(强光灯观测) # | ไม่มี | ความยาวรวม ≤10มม. ความยาวเดี่ยว ≤2มม. | |
| รอยแตกร้าวจากแสงที่มีความเข้มสูง | |||
| 六方空洞 (强光灯观测)* | พื้นที่รวม ≤1% | พื้นที่รวม ≤5% | |
| แผ่นหกเหลี่ยมด้วยแสงความเข้มสูง | |||
| 多型(强光灯观测)* | ไม่มี | พื้นที่รวม≤5% | |
| พื้นที่โพลีไทป์โดยแสงที่มีความเข้มสูง | |||
| 划痕(强光灯观测)*& | รอยขีดข่วน 3 ครั้งต่อเส้นผ่านศูนย์กลางเวเฟอร์ 1×1 | รอยขีดข่วน 5 ครั้งต่อเส้นผ่านศูนย์กลางเวเฟอร์ 1× | |
| รอยขีดข่วนจากแสงที่มีความเข้มสูง | ความยาวสะสม | ความยาวสะสม | |
| 崩边# ชิปขอบ | ไม่มี | อนุญาตให้ 5 อัน ≤1 มม. ต่ออัน | |
| 表เลดี้污染物（强光灯观测） | ไม่มี | ||
| การปนเปื้อนจากแสงที่มีความเข้มสูง | |||
แผนภาพรายละเอียด
