แผ่นเวเฟอร์แก้วควอตซ์ JGS1 JGS2 BF33 ขนาด 8 นิ้ว 12 นิ้ว ความหนา 725 ± 25 ไมโครเมตร หรือขนาดที่กำหนดเอง
ข้อกำหนด
| สเปค | 4" | 6" | 8" | 10 นิ้ว | 12 นิ้ว |
| เส้นผ่านศูนย์กลาง | 100 มม. | 150 มม. | 200 มม. | 250 มม. | 300 มม. |
| ความหนา | 0.10 มม. | 0.30 มม. | 0.40 มม. | 0.50 มม. | 0.50 มม. |
| แฟลตหลัก | 32.5 มม. | 47.5 มม. / 57.5 มม. / รอยบาก | รอยบาก | รอยบาก | รอยบาก |
| LTV (5 มม. x 5 มม.) | < 0.5 ไมโครเมตร | < 0.5 ไมโครเมตร | < 0.5 ไมโครเมตร | < 0.5 ไมโครเมตร | < 0.5 ไมโครเมตร |
| ทีทีวี | < 2 ไมโครเมตร | < 3 ไมโครเมตร | <3um | <10 ไมโครเมตร | <10 ไมโครเมตร |
| โค้งคำนับ | ±20 ไมโครเมตร | ±30 ไมโครเมตร | ±40 ไมโครเมตร | ±40 ไมโครเมตร | ±40 ไมโครเมตร |
| วาร์ป | ≤ 30 ไมโครเมตร | ≤ 40 ไมโครเมตร | ≤ 70 ไมโครเมตร | ≤ 80 ไมโครเมตร | ≤ 80 ไมโครเมตร |
| การลบคมขอบ | เป็นไปตามมาตรฐาน SEMI M1.2 / อ้างอิงถึง IEC62276 | ||||
| ประเภทพื้นผิว | ขัดเงาด้านเดียว / ขัดเงาสองด้าน | ||||
| ด้านขัดเงา Ra | Ra≤1nm | ||||
| เกณฑ์ด้านหลัง | Ra 0.2-0.7um หรือแบบกำหนดเอง | ||||
ตารางพารามิเตอร์แผ่นเวเฟอร์กระจกควอตซ์ JGS1 JGS2 BF33
แอปพลิเคชัน
แผ่นเวเฟอร์แก้วควอตซ์ที่ผลิตจาก JGS1, JGS2 และ BF33 ถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมที่ต้องการความแม่นยำสูงต่างๆ เวเฟอร์เหล่านี้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ รวมถึงวัสดุตั้งต้นสำหรับโฟโตมาสก์และชิ้นส่วนออปติกส์ระดับเวเฟอร์ นอกจากนี้ยังเหมาะสำหรับชิ้นส่วนออปติกส์ เลเซอร์ และเซ็นเซอร์ในอุตสาหกรรมต่างๆ เช่น โทรคมนาคม อวกาศ และอุปกรณ์ทางการแพทย์ ความเสถียรทางความร้อนสูงและความทนทานต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างฉับพลันทำให้เวเฟอร์เหล่านี้เหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงและต่ำมาก ในขณะที่การส่งผ่านแสงที่ยอดเยี่ยมมีความสำคัญอย่างยิ่งสำหรับเลนส์อัลตราไวโอเลต (UV) และอินฟราเรด (IR)
คุณสมบัติ
ประเภทวัสดุ:
JGS1: มีค่าการส่งผ่านรังสียูวีสูง เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการใช้งานที่เกี่ยวข้องกับรังสียูวี
JGS2: มีค่าการส่งผ่านแสงที่สมดุลในช่วงรังสีอัลตราไวโอเลต แสงที่มองเห็นได้ และรังสีอินฟราเรด เหมาะสำหรับการใช้งานด้านทัศนศาสตร์ทั่วไป
BF33: กระจกโบโรซิลิเกตที่มีความทนทานต่อสารเคมีและความร้อนสูง มีให้เลือกหลายขนาด:
มีจำหน่ายในขนาดมาตรฐาน 8 นิ้ว และ 12 นิ้ว
สามารถผลิตขนาดตามสั่งได้ตามความต้องการเฉพาะ ความหนา:
ความหนามาตรฐานคือ 725 ± 25 ไมโครเมตร
สามารถปรับแต่งความหนาได้เพื่อให้ตรงกับความต้องการทางอุตสาหกรรมที่แตกต่างกัน
คุณสมบัติทางความร้อน:
มีเสถียรภาพทางความร้อนดีเยี่ยม เหมาะสำหรับใช้งานในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง
ทนทานต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างฉับพลันสูง
ความทนทานต่อสารเคมี:
ทนทานต่อการกัดกร่อนจากกรด ด่าง และสารเคมีส่วนใหญ่ได้ดี โดยเฉพาะอย่างยิ่งใน BF33
คุณสมบัติทางแสง:
แผ่นเวเฟอร์ JGS1 และ JGS2 มีค่าการส่งผ่านแสงสูงในช่วงรังสีอัลตราไวโอเลต (UV) แสงที่มองเห็นได้ และรังสีอินฟราเรด (IR)
เหมาะอย่างยิ่งสำหรับชิ้นส่วนออปติกที่มีความแม่นยำสูง โฟโตนิกส์ และการใช้งานเลเซอร์
คุณภาพพื้นผิว:
พื้นผิวเรียบและเนียนสูง ช่วยให้มั่นใจได้ถึงความแม่นยำในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และอุปกรณ์ทางแสง
คุณสมบัติเหล่านี้ทำให้เวเฟอร์ JGS1, JGS2 และ BF33 มีความอเนกประสงค์และเชื่อถือได้สำหรับการใช้งานประสิทธิภาพสูงในอุตสาหกรรมต่างๆ เช่น ออปติก อิเล็กทรอนิกส์ และเซมิคอนดักเตอร์
โดยรวม
แผ่นเวเฟอร์แก้วควอตซ์ที่ผลิตจาก JGS1, JGS2 และ BF33 ให้ประสิทธิภาพที่ยอดเยี่ยมในหลากหลายการใช้งานที่ต้องการความแม่นยำสูง มีจำหน่ายในขนาดมาตรฐาน 8 นิ้วและ 12 นิ้ว โดยมีความหนา 725 ± 25 ไมโครเมตร และยังสามารถปรับแต่งให้ตรงตามความต้องการเฉพาะได้อีกด้วย JGS1 และ JGS2 ให้การส่งผ่านแสงสูงในช่วง UV, แสงที่มองเห็นได้ และ IR ในขณะที่ BF33 ให้ความต้านทานต่อสารเคมีและความเสถียรทางความร้อนที่ดีเยี่ยม ด้วยพื้นผิวที่เรียบและเนียนสูง แผ่นเวเฟอร์เหล่านี้จึงเหมาะอย่างยิ่งสำหรับอุตสาหกรรมที่ต้องการความแม่นยำสูง เช่น เซมิคอนดักเตอร์ ออปติก และโฟโตนิกส์ เพื่อให้มั่นใจถึงความน่าเชื่อถือและความทนทานในสภาพแวดล้อมที่รุนแรงและการใช้งานที่สำคัญ
แผนภาพโดยละเอียด
