แผ่นรองพื้นแซฟไฟร์ลาย (Patterned Sapphire Substrate PSS) ขนาด 2 นิ้ว 4 นิ้ว 6 นิ้ว สามารถใช้สำหรับการกัดกรดแบบแห้ง ICP สำหรับชิป LED ได้
ลักษณะหลัก
1. คุณสมบัติของวัสดุ: วัสดุพื้นฐานคือแซฟไฟร์ผลึกเดี่ยว (Al₂O₃) ซึ่งมีความแข็งสูง ทนความร้อนสูง และมีเสถียรภาพทางเคมีสูง
2. โครงสร้างพื้นผิว: พื้นผิวถูกสร้างขึ้นโดยกระบวนการโฟโตลิโทกราฟีและการกัดเซาะให้เป็นโครงสร้างขนาดไมโครและนาโนแบบเป็นคาบ เช่น รูปทรงกรวย พีระมิด หรือแถวหกเหลี่ยม
3. ประสิทธิภาพทางแสง: ด้วยการออกแบบลวดลายบนพื้นผิว ช่วยลดการสะท้อนแสงทั้งหมดที่บริเวณรอยต่อ และเพิ่มประสิทธิภาพการสกัดแสงให้ดียิ่งขึ้น
4. ประสิทธิภาพด้านความร้อน: แผ่นรองพื้นแซฟไฟร์มีค่าการนำความร้อนที่ดีเยี่ยม เหมาะสำหรับงาน LED กำลังสูง
5. ข้อกำหนดด้านขนาด: ขนาดทั่วไป ได้แก่ 2 นิ้ว (50.8 มม.), 4 นิ้ว (100 มม.) และ 6 นิ้ว (150 มม.)
พื้นที่การใช้งานหลัก
1. การผลิต LED:
ประสิทธิภาพการสกัดแสงที่ดีขึ้น: PSS ช่วยลดการสูญเสียแสงผ่านการออกแบบลวดลาย ทำให้ความสว่างและประสิทธิภาพการส่องสว่างของ LED ดีขึ้นอย่างมาก
คุณภาพการเจริญเติบโตของผลึกแบบเอพิแท็กเซียที่ดีขึ้น: โครงสร้างที่มีลวดลายช่วยให้ได้ฐานการเจริญเติบโตที่ดีขึ้นสำหรับชั้นผลึก GaN และช่วยเพิ่มประสิทธิภาพของ LED
2. เลเซอร์ไดโอด (LD) :
เลเซอร์กำลังสูง: คุณสมบัติการนำความร้อนสูงและความเสถียรของ PSS เหมาะสำหรับไดโอดเลเซอร์กำลังสูง ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการระบายความร้อนและความน่าเชื่อถือ
กระแสเกณฑ์ต่ำ: ปรับการเจริญเติบโตของเอพิแท็กเซียให้เหมาะสม ลดกระแสเกณฑ์ของไดโอดเลเซอร์ และเพิ่มประสิทธิภาพ
3. อุปกรณ์ตรวจจับแสง:
ความไวสูง: การส่งผ่านแสงสูงและความหนาแน่นของข้อบกพร่องต่ำของ PSS ช่วยเพิ่มความไวและความเร็วในการตอบสนองของโฟโตดีเทคเตอร์
ช่วงการตอบสนองสเปกตรัมกว้าง: เหมาะสำหรับการตรวจจับด้วยแสงในช่วงอัลตราไวโอเลตถึงช่วงแสงที่มองเห็นได้
4. อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์กำลัง:
ทนต่อแรงดันสูง: คุณสมบัติการเป็นฉนวนและความเสถียรทางความร้อนสูงของแซฟไฟร์ทำให้เหมาะสำหรับอุปกรณ์ไฟฟ้าแรงดันสูง
การระบายความร้อนอย่างมีประสิทธิภาพ: ค่าการนำความร้อนสูงช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการระบายความร้อนของอุปกรณ์ไฟฟ้าและยืดอายุการใช้งาน
5. อุปกรณ์ RF:
ประสิทธิภาพความถี่สูง: การสูญเสียไดอิเล็กตริกต่ำและความเสถียรทางความร้อนสูงของ PSS เหมาะสำหรับอุปกรณ์ RF ความถี่สูง
สัญญาณรบกวนต่ำ: ความเรียบสูงและความหนาแน่นของข้อบกพร่องต่ำช่วยลดสัญญาณรบกวนของอุปกรณ์และปรับปรุงคุณภาพสัญญาณ
6. ไบโอเซนเซอร์:
การตรวจจับที่มีความไวสูง: คุณสมบัติการส่งผ่านแสงสูงและความเสถียรทางเคมีของ PSS เหมาะสำหรับไบโอเซนเซอร์ที่มีความไวสูง
ความเข้ากันได้ทางชีวภาพ: คุณสมบัติความเข้ากันได้ทางชีวภาพของแซฟไฟร์ทำให้เหมาะสำหรับการใช้งานทางการแพทย์และการตรวจจับทางชีวภาพ
แผ่นรองพื้นแซฟไฟร์ที่มีลวดลาย (PSS) พร้อมวัสดุ GaN แบบเอพิแท็กเซียล:
พื้นผิวแซฟไฟร์ที่มีลวดลาย (PSS) เป็นพื้นผิวที่เหมาะสมอย่างยิ่งสำหรับการเจริญเติบโตแบบเอพิแท็กเซียของแกลเลียมไนไตรด์ (GaN) ค่าคงที่ของแลตติสของแซฟไฟร์ใกล้เคียงกับ GaN ซึ่งสามารถลดความไม่ตรงกันของแลตติสและข้อบกพร่องในการเจริญเติบโตแบบเอพิแท็กเซีย โครงสร้างระดับไมโครและนาโนของพื้นผิว PSS ไม่เพียงแต่ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการสกัดแสงเท่านั้น แต่ยังช่วยปรับปรุงคุณภาพของผลึกของชั้นเอพิแท็กเซีย GaN ซึ่งส่งผลให้ประสิทธิภาพและความน่าเชื่อถือของ LED ดีขึ้นด้วย
พารามิเตอร์ทางเทคนิค
| รายการ | แผ่นรองฐานแซฟไฟร์ลาย (2-6 นิ้ว) | ||
| เส้นผ่านศูนย์กลาง | 50.8 ± 0.1 มม. | 100.0 ± 0.2 มม. | 150.0 ± 0.3 มม. |
| ความหนา | 430 ± 25 ไมโครเมตร | 650 ± 25 ไมโครเมตร | 1000 ± 25 ไมโครเมตร |
| การวางแนวพื้นผิว | ระนาบ C (0001) ทำมุมเบี่ยงเบนจากแกน M (10-10) 0.2 ± 0.1° | ||
| ระนาบ C (0001) ทำมุมเอียงไปทางแกน A (11-20) 0 ± 0.1° | |||
| การวางแนวระนาบหลัก | ระนาบ A (11-20) ± 1.0° | ||
| ความยาวแบนหลัก | 16.0 ± 1.0 มม. | 30.0 ± 1.0 มม. | 47.5 ± 2.0 มม. |
| เครื่องบินอาร์ | 9 นาฬิกา | ||
| การตกแต่งพื้นผิวด้านหน้า | ลวดลาย | ||
| พื้นผิวด้านหลัง | SSP: เจียรละเอียด, Ra = 0.8-1.2 ไมโครเมตร; DSP: ขัดเงาแบบอีพิ, Ra < 0.3 นาโนเมตร | ||
| เลเซอร์มาร์ค | ด้านหลัง | ||
| ทีทีวี | ≤8μm | ≤10μm | ≤20μm |
| โค้งคำนับ | ≤10μm | ≤15μm | ≤25μm |
| วาร์ป | ≤12μm | ≤20μm | ≤30μm |
| การยกเว้นขอบ | ≤2 มม. | ||
| ข้อกำหนดรูปแบบ | โครงสร้างรูปทรง | โดม, กรวย, พีระมิด | |
| ความสูงของลวดลาย | 1.6~1.8 ไมโครเมตร | ||
| เส้นผ่านศูนย์กลางของลวดลาย | 2.75~2.85 ไมโครเมตร | ||
| พื้นที่รูปแบบ | 0.1~0.3 ไมโครเมตร | ||
XKH เชี่ยวชาญในการจัดหาแผ่นรองพื้นแซฟไฟร์แบบมีลวดลาย (PSS) คุณภาพสูงที่ปรับแต่งได้ตามความต้องการ พร้อมการสนับสนุนทางเทคนิคและบริการหลังการขาย เพื่อช่วยให้ลูกค้าบรรลุนวัตกรรมที่มีประสิทธิภาพในด้าน LED จอแสดงผล และอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์เชิงแสง
1. การจัดหาแผ่น PSS คุณภาพสูง: แผ่นซับสเตรตแซฟไฟร์แบบมีลวดลายในขนาดต่างๆ (2 นิ้ว, 4 นิ้ว, 6 นิ้ว) เพื่อตอบสนองความต้องการของอุปกรณ์ LED, จอแสดงผล และอุปกรณ์อิเล็กโทรออปติก
2. การออกแบบตามสั่ง: ปรับแต่งโครงสร้างระดับไมโครและนาโนบนพื้นผิว (เช่น รูปทรงกรวย พีระมิด หรือรูปทรงหกเหลี่ยม) ตามความต้องการของลูกค้า เพื่อเพิ่มประสิทธิภาพในการสกัดแสงให้เหมาะสมที่สุด
3. การสนับสนุนทางเทคนิค: ให้บริการออกแบบแอปพลิเคชัน PSS การเพิ่มประสิทธิภาพกระบวนการ และการให้คำปรึกษาทางเทคนิค เพื่อช่วยให้ลูกค้าปรับปรุงประสิทธิภาพของผลิตภัณฑ์
4. วัสดุรองรับการเจริญเติบโตแบบเอพิแท็กเซียล: มีการจัดเตรียม PSS ที่เข้ากันได้กับวัสดุเอพิแท็กเซียล GaN เพื่อให้มั่นใจได้ว่าการเจริญเติบโตของชั้นเอพิแท็กเซียลมีคุณภาพสูง
5. การทดสอบและการรับรอง: จัดทำรายงานการตรวจสอบคุณภาพ PSS เพื่อให้มั่นใจว่าผลิตภัณฑ์เป็นไปตามมาตรฐานอุตสาหกรรม
แผนภาพโดยละเอียด
