แขนส้อมเซรามิก SiC / ปลายเอฟเฟกเตอร์ – การจัดการความแม่นยำขั้นสูงสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

คำอธิบายสั้น ๆ :

แขนส้อมเซรามิก SiC หรือที่มักเรียกว่า Ceramic End Effector เป็นส่วนประกอบการจัดการความแม่นยำสูงประสิทธิภาพสูงที่พัฒนาขึ้นโดยเฉพาะสำหรับการขนส่ง การจัดตำแหน่ง และการวางตำแหน่งเวเฟอร์ในอุตสาหกรรมเทคโนโลยีขั้นสูง โดยเฉพาะอย่างยิ่งในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และการผลิตไฟฟ้าโซลาร์เซลล์ ส่วนประกอบนี้ผลิตขึ้นจากเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ความบริสุทธิ์สูง ผสานรวมความแข็งแรงเชิงกลที่ยอดเยี่ยม การขยายตัวทางความร้อนต่ำเป็นพิเศษ และความทนทานต่อแรงกระแทกและการกัดกร่อนจากความร้อนได้ดีเยี่ยม

ส่งอีเมล์ถึงเรา

คุณสมบัติ

แผนภาพรายละเอียด

ภาพรวมผลิตภัณฑ์

ต่างจากอุปกรณ์ปลายรับแรงแบบดั้งเดิมที่ทำจากอะลูมิเนียม สเตนเลสสตีล หรือแม้แต่ควอตซ์ อุปกรณ์ปลายรับแรงเซรามิก SiC มอบประสิทธิภาพที่เหนือชั้นในห้องสุญญากาศ ห้องคลีนรูม และสภาพแวดล้อมการประมวลผลที่รุนแรง ทำให้อุปกรณ์ปลายรับแรงเซรามิกเป็นส่วนสำคัญของหุ่นยนต์จัดการเวเฟอร์รุ่นใหม่ ด้วยความต้องการที่เพิ่มขึ้นสำหรับการผลิตที่ปราศจากการปนเปื้อนและค่าความคลาดเคลื่อนที่เข้มงวดขึ้นในการผลิตชิป การใช้อุปกรณ์ปลายรับแรงเซรามิกจึงกำลังกลายเป็นมาตรฐานอุตสาหกรรมอย่างรวดเร็ว

หลักการผลิต

การประดิษฐ์ของเอฟเฟกเตอร์ปลายเซรามิก SiCเกี่ยวข้องกับกระบวนการที่มีความแม่นยำสูงและความบริสุทธิ์สูงหลายชุด ซึ่งรับประกันทั้งประสิทธิภาพและความทนทาน โดยทั่วไปจะใช้สองกระบวนการหลัก ได้แก่

ซิลิกอนคาร์ไบด์ที่ยึดด้วยปฏิกิริยา (RB-SiC)

ในกระบวนการนี้ พรีฟอร์มที่ทำจากผงซิลิคอนคาร์ไบด์และสารยึดเกาะจะถูกแทรกซึมด้วยซิลิคอนหลอมเหลวที่อุณหภูมิสูง (~1500°C) ซึ่งจะทำปฏิกิริยากับคาร์บอนที่เหลือเพื่อสร้างคอมโพสิต SiC-Si ที่มีความหนาแน่นและแข็ง วิธีการนี้ให้การควบคุมมิติที่ดีเยี่ยมและคุ้มค่าสำหรับการผลิตขนาดใหญ่

ซิลิกอนคาร์ไบด์เผาแบบไร้แรงดัน (SSiC)

SSiC ผลิตขึ้นโดยการเผาผง SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูงและมีความละเอียดเป็นพิเศษที่อุณหภูมิสูงมาก (>2000°C) โดยไม่ใช้สารเติมแต่งหรือเฟสยึดเกาะ ส่งผลให้ผลิตภัณฑ์มีความหนาแน่นเกือบ 100% และมีคุณสมบัติเชิงกลและความร้อนสูงสุดในบรรดาวัสดุ SiC เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการใช้งานกับแผ่นเวเฟอร์ที่มีความสำคัญอย่างยิ่งยวด

การประมวลผลหลังการประมวลผล

เครื่องจักรกลซีเอ็นซีที่มีความแม่นยำ:บรรลุถึงความเรียบและความขนานสูง
การตกแต่งพื้นผิว:การขัดเพชรช่วยลดความหยาบของพื้นผิวเหลือ <0.02 µm
การตรวจสอบ:มีการใช้การรบกวนด้วยแสง CMM และการทดสอบแบบไม่ทำลายเพื่อตรวจสอบชิ้นงานแต่ละชิ้น

ขั้นตอนเหล่านี้รับประกันว่าเอฟเฟกเตอร์ปลาย SiCมอบความแม่นยำในการวางเวเฟอร์ที่สม่ำเสมอ ความเป็นระนาบที่ยอดเยี่ยม และการเกิดอนุภาคที่น้อยที่สุด

คุณสมบัติหลักและประโยชน์

คุณสมบัติ	คำอธิบาย
ความแข็งสูงพิเศษ	ความแข็งแบบวิคเกอร์ > 2500 HV ทนทานต่อการสึกหรอและการแตกกระเทาะ
การขยายตัวทางความร้อนต่ำ	CTE ~4.5×10⁻⁶/K ช่วยให้มีเสถียรภาพมิติในการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิ
ความเฉื่อยทางเคมี	ทนทานต่อ HF, HCl, ก๊าซพลาสมา และสารกัดกร่อนอื่นๆ
ทนทานต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิได้ดีเยี่ยม	เหมาะสำหรับการทำความร้อน/ทำความเย็นอย่างรวดเร็วในระบบสูญญากาศและเตาเผา
ความแข็งแกร่งและความแข็งแกร่งสูง	รองรับแขนส้อมยื่นยาวโดยไม่เกิดการโก่งตัว
การปล่อยก๊าซต่ำ	เหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมสูญญากาศที่สูงมาก (UHV)
พร้อมใช้งานห้องคลีนรูม ISO Class 1	การทำงานแบบปราศจากอนุภาคช่วยให้เวเฟอร์มีความสมบูรณ์

แอปพลิเคชัน

แขนส้อมเซรามิก SiC / ปลายเอฟเฟกเตอร์ ถูกนำไปใช้อย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมที่ต้องการความแม่นยำสูง ความสะอาด และความทนทานต่อสารเคมี สถานการณ์การใช้งานที่สำคัญ ได้แก่:

การผลิตเซมิคอนดักเตอร์

การโหลด/ขนถ่ายเวเฟอร์ในระบบการสะสม (CVD, PVD), การกัด (RIE, DRIE) และการทำความสะอาด
การขนส่งเวเฟอร์แบบหุ่นยนต์ระหว่าง FOUP, ตลับเทป และเครื่องมือกระบวนการ
การจัดการที่อุณหภูมิสูงในระหว่างการประมวลผลความร้อนหรือการอบอ่อน

การผลิตเซลล์แสงอาทิตย์

การขนส่งเวเฟอร์ซิลิกอนที่เปราะบางหรือสารตั้งต้นของโซลาร์เซลล์อย่างละเอียดอ่อนในสายการผลิตอัตโนมัติ

อุตสาหกรรมจอแสดงผลแบบแผงแบน (FPD)

การเคลื่อนย้ายแผงกระจกขนาดใหญ่หรือวัสดุพิมพ์ในสภาพแวดล้อมการผลิต OLED/LCD

สารกึ่งตัวนำผสม / MEMS

ใช้ในสายการผลิต GaN, SiC และ MEMS ที่การควบคุมการปนเปื้อนและความแม่นยำในการวางตำแหน่งเป็นสิ่งสำคัญ

บทบาทของตัวกระตุ้นปลายน้ำนั้นมีความสำคัญอย่างยิ่งในการรับรองการจัดการที่ปราศจากข้อบกพร่องและเสถียรในระหว่างการดำเนินการที่ละเอียดอ่อน

ความสามารถในการปรับแต่ง

เราเสนอการปรับแต่งมากมายเพื่อให้ตรงตามข้อกำหนดด้านอุปกรณ์และกระบวนการที่หลากหลาย:

การออกแบบส้อม:เค้าโครงแบบสองขา หลายนิ้ว หรือแบบแยกระดับ
ความเข้ากันได้ของขนาดเวเฟอร์:เวเฟอร์ขนาดตั้งแต่ 2” ถึง 12”
อินเทอร์เฟซการติดตั้ง: เข้ากันได้กับแขนหุ่นยนต์ OEM
ความหนาและความคลาดเคลื่อนของพื้นผิว:มีให้เลือกทั้งความเรียบระดับไมครอนและการปัดขอบ
คุณสมบัติป้องกันการลื่น:พื้นผิวหรือการเคลือบเสริมสำหรับการยึดเวเฟอร์อย่างแน่นหนา

แต่ละปลายเอฟเฟกเตอร์เซรามิกได้รับการออกแบบร่วมกับลูกค้าเพื่อให้มั่นใจถึงการติดตั้งที่แม่นยำโดยมีการเปลี่ยนแปลงเครื่องมือให้น้อยที่สุด

คำถามที่พบบ่อย (FAQ)

คำถามที่ 1: SiC ดีกว่าควอตซ์อย่างไรสำหรับการใช้งานเอฟเฟกเตอร์ปลายน้ำ?
ก1:แม้ว่าควอตซ์จะเป็นที่นิยมใช้กันทั่วไปเนื่องจากความบริสุทธิ์ แต่ควอตซ์กลับขาดความเหนียวเชิงกลและมีแนวโน้มที่จะแตกหักภายใต้แรงกดหรืออุณหภูมิที่เปลี่ยนแปลงอย่างรวดเร็ว SiC มีความแข็งแรง ทนทานต่อการสึกหรอ และมีเสถียรภาพทางความร้อนที่เหนือกว่า จึงช่วยลดความเสี่ยงจากการหยุดทำงานและความเสียหายของแผ่นเวเฟอร์ได้อย่างมาก

คำถามที่ 2: แขนส้อมเซรามิกนี้เข้ากันได้กับเครื่องจัดการเวเฟอร์หุ่นยนต์ทั้งหมดหรือไม่
A2:ใช่ เอฟเฟกเตอร์ปลายเซรามิกของเราเข้ากันได้กับระบบการจัดการเวเฟอร์หลักๆ ส่วนใหญ่ และสามารถปรับให้เข้ากับโมเดลหุ่นยนต์เฉพาะของคุณได้ด้วยภาพวาดทางวิศวกรรมที่แม่นยำ

คำถามที่ 3: สามารถรองรับเวเฟอร์ขนาด 300 มม. โดยไม่บิดงอได้หรือไม่
A3:แน่นอน ความแข็งแกร่งสูงของ SiC ช่วยให้แขนส้อมที่บางและยาวสามารถยึดเวเฟอร์ขนาด 300 มม. ได้อย่างมั่นคง โดยไม่หย่อนหรือโก่งงอขณะเคลื่อนที่

ไตรมาสที่ 4: อายุการใช้งานโดยทั่วไปของตัวสิ้นสุดเอฟเฟกเตอร์เซรามิก SiC คือเท่าใด
ก4:หากใช้ถูกวิธี เอฟเฟกเตอร์ปลาย SiC จะมีอายุการใช้งานยาวนานกว่ารุ่นควอตซ์หรืออะลูมิเนียมแบบดั้งเดิมถึง 5 ถึง 10 เท่า เนื่องจากมีความทนทานต่อความเครียดทางความร้อนและทางกลได้ดีเยี่ยม

คำถามที่ 5: คุณมีบริการเปลี่ยนทดแทนหรือสร้างต้นแบบอย่างรวดเร็วหรือไม่?
A5:ใช่ เรารองรับการผลิตตัวอย่างอย่างรวดเร็วและเสนอบริการทดแทนตามรูปวาด CAD หรือชิ้นส่วนที่ผ่านการวิศวกรรมย้อนกลับจากอุปกรณ์ที่มีอยู่

เกี่ยวกับเรา

XKH เชี่ยวชาญด้านการพัฒนา การผลิต และการจำหน่ายกระจกออปติคอลชนิดพิเศษและวัสดุคริสตัลชนิดใหม่ด้วยเทคโนโลยีขั้นสูง ผลิตภัณฑ์ของเราครอบคลุมอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ออปติคอล อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์สำหรับผู้บริโภค และกองทัพ เราจำหน่ายชิ้นส่วนออปติคอลแซฟไฟร์ ฝาครอบเลนส์โทรศัพท์มือถือ เซรามิกส์ ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SIC) ควอตซ์ และเวเฟอร์คริสตัลเซมิคอนดักเตอร์ ด้วยความเชี่ยวชาญและอุปกรณ์ที่ทันสมัย เรามีความเชี่ยวชาญในกระบวนการผลิตผลิตภัณฑ์ที่ไม่ได้มาตรฐาน โดยมุ่งมั่นที่จะเป็นองค์กรเทคโนโลยีขั้นสูงชั้นนำด้านวัสดุออปติคอลอิเล็กทรอนิกส์