ระบบเลเซอร์ไมโครเจ็ทที่มีความแม่นยำสำหรับวัสดุแข็งและเปราะ
คุณสมบัติหลัก
1. แหล่งกำเนิดเลเซอร์ Nd:YAG แบบความยาวคลื่นคู่
ระบบนี้ใช้เลเซอร์ Nd:YAG แบบโซลิดสเตตที่ปั๊มด้วยไดโอด โดยรองรับทั้งความยาวคลื่นสีเขียว (532 นาโนเมตร) และอินฟราเรด (1,064 นาโนเมตร) ความสามารถแบบดูอัลแบนด์นี้ช่วยให้เข้ากันได้อย่างดีเยี่ยมกับสเปกตรัมกว้างของโปรไฟล์การดูดซับวัสดุ ช่วยปรับปรุงความเร็วและคุณภาพของการประมวลผล
2. นวัตกรรมการส่งผ่านด้วยเลเซอร์ไมโครเจ็ท
ระบบนี้ใช้การสะท้อนภายในทั้งหมดเพื่อส่งพลังงานเลเซอร์ไปตามกระแสน้ำอย่างแม่นยำโดยการจับคู่เลเซอร์กับไมโครเจ็ทน้ำแรงดันสูง กลไกการส่งมอบที่ไม่เหมือนใครนี้ช่วยให้โฟกัสได้ละเอียดเป็นพิเศษโดยมีการกระเจิงน้อยที่สุด และให้ความกว้างของเส้นที่ละเอียดถึง 20μm ให้คุณภาพการตัดที่ไม่มีใครเทียบได้
3. การควบคุมอุณหภูมิในระดับไมโคร
โมดูลระบายความร้อนด้วยน้ำแบบแม่นยำแบบบูรณาการช่วยควบคุมอุณหภูมิที่จุดประมวลผล โดยรักษาระดับโซนที่ได้รับผลกระทบจากความร้อน (HAZ) ไว้ภายใน 5μm คุณสมบัตินี้มีประโยชน์อย่างยิ่งเมื่อทำงานกับวัสดุที่ไวต่อความร้อนและแตกหักง่าย เช่น SiC หรือ GaN
4. การกำหนดค่าพลังงานแบบโมดูลาร์
แพลตฟอร์มนี้รองรับตัวเลือกพลังงานเลเซอร์สามแบบ ได้แก่ 50W, 100W และ 200W ช่วยให้ลูกค้าสามารถเลือกการกำหนดค่าที่ตรงตามความต้องการด้านปริมาณงานและความละเอียดของตนได้
5. แพลตฟอร์มควบคุมการเคลื่อนไหวที่แม่นยำ
ระบบนี้ใช้แท่นความแม่นยำสูงพร้อมตำแหน่ง ±5μm พร้อมการเคลื่อนที่ 5 แกนและมอเตอร์ขับเคลื่อนเชิงเส้นหรือแบบตรงที่เป็นทางเลือก ซึ่งช่วยให้สามารถทำซ้ำได้สูงและมีความยืดหยุ่น แม้แต่สำหรับรูปทรงเรขาคณิตที่ซับซ้อนหรือการประมวลผลแบบแบตช์
พื้นที่การใช้งาน
การประมวลผลเวเฟอร์ซิลิกอนคาร์ไบด์:
เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการตัดขอบ การหั่น และการหั่นเวเฟอร์ SiC ในอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์กำลัง
การแปรรูปพื้นผิวแกเลียมไนไตรด์ (GaN):
รองรับการขีดเขียนและการตัดที่แม่นยำสูง ออกแบบมาสำหรับแอพพลิเคชั่น RF และ LED
โครงสร้างเซมิคอนดักเตอร์แบนด์แก๊ปกว้าง:
เข้ากันได้กับเพชร แกลเลียมออกไซด์ และวัสดุใหม่ๆ อื่นๆ สำหรับการใช้งานความถี่สูง แรงดันไฟฟ้าสูง
การตัดคอมโพสิตสำหรับอุตสาหกรรมการบินและอวกาศ:
การตัดที่แม่นยำของคอมโพสิตเมทริกซ์เซรามิกและพื้นผิวระดับอวกาศขั้นสูง
วัสดุ LTCC และโฟโตวอลตาอิค:
ใช้สำหรับการเจาะ การร่อง และการขีดเขียนในระดับไมโครใน PCB ความถี่สูงและการผลิตเซลล์แสงอาทิตย์
การชุบประกายแสงและการขึ้นรูปคริสตัลออปติคัล:
ช่วยให้สามารถตัดอิตเทรียมอะลูมิเนียมการ์เนต LSO BGO และอุปกรณ์ออปติกความแม่นยำอื่น ๆ ที่มีข้อบกพร่องต่ำ
ข้อมูลจำเพาะ
ข้อมูลจำเพาะ | ค่า |
ประเภทเลเซอร์ | DPSS Nd:YAG |
รองรับความยาวคลื่น | 532นาโนเมตร / 1064นาโนเมตร |
ตัวเลือกพลังงาน | 50วัตต์ / 100วัตต์ / 200วัตต์ |
ความแม่นยำในการวางตำแหน่ง | ±5ไมโครเมตร |
ความกว้างของเส้นขั้นต่ำ | ≤20ไมโครเมตร |
โซนที่ได้รับผลกระทบจากความร้อน | ≤5ไมโครเมตร |
ระบบการเคลื่อนไหว | มอเตอร์ขับตรง / เชิงเส้น |
ความหนาแน่นของพลังงานสูงสุด | สูงถึง 10⁷ W/cm² |
บทสรุป
ระบบเลเซอร์ไมโครเจ็ทนี้กำหนดขอบเขตใหม่ของการตัดด้วยเลเซอร์สำหรับวัสดุที่แข็ง เปราะ และไวต่อความร้อน ด้วยการผสานเลเซอร์กับน้ำที่เป็นเอกลักษณ์ ความเข้ากันได้ของความยาวคลื่นคู่ และระบบการเคลื่อนที่ที่ยืดหยุ่น ทำให้สามารถเสนอโซลูชันเฉพาะสำหรับนักวิจัย ผู้ผลิต และผู้ผสานระบบที่ทำงานกับวัสดุที่ล้ำสมัย ไม่ว่าจะใช้ในโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ห้องปฏิบัติการอวกาศ หรือการผลิตแผงโซลาร์เซลล์ แพลตฟอร์มนี้มอบความน่าเชื่อถือ ความสามารถในการทำซ้ำ และความแม่นยำที่ช่วยเสริมพลังให้กับการประมวลผลวัสดุรุ่นต่อไป
แผนภาพรายละเอียด


