แท่งแซฟไฟร์แบบท่อแซฟไฟร์รูปทรงพิเศษ ทนแรงดันสูง KY และ EFG

ในระหว่างกระบวนการดึงท่อแซฟไฟร์ออกจากวัสดุหลอมเหลวด้วยความช่วยเหลือของเมล็ดพืช อุณหภูมิตามยาวในบริเวณระหว่างหน้าตัดที่แข็งตัวและบริเวณที่ดึง ซึ่งมีอุณหภูมิอยู่ระหว่าง 1850 ถึง 1900 องศาเซลเซียส จะถูกคงไว้ไม่เกิน 30 องศาเซลเซียส/ซม. ท่อที่ปลูกจะถูกอบอ่อนที่อุณหภูมิระหว่าง 1950 ถึง 2000 องศาเซลเซียส โดยการเพิ่มอุณหภูมิในอัตรา 30 ถึง 40 องศาเซลเซียส/นาที และรักษาอุณหภูมิของท่อไว้ที่อุณหภูมิดังกล่าวเป็นระยะเวลา 3 ถึง 4 ชั่วโมง หลังจากนั้น ท่อจะถูกทำให้เย็นลงจนถึงอุณหภูมิห้องในอัตรา 30-40 องศาเซลเซียส/นาที

การใช้งานการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์:

(HPD CVD, PECVD, การกัดแบบแห้ง, การกัดแบบเปียก)

หลอดสำหรับใส่พลาสมา

หัวฉีดแก๊สแบบกระบวนการ

เครื่องตรวจจับจุดสิ้นสุด

หลอดเอ็กไซเมอร์โคโรนา