อุปกรณ์เรือคริสตัลควอตซ์ที่กำหนดเองสำหรับอุณหภูมิสูงและทนต่อการสึกหรอ
เรือคริสตัลควอตซ์ถูกออกแบบมาเพื่อรองรับและขนส่งแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง เช่น ในเตาเผาที่ใช้ในกระบวนการต่างๆ เช่น ออกซิเดชัน การแพร่ และการอบอ่อน การใช้ควอตซ์ช่วยให้มั่นใจได้ว่าเรือสามารถทนต่ออุณหภูมิที่รุนแรงและสภาพแวดล้อมทางเคมีที่รุนแรงซึ่งพบในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์เหล่านี้
การออกแบบเรือควอตซ์ช่วยให้สามารถบรรจุและขนถ่ายเวเฟอร์หลายแผ่นได้อย่างมีประสิทธิภาพ ส่งผลให้มีกำลังการผลิตสูงในโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การใช้เรือควอตซ์ช่วยให้มั่นใจถึงความสมบูรณ์และคุณภาพของเวเฟอร์ซิลิคอนในระหว่างการอบชุบด้วยความร้อนและสารเคมีต่างๆ ซึ่งช่วยปรับปรุงความแม่นยำและความน่าเชื่อถือโดยรวมของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ที่ผลิตขึ้น
เรือเวเฟอร์ควอตซ์เป็นเครื่องมือเฉพาะทางที่ใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์เพื่อจัดการกับเวเฟอร์ซิลิคอน โดยทั่วไปแล้วทำจากควอตซ์บริสุทธิ์สูง ซึ่งถูกเลือกเนื่องจากคุณสมบัติทางความร้อนและทางเคมีที่ยอดเยี่ยม
เรือเวเฟอร์ถูกออกแบบมาเพื่อบรรทุกและแปรรูปเวเฟอร์ซิลิคอนในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง เช่น ในเตาเผาที่ใช้สำหรับกระบวนการต่างๆ เช่น ออกซิเดชัน การแพร่ และการอบอ่อน การใช้ควอตซ์ช่วยให้มั่นใจได้ว่าเรือสามารถทนต่ออุณหภูมิที่รุนแรงและสภาพแวดล้อมทางเคมีที่รุนแรงซึ่งพบในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์เหล่านี้
การออกแบบเรือช่วยให้สามารถบรรทุกและขนถ่ายเวเฟอร์หลายแผ่นได้อย่างมีประสิทธิภาพ ส่งผลให้มีปริมาณการผลิตสูงในโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การใช้เวเฟอร์ควอตซ์ช่วยรับประกันความสมบูรณ์และคุณภาพของเวเฟอร์ซิลิคอนในระหว่างการอบชุบด้วยความร้อนและสารเคมีต่างๆ จึงช่วยเพิ่มความแม่นยำและความน่าเชื่อถือของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ที่ผลิตได้
แผนภาพรายละเอียด


