แท่งแซฟไฟร์รูปทรงพิเศษ ทนแรงดันสูง KY และ EFG

ในกระบวนการดึงท่อแซฟไฟร์จากโลหะหลอมเหลวโดยใช้ตัวเร่งปฏิกิริยา อุณหภูมิไล่ระดับตามแนวยาวในบริเวณระหว่างแนวหน้าของการแข็งตัวและบริเวณที่ดึง ซึ่งมีอุณหภูมิระหว่าง 1850 ถึง 1900 องศาเซลเซียส จะต้องรักษาไว้ไม่เกิน 30 องศาเซลเซียสต่อเซนติเมตร ท่อที่ได้จะถูกอบอ่อนที่อุณหภูมิระหว่าง 1950 ถึง 2000 องศาเซลเซียส โดยเพิ่มอุณหภูมิในอัตรา 30 ถึง 40 องศาเซลเซียสต่อนาที และคงอุณหภูมิไว้ที่อุณหภูมิดังกล่าวเป็นเวลา 3 ถึง 4 ชั่วโมง หลังจากนั้น ท่อจะถูกทำให้เย็นลงจนถึงอุณหภูมิห้องในอัตรา 30-40 องศาเซลเซียสต่อนาที

การประยุกต์ใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์:

(HPD, CVD, PECVD, การกัดแบบแห้ง, การกัดแบบเปียก)

ท่อจ่ายพลาสมา

หัวฉีดแก๊สสำหรับกระบวนการผลิต

ตัวตรวจจับจุดสิ้นสุด

หลอดเอ็กไซเมอร์โคโรนา