ระบบเลเซอร์ไมโครเจ็ทความแม่นยำสำหรับวัสดุแข็งและเปราะ
คุณสมบัติหลัก
1. แหล่งกำเนิดเลเซอร์ Nd:YAG ความยาวคลื่นคู่
ระบบนี้ใช้เลเซอร์ Nd:YAG แบบโซลิดสเตตที่ปั๊มด้วยไดโอด รองรับทั้งความยาวคลื่นสีเขียว (532 นาโนเมตร) และอินฟราเรด (1064 นาโนเมตร) ความสามารถแบบดูอัลแบนด์นี้ช่วยให้สามารถใช้งานร่วมกับโปรไฟล์การดูดซับวัสดุได้หลากหลายสเปกตรัม ช่วยเพิ่มความเร็วและคุณภาพการประมวลผล
2. นวัตกรรมการส่งผ่านเลเซอร์ไมโครเจ็ท
ด้วยการเชื่อมต่อเลเซอร์เข้ากับไมโครเจ็ทน้ำแรงดันสูง ระบบนี้จึงใช้ประโยชน์จากการสะท้อนกลับทั้งหมดภายในเพื่อส่งพลังงานเลเซอร์ไปตามกระแสน้ำอย่างแม่นยำ กลไกการส่งพลังงานอันเป็นเอกลักษณ์นี้ช่วยให้มั่นใจได้ว่าโฟกัสจะละเอียดเป็นพิเศษโดยมีการกระเจิงน้อยที่สุด และให้ความกว้างของเส้นที่เล็กถึง 20 ไมโครเมตร ให้คุณภาพการตัดที่เหนือชั้น
3. การควบคุมอุณหภูมิในระดับไมโคร
โมดูลระบายความร้อนด้วยน้ำแบบแม่นยำแบบบูรณาการช่วยควบคุมอุณหภูมิ ณ จุดประมวลผล โดยรักษาระดับความร้อน (HAZ) ให้อยู่ภายใน 5 ไมโครเมตร คุณสมบัตินี้มีประโยชน์อย่างยิ่งเมื่อทำงานกับวัสดุที่ไวต่อความร้อนและแตกหักง่าย เช่น SiC หรือ GaN
4. การกำหนดค่าพลังงานแบบโมดูลาร์
แพลตฟอร์มรองรับตัวเลือกพลังงานเลเซอร์สามแบบ ได้แก่ 50W, 100W และ 200W ช่วยให้ลูกค้าสามารถเลือกการกำหนดค่าที่ตรงกับความต้องการปริมาณงานและความละเอียดของตนได้
5. แพลตฟอร์มควบคุมการเคลื่อนไหวที่แม่นยำ
ระบบนี้ประกอบด้วยแท่นความแม่นยำสูงพร้อมตำแหน่ง ±5μm พร้อมระบบเคลื่อนที่ 5 แกน และมอเตอร์ขับเคลื่อนเชิงเส้นหรือมอเตอร์ขับเคลื่อนตรง (อุปกรณ์เสริม) ซึ่งช่วยให้มั่นใจได้ถึงความสามารถในการทำซ้ำและความยืดหยุ่นสูง แม้กับรูปทรงที่ซับซ้อนหรือการประมวลผลแบบแบตช์
พื้นที่การใช้งาน
การประมวลผลเวเฟอร์ซิลิกอนคาร์ไบด์:
เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการตัดแต่งขอบ การหั่น และการหั่นสี่เหลี่ยมลูกเต๋าของเวเฟอร์ SiC ในอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์กำลัง
การกลึงพื้นผิวแกลเลียมไนไตรด์ (GaN):
รองรับการขีดเขียนและการตัดที่มีความแม่นยำสูง เหมาะสำหรับการใช้งาน RF และ LED
โครงสร้างเซมิคอนดักเตอร์แบนด์แก๊ปกว้าง:
เข้ากันได้กับเพชร แกลเลียมออกไซด์ และวัสดุใหม่ๆ อื่นๆ สำหรับการใช้งานความถี่สูงและแรงดันไฟฟ้าสูง
การตัดคอมโพสิตสำหรับอวกาศ:
การตัดที่แม่นยำของคอมโพสิตเมทริกซ์เซรามิกและวัสดุพื้นผิวระดับอวกาศขั้นสูง
LTCC และวัสดุโฟโตโวลตาอิก:
ใช้สำหรับการเจาะ การร่อง และการขีดเส้นในระดับไมโครใน PCB ความถี่สูงและการผลิตเซลล์แสงอาทิตย์
การชุบประกายแสงและการขึ้นรูปผลึกออปติคัล:
ช่วยให้สามารถตัดอิตเทรียม-อะลูมิเนียมการ์เนต LSO, BGO และอุปกรณ์ออปติกความแม่นยำอื่นๆ ที่มีข้อบกพร่องต่ำ
ข้อมูลจำเพาะ
| ข้อมูลจำเพาะ | ค่า |
| ประเภทเลเซอร์ | DPSS Nd:YAG |
| ความยาวคลื่นที่รองรับ | 532 นาโนเมตร / 1064 นาโนเมตร |
| ตัวเลือกพลังงาน | 50วัตต์ / 100วัตต์ / 200วัตต์ |
| ความแม่นยำในการวางตำแหน่ง | ±5ไมโครเมตร |
| ความกว้างเส้นขั้นต่ำ | ≤20ไมโครเมตร |
| เขตที่ได้รับผลกระทบจากความร้อน | ≤5ไมโครเมตร |
| ระบบการเคลื่อนไหว | มอเตอร์แบบเชิงเส้น / ขับตรง |
| ความหนาแน่นพลังงานสูงสุด | สูงถึง 10⁷ W/cm² |
บทสรุป
ระบบเลเซอร์ไมโครเจ็ทนี้นิยามขีดจำกัดใหม่ของการตัดเฉือนด้วยเลเซอร์สำหรับวัสดุแข็ง เปราะ และไวต่อความร้อน ด้วยการผสานรวมเลเซอร์กับน้ำอันเป็นเอกลักษณ์ ความเข้ากันได้กับความยาวคลื่นคู่ และระบบการเคลื่อนที่ที่ยืดหยุ่น จึงมอบโซลูชันที่ปรับแต่งเฉพาะสำหรับนักวิจัย ผู้ผลิต และผู้รวมระบบที่ทำงานกับวัสดุล้ำสมัย ไม่ว่าจะใช้ในโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ห้องปฏิบัติการอวกาศ หรือการผลิตแผงโซลาร์เซลล์ แพลตฟอร์มนี้มอบความน่าเชื่อถือ ความสามารถในการทำซ้ำ และความแม่นยำ ซึ่งช่วยเสริมศักยภาพให้กับกระบวนการแปรรูปวัสดุยุคใหม่
แผนภาพรายละเอียด
