พื้นผิวแซฟไฟร์ที่มีลวดลาย PSS 2 นิ้ว 4 นิ้ว 6 นิ้ว ICP การแกะสลักแบบแห้งสามารถใช้สำหรับชิป LED
ลักษณะหลัก
1. ลักษณะของวัสดุ: วัสดุพื้นผิวคือไพลินคริสตัลเดี่ยว (Al₂o₃) ที่มีความแข็งสูงความต้านทานความร้อนสูงและความเสถียรทางเคมี
2. โครงสร้างพื้นผิว: พื้นผิวเกิดขึ้นจากการถ่ายภาพด้วยแสงและการแกะสลักเป็นโครงสร้างไมโคร-นาโนเป็นระยะเช่นกรวยปิรามิดหรืออาร์เรย์หกเหลี่ยม
3. ประสิทธิภาพการใช้แสง: ผ่านการออกแบบลวดลายพื้นผิวการสะท้อนแสงทั้งหมดของแสงที่อินเตอร์เฟสจะลดลงและประสิทธิภาพการสกัดแสงจะดีขึ้น
4. ประสิทธิภาพการระบายความร้อน: พื้นผิวแซฟไฟร์มีค่าการนำความร้อนที่ยอดเยี่ยมเหมาะสำหรับการใช้งาน LED พลังงานสูง
5. ข้อมูลจำเพาะขนาด: ขนาดสามัญคือ 2 นิ้ว (50.8 มม.), 4 นิ้ว (100 มม.) และ 6 นิ้ว (150 มม.)
พื้นที่แอปพลิเคชันหลัก
1. การผลิต LED:
ประสิทธิภาพการสกัดแสงที่ดีขึ้น: PSS ช่วยลดการสูญเสียแสงผ่านการออกแบบลวดลายการปรับปรุงความสว่างของ LED และประสิทธิภาพการส่องสว่างอย่างมีนัยสำคัญ
ปรับปรุงคุณภาพการเติบโตของ epitaxial: โครงสร้างที่มีลวดลายให้ฐานการเจริญเติบโตที่ดีขึ้นสำหรับชั้น epitaxial Gan และปรับปรุงประสิทธิภาพ LED
2. เลเซอร์ไดโอด (LD):
เลเซอร์พลังงานสูง: การนำความร้อนสูงและความเสถียรของ PSS เหมาะสำหรับไดโอดเลเซอร์พลังงานสูงปรับปรุงประสิทธิภาพการกระจายความร้อนและความน่าเชื่อถือ
กระแสไฟฟ้าต่ำ: เพิ่มประสิทธิภาพการเจริญเติบโตของ epitaxial ลดกระแสธรณีประตูของไดโอดเลเซอร์และปรับปรุงประสิทธิภาพ
3. PhotoDetector:
ความไวสูง: การส่งผ่านแสงสูงและความหนาแน่นของข้อบกพร่องต่ำของ PSS ช่วยเพิ่มความไวและความเร็วในการตอบสนองของเครื่องตรวจจับแสง
การตอบสนองทางสเปกตรัมกว้าง: เหมาะสำหรับการตรวจจับโฟโตอิเล็กทริกในรังสีอัลตราไวโอเลตจนถึงช่วงที่มองเห็นได้
4. พลังงานอิเล็กทรอนิกส์:
ความต้านทานแรงดันไฟฟ้าสูง: ฉนวนกันความร้อนสูงและความเสถียรของความร้อนของไพลินเหมาะสำหรับอุปกรณ์พลังงานแรงดันสูง
การกระจายความร้อนที่มีประสิทธิภาพ: การนำความร้อนสูงช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการกระจายความร้อนของอุปกรณ์พลังงานและยืดอายุการใช้งาน
5. อุปกรณ์ RF:
ประสิทธิภาพความถี่สูง: การสูญเสียอิเล็กทริกต่ำและความเสถียรทางความร้อนสูงของ PSS เหมาะสำหรับอุปกรณ์ RF ความถี่สูง
เสียงรบกวนต่ำ: ความแบนสูงและความหนาแน่นของข้อบกพร่องต่ำช่วยลดเสียงรบกวนของอุปกรณ์และปรับปรุงคุณภาพของสัญญาณ
6. Biosensors:
การตรวจจับความไวสูง: การส่งผ่านแสงสูงและความเสถียรทางเคมีของ PSS เหมาะสำหรับไบโอเซนเซอร์ที่มีความไวสูง
ความเข้ากันได้ทางชีวภาพ: ความเข้ากันได้ทางชีวภาพของไพลินทำให้เหมาะสำหรับการใช้งานทางการแพทย์และการติดตั้งทางชีวภาพ
พื้นผิวแซฟไฟร์ลวดลาย (PSS) ด้วยวัสดุ epitaxial GAN:
Sapphire Substrate (PSS) ที่มีลวดลายเป็นสารตั้งต้นที่เหมาะสำหรับการเจริญเติบโตของ epitaxial GAN (Gallium Nitride) ค่าคงที่ขัดแตะของไพลินอยู่ใกล้กับ GAN ซึ่งสามารถลดความไม่ตรงกันของตาข่ายและข้อบกพร่องในการเติบโตของ epitaxial โครงสร้าง micro-nano ของพื้นผิว PSS ไม่เพียง แต่ช่วยปรับปรุงประสิทธิภาพการสกัดแสง แต่ยังช่วยปรับปรุงคุณภาพคริสตัลของชั้น epitaxial Gan ซึ่งจะช่วยปรับปรุงประสิทธิภาพและความน่าเชื่อถือของ LED
พารามิเตอร์ทางเทคนิค
รายการ | พื้นผิวแซฟไฟร์ที่มีลวดลาย (2 ~ 6inch) | ||
เส้นผ่าศูนย์กลาง | 50.8 ± 0.1 มม. | 100.0 ± 0.2 มม. | 150.0 ± 0.3 มม. |
ความหนา | 430 ±25μm | 650 ±25μm | 1,000 ±25μm |
การวางแนวพื้นผิว | C-plane (0001) มุมมองไปทางแกน M (10-10) 0.2 ± 0.1 ° | ||
C-plane (0001) Off-Aleg ไปทางแกน A (11-20) 0 ± 0.1 ° | |||
การวางแนวราบหลัก | A-plane (11-20) ± 1.0 ° | ||
ความยาวแบนหลัก | 16.0 ± 1.0 มม. | 30.0 ± 1.0 มม. | 47.5 ± 2.0 มม. |
เครื่องบิน R-plane | 9-O'Clock | ||
ผิวด้านหน้าเสร็จสิ้น | มีลวดลาย | ||
พื้นผิวด้านหลังเสร็จสิ้น | SSP: Fine-Ground, RA = 0.8-1.2um; DSP: Epi-polished, ra <0.3nm | ||
เครื่องหมายเลเซอร์ | ด้านหลัง | ||
TTV | ≤8μm | ≤10μm | ≤20μm |
โค้งคำนับ | ≤10μm | ≤15μm | ≤25μm |
งอ | ≤12μm | ≤20μm | ≤30μm |
การยกเว้นขอบ | ≤2มม. | ||
ข้อกำหนดรูปแบบ | โครงสร้างรูปร่าง | โดม, กรวย, พีระมิด | |
ความสูงของลวดลาย | 1.6 ~ 1.8μm | ||
เส้นผ่านศูนย์กลางของลวดลาย | 2.75 ~ 2.85μm | ||
พื้นที่ลวดลาย | 0.1 ~ 0.3μm |
XKH มีความเชี่ยวชาญในการให้บริการพื้นผิวแซฟไฟร์ที่มีคุณภาพสูงที่กำหนดเอง (PSS) ด้วยการสนับสนุนทางเทคนิคและบริการหลังการขายเพื่อช่วยให้ลูกค้าบรรลุนวัตกรรมที่มีประสิทธิภาพในด้านของ LED จอแสดงผลและออพโตอิเล็กทรอนิกส์
1. การจัดหา PSS คุณภาพสูง: พื้นผิวแซฟไฟร์ที่มีลวดลายในหลากหลายขนาด (2 ", 4", 6 ") เพื่อตอบสนองความต้องการของอุปกรณ์ LED จอแสดงผลและอุปกรณ์ออพโตอิเล็กทรอนิกส์
2. การออกแบบที่กำหนดเอง: ปรับแต่งโครงสร้าง micro-nano พื้นผิว (เช่นกรวย, ปิรามิดหรืออาร์เรย์หกเหลี่ยม) ตามความต้องการของลูกค้าเพื่อเพิ่มประสิทธิภาพการสกัดแสง
3. การสนับสนุนทางเทคนิค: ให้การออกแบบแอปพลิเคชัน PSS, การเพิ่มประสิทธิภาพกระบวนการและการให้คำปรึกษาด้านเทคนิคเพื่อช่วยให้ลูกค้าปรับปรุงประสิทธิภาพของผลิตภัณฑ์
4. การสนับสนุนการเติบโตของ epitaxial: PSS จับคู่กับวัสดุ epitaxial GAN เพื่อให้แน่ใจว่าการเติบโตของชั้น epitaxial คุณภาพสูง
5. การทดสอบและการรับรอง: จัดทำรายงานการตรวจสอบคุณภาพ PSS เพื่อให้แน่ใจว่าผลิตภัณฑ์เป็นไปตามมาตรฐานอุตสาหกรรม
ไดอะแกรมโดยละเอียด


