เวเฟอร์แก้วควอตซ์ JGS1 JGS2 BF33 เวเฟอร์ 8 นิ้ว 12 นิ้ว 725 ± 25 ไมโครเมตร หรือแบบกำหนดเอง
ข้อมูลจำเพาะ
สเปก | 4" | 6" | 8" | 10 นิ้ว | 12” |
เส้นผ่านศูนย์กลาง | 100มม. | 150มม. | 200มม. | 250มม. | 300มม. |
ความหนา | 0.10มม. | 0.30มม. | 0.40มม. | 0.50มม. | 0.50มม. |
แฟลตประถม | 32.5มม. | 47.5มม. / 57.5มม. / รอยบาก | รอยบาก | รอยบาก | รอยบาก |
แอลทีวี (5มม.x5มม.) | < 0.5ไมโครเมตร | < 0.5ไมโครเมตร | < 0.5ไมโครเมตร | < 0.5ไมโครเมตร | < 0.5ไมโครเมตร |
ทีทีวี | < 2 ไมโครเมตร | < 3 ไมโครเมตร | <3หนอ | <10ไมโครเมตร | <10ไมโครเมตร |
โค้งคำนับ | ±20ไมโครเมตร | ±30ไมโครเมตร | ±40ไมโครเมตร | ±40ไมโครเมตร | ±40ไมโครเมตร |
การบิดเบี้ยว | ≤ 30ไมโครเมตร | ≤ 40ไมโครเมตร | ≤ 70ไมโครเมตร | ≤ 80ไมโครเมตร | ≤ 80ไมโครเมตร |
การปัดขอบ | สอดคล้องกับมาตรฐาน SEMI M1.2/ดู IEC62276 | ||||
ประเภทพื้นผิว | ขัดด้านเดียว / ขัดสองด้าน | ||||
ขัดด้านรา | Ra≤1นาโนเมตร | ||||
เกณฑ์ด้านหลัง | Ra 0.2-0.7um หรือกำหนดเอง |
ตารางพารามิเตอร์เวเฟอร์แก้วควอตซ์ JGS1 JGS2 BF33
แอปพลิเคชัน
เวเฟอร์แก้วควอตซ์ที่ทำจาก JGS1, JGS2 และ BF33 ถูกใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมที่มีความแม่นยำสูงต่างๆ เวเฟอร์เหล่านี้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ รวมถึงซับสเตรตโฟโตมาสก์และออปติกระดับเวเฟอร์ นอกจากนี้ยังเหมาะสำหรับส่วนประกอบออปติก เลเซอร์ และเซ็นเซอร์ในอุตสาหกรรมต่างๆ เช่น โทรคมนาคม อวกาศ และอุปกรณ์ทางการแพทย์ ความเสถียรทางความร้อนสูงและความต้านทานต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิทำให้เวเฟอร์เหล่านี้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสุดขั้ว ในขณะที่การส่งผ่านแสงที่ยอดเยี่ยมนั้นมีความสำคัญอย่างยิ่งสำหรับออปติกอัลตราไวโอเลต (UV) และอินฟราเรด (IR)
คุณสมบัติ
ประเภทวัสดุ:
JGS1: การส่งผ่านแสง UV สูง ยอดเยี่ยมสำหรับการใช้งานแสงอัลตราไวโอเลต
JGS2: การส่งผ่านแสงที่สมดุลในช่วง UV แสงมองเห็นได้ และอินฟราเรด เหมาะสำหรับการใช้งานทางแสงทั่วไป
BF33: แก้วโบโรซิลิเกตที่ทนทานต่อสารเคมีและความร้อนสูง ตัวเลือกขนาด:
มีจำหน่ายขนาดมาตรฐานเวเฟอร์ 8 นิ้ว และ 12 นิ้ว
สามารถผลิตขนาดที่กำหนดเองได้ตามความต้องการเฉพาะความหนา:
ความหนามาตรฐานคือ 725 ± 25 μm
สามารถปรับแต่งความหนาได้เพื่อตอบสนองความต้องการของอุตสาหกรรมต่างๆ
คุณสมบัติทางความร้อน:
มีเสถียรภาพทางความร้อนดีเยี่ยม เหมาะสำหรับใช้ในสภาพแวดล้อมอุณหภูมิสูง
ทนทานต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างรุนแรง
ความทนทานต่อสารเคมี:
ทนทานต่อการกัดกร่อนจากกรด ด่าง และสารเคมีส่วนใหญ่ โดยเฉพาะใน BF33
คุณสมบัติทางแสง:
เวเฟอร์ JGS1 และ JGS2 ให้การส่งผ่านแสงสูงในช่วงอัลตราไวโอเลต (UV) แสงมองเห็นได้ และอินฟราเรด (IR)
เหมาะอย่างยิ่งสำหรับส่วนประกอบออปติกแม่นยำ โฟโตนิกส์ และการใช้งานเลเซอร์
คุณภาพพื้นผิว:
ความเรียบและความเรียบเนียนของพื้นผิวสูง ช่วยให้มั่นใจถึงความแม่นยำในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และอุปกรณ์ออปติก
คุณสมบัติเหล่านี้ทำให้เวเฟอร์ JGS1, JGS2 และ BF33 มีความยืดหยุ่นและเชื่อถือได้สำหรับการใช้งานประสิทธิภาพสูงในอุตสาหกรรมต่างๆ เช่น อุตสาหกรรมออปติก อุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ และอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
โดยรวม
เวเฟอร์แก้วควอตซ์ที่ทำจาก JGS1, JGS2 และ BF33 ให้ประสิทธิภาพที่โดดเด่นในแอพพลิเคชั่นที่ต้องการความแม่นยำสูง เวเฟอร์เหล่านี้มีขนาดมาตรฐาน 8 นิ้วและ 12 นิ้ว พร้อมความหนา 725 ± 25 μm และยังสามารถปรับแต่งได้เพื่อให้ตรงตามข้อกำหนดเฉพาะ JGS1 และ JGS2 ให้การส่งผ่านแสงสูงในช่วง UV แสงที่มองเห็นได้ และ IR ในขณะที่ BF33 ให้ความทนทานต่อสารเคมีและความเสถียรทางความร้อนที่ยอดเยี่ยม ด้วยความเรียบและความเรียบของพื้นผิวที่สูง เวเฟอร์เหล่านี้จึงเหมาะอย่างยิ่งสำหรับอุตสาหกรรมความแม่นยำ เช่น เซมิคอนดักเตอร์ ออปติก และโฟโตนิกส์ ช่วยให้มั่นใจได้ถึงความน่าเชื่อถือและความทนทานในสภาพแวดล้อมที่รุนแรงและการใช้งานที่สำคัญ
แผนภาพรายละเอียด

