พินยกแซฟไฟร์พรีเมียม พินยกเวเฟอร์ Al₂O₃ คริสตัลเดี่ยว

1. ความแข็งและความต้านทานการสึกหรอที่ยอดเยี่ยม: ด้วยค่าความแข็ง Mohs 9 ซึ่งเป็นรองเพียงเพชร ไพลินลิฟต์พินแสดงให้เห็นถึงคุณสมบัติการสึกหรอที่เหนือกว่าซิลิคอนคาร์ไบด์ อะลูมินาเซรามิก หรือโลหะผสมแบบดั้งเดิมอย่างมาก ความแข็งระดับนี้ช่วยลดความต้องการการสร้างอนุภาคและการบำรุงรักษาลงอย่างมาก โดยทั่วไปแล้วอายุการใช้งานจะยาวนานกว่าวัสดุทั่วไปถึง 3-5 เท่าในการใช้งานที่คล้ายคลึงกัน

2. ทนทานต่ออุณหภูมิสูงเป็นพิเศษ: แซฟไฟร์ลิฟท์พินได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมให้ทนทานต่อการทำงานอย่างต่อเนื่องที่อุณหภูมิสูงกว่า 1,000°C โดยไม่เสื่อมสภาพ พินลิฟท์ไพลินยังคงรักษาเสถียรภาพเชิงขนาดและความแข็งแรงเชิงกลในกระบวนการทางความร้อนที่มีความต้องการสูง เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการใช้งานที่สำคัญ เช่น การสะสมไอเคมี (CVD) การสะสมไอเคมีโลหะอินทรีย์ (MOCVD) และระบบอบอ่อนอุณหภูมิสูง ซึ่งการขยายตัวทางความร้อนที่ไม่ตรงกันอาจส่งผลต่อผลผลิตของกระบวนการ

3. ความเฉื่อยทางเคมี: โครงสร้างแซฟไฟร์ผลึกเดี่ยวแสดงให้เห็นถึงความทนทานที่โดดเด่นต่อการกัดกร่อนจากกรด HF สารเคมีที่มีคลอรีนเป็นส่วนประกอบ และก๊าซอื่นๆ ในกระบวนการที่มีฤทธิ์กัดกร่อน ซึ่งมักพบในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ความเสถียรทางเคมีนี้ช่วยให้มั่นใจได้ถึงประสิทธิภาพที่สม่ำเสมอในสภาพแวดล้อมพลาสมา และป้องกันการเกิดข้อบกพร่องบนพื้นผิวที่อาจนำไปสู่การปนเปื้อนของแผ่นเวเฟอร์

4. การปนเปื้อนของอนุภาคต่ำ: ผลิตจากคริสตัลแซฟไฟร์บริสุทธิ์สูง ปราศจากตำหนิ (โดยทั่วไป >99.99%) พินยกเหล่านี้มีการหลุดของอนุภาคน้อยที่สุดแม้หลังจากใช้งานเป็นเวลานาน โครงสร้างพื้นผิวที่ไม่มีรูพรุนและผิวขัดเงาของพินเหล่านี้ตรงตามข้อกำหนดของห้องคลีนรูมที่เข้มงวดที่สุด ส่งผลโดยตรงต่อผลผลิตของกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์โหนดขั้นสูง

การตัดเฉือนความแม่นยำสูง: ด้วยเทคนิคการเจียรเพชรขั้นสูงและการประมวลผลด้วยเลเซอร์ Sapphire Lift Pins จึงสามารถผลิตได้ด้วยความคลาดเคลื่อนระดับต่ำกว่าไมครอนและผิวสำเร็จต่ำกว่า 0.05 ไมโครเมตร Ra รูปทรงเฉพาะ เช่น โปรไฟล์เรียว การกำหนดค่าปลายพิเศษ และคุณสมบัติการจัดตำแหน่งแบบบูรณาการ สามารถออกแบบเพื่อรับมือกับความท้าทายเฉพาะด้านการจัดการเวเฟอร์ในอุปกรณ์การผลิตยุคใหม่