เวเฟอร์แก้วควอตซ์ JGS1 JGS2 BF33 เวเฟอร์ 8 นิ้ว 12 นิ้ว 725 ± 25 ไมโครเมตร หรือแบบกำหนดเอง
ข้อมูลจำเพาะ
| สเปค | 4" | 6" | 8" | 10 นิ้ว | 12 นิ้ว |
| เส้นผ่านศูนย์กลาง | 100 มม. | 150 มม. | 200 มม. | 250 มม. | 300 มม. |
| ความหนา | 0.10 มม. | 0.30 มม. | 0.40 มม. | 0.50 มม. | 0.50 มม. |
| แฟลตประถม | 32.5 มม. | 47.5 มม. / 57.5มม. / รอยบาก | รอยบาก | รอยบาก | รอยบาก |
| LTV (5มม.x5มม.) | < 0.5 ไมโครเมตร | < 0.5 ไมโครเมตร | < 0.5 ไมโครเมตร | < 0.5 ไมโครเมตร | < 0.5 ไมโครเมตร |
| ทีทีวี | < 2 ไมโครเมตร | < 3 ไมโครเมตร | <3หนอ | <10um | <10um |
| โค้งคำนับ | ±20ไมโครเมตร | ±30ไมโครเมตร | ±40ไมโครเมตร | ±40ไมโครเมตร | ±40ไมโครเมตร |
| การบิดเบี้ยว | ≤ 30ไมโครเมตร | ≤ 40 ไมโครเมตร | ≤ 70ไมโครเมตร | ≤ 80ไมโครเมตร | ≤ 80ไมโครเมตร |
| การปัดขอบ | สอดคล้องกับมาตรฐาน SEMI M1.2/อ้างอิง IEC62276 | ||||
| ประเภทพื้นผิว | ขัดด้านเดียว / ขัดสองด้าน | ||||
| ขัดด้านรา | Ra≤1นาโนเมตร | ||||
| เกณฑ์ด้านหลัง | Ra 0.2-0.7um หรือกำหนดเอง | ||||
ตารางพารามิเตอร์เวเฟอร์แก้วควอตซ์ JGS1 JGS2 BF33
แอปพลิเคชัน
เวเฟอร์แก้วควอตซ์ที่ทำจาก JGS1, JGS2 และ BF33 ถูกใช้อย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมความแม่นยำสูงหลากหลายประเภท เวเฟอร์เหล่านี้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ รวมถึงวัสดุรองรับโฟโตมาสก์และออปติกระดับเวเฟอร์ นอกจากนี้ยังเหมาะสำหรับส่วนประกอบออปติก เลเซอร์ และเซ็นเซอร์ในอุตสาหกรรมต่างๆ เช่น โทรคมนาคม อวกาศ และอุปกรณ์ทางการแพทย์ ความเสถียรทางความร้อนสูงและความต้านทานต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิทำให้เวเฟอร์นี้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงมาก ในขณะที่ค่าการส่องผ่านที่ยอดเยี่ยมยังมีความสำคัญอย่างยิ่งสำหรับออปติกอัลตราไวโอเลต (UV) และอินฟราเรด (IR)
คุณสมบัติ
ประเภทวัสดุ:
JGS1: การส่งผ่านแสง UV สูง เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการใช้งานแสงอัลตราไวโอเลต
JGS2: การส่งผ่านแสงที่สมดุลในช่วง UV แสงที่มองเห็นได้ และอินฟราเรด เหมาะสำหรับการใช้งานทางแสงทั่วไป
BF33: แก้วโบโรซิลิเกต ทนทานต่อสารเคมีและความร้อนสูง ตัวเลือกขนาด:
มีจำหน่ายขนาดมาตรฐานเวเฟอร์ 8 นิ้ว และ 12 นิ้ว
สามารถผลิตขนาดที่กำหนดเองได้ตามความต้องการเฉพาะความหนา:
ความหนามาตรฐานคือ 725 ± 25 μm
มีความหนาให้เลือกตามความต้องการของอุตสาหกรรมที่แตกต่างกัน
คุณสมบัติทางความร้อน:
มีเสถียรภาพทางความร้อนดีเยี่ยม เหมาะสำหรับใช้ในสภาพแวดล้อมอุณหภูมิสูง
ทนทานต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างรุนแรง
ความต้านทานต่อสารเคมี:
ทนทานต่อการกัดกร่อนจากกรด ด่าง และสารเคมีส่วนใหญ่ โดยเฉพาะใน BF33
คุณสมบัติทางแสง:
เวเฟอร์ JGS1 และ JGS2 ให้การส่งผ่านแสงสูงในช่วงอัลตราไวโอเลต (UV) แสงที่มองเห็นได้ และอินฟราเรด (IR)
เหมาะสำหรับส่วนประกอบออปติกความแม่นยำ โฟโตนิกส์ และการใช้งานเลเซอร์
คุณภาพพื้นผิว:
ความเรียบและความเรียบเนียนของพื้นผิวสูง ช่วยให้มั่นใจถึงความแม่นยำในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และอุปกรณ์ออปติก
คุณสมบัติเหล่านี้ทำให้เวเฟอร์ JGS1, JGS2 และ BF33 มีความหลากหลายและเชื่อถือได้สำหรับการใช้งานประสิทธิภาพสูงในอุตสาหกรรมต่างๆ เช่น อุตสาหกรรมออปติก อุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ และอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
โดยรวม
เวเฟอร์แก้วควอตซ์ที่ทำจาก JGS1, JGS2 และ BF33 มอบประสิทธิภาพที่โดดเด่นสำหรับการใช้งานที่หลากหลายและต้องการความแม่นยำสูง เวเฟอร์เหล่านี้มีให้เลือกทั้งขนาดมาตรฐาน 8 นิ้ว และ 12 นิ้ว ความหนา 725 ± 25 ไมโครเมตร และยังสามารถปรับแต่งให้ตรงกับความต้องการเฉพาะได้อีกด้วย JGS1 และ JGS2 ให้ค่าการส่งผ่านแสงสูงในช่วง UV, Visible และ IR ขณะที่ BF33 ให้ความทนทานต่อสารเคมีและความร้อนที่ดีเยี่ยม ด้วยความเรียบและความเรียบของพื้นผิวที่สูง เวเฟอร์เหล่านี้จึงเหมาะอย่างยิ่งสำหรับอุตสาหกรรมที่ต้องการความแม่นยำสูง เช่น เซมิคอนดักเตอร์ ออปติกส์ และโฟโตนิกส์ มอบความน่าเชื่อถือและความทนทานในสภาพแวดล้อมที่รุนแรงและการใช้งานที่สำคัญ
แผนภาพรายละเอียด
