Sapphire Tube แท่งแซฟไฟร์รูปทรงพิเศษ แรงดันสูง KY และ EFG

ในระหว่างกระบวนการดึงท่อแซฟไฟร์จากการหลอมด้วยความช่วยเหลือของเมล็ดพืช อุณหภูมิจะไล่ระดับตามยาวในโซนระหว่างส่วนหน้าที่แข็งตัวกับบริเวณดึงซึ่งมีอุณหภูมิอยู่ระหว่าง 1850 ถึง 1900 องศา C คงไว้ไม่เกิน 30 องศา ซี/ซม. หลอดที่โตแล้วจะถูกอบอ่อนที่อุณหภูมิระหว่าง 1950 ถึง 2000 องศา C โดยการเพิ่มอุณหภูมิในอัตรา 30 ถึง 40 องศา C/นาที และรักษาท่อไว้ที่อุณหภูมิดังกล่าวในช่วงระยะเวลาระหว่าง 3 ถึง 4 ชั่วโมง หลังจากนั้นท่อจะเย็นลงจนถึงอุณหภูมิห้องในอัตรา 30-40 องศา C/นาที

การใช้งานการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์:

(HPD CVD, PECVD, กัดแห้ง, กัดเปียก)

หลอดพ่นพลาสม่า

ประมวลผลหัวฉีดแก๊ส

เครื่องตรวจจับจุดสิ้นสุด

ท่อ Excimer Corona