ใบพายคานยื่นซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC Cantilever Paddle)

มีเสถียรภาพสูงในอุณหภูมิสูง

• ใช้งานได้อย่างน่าเชื่อถือที่อุณหภูมิ 1000–1300℃ โดยไม่เสียรูปทรง

• อุณหภูมิใช้งานสูงสุดถึง 1380℃

ความสามารถในการรับน้ำหนักสูง

• มีความแข็งแรงในการดัดงอสูงถึง 250–280 MPa ซึ่งสูงกว่าใบพายควอตซ์มาก

• สามารถรองรับแผ่นเวเฟอร์ขนาดใหญ่ (300 มม. ขึ้นไป)

อายุการใช้งานยาวนานและบำรุงรักษาน้อย

• ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำ (4.5 × 10⁻⁶ K⁻¹) เหมาะสมอย่างยิ่งกับวัสดุเคลือบ LPCVD

• ช่วยลดรอยแตกร้าวและการลอกล่อนที่เกิดจากความเครียด ส่งผลให้ยืดอายุการใช้งานและระยะเวลาในการทำความสะอาดและบำรุงรักษาได้อย่างมีนัยสำคัญ

ความต้านทานการกัดกร่อนและความบริสุทธิ์

• ทนทานต่อกรดและด่างได้ดีเยี่ยม

• โครงสร้างจุลภาคหนาแน่น มีรูพรุนเปิดน้อยกว่า 0.1% ช่วยลดการเกิดอนุภาคและการปล่อยสิ่งเจือปนให้น้อยที่สุด

การออกแบบที่เข้ากันได้กับระบบอัตโนมัติ

• รูปทรงหน้าตัดที่เสถียรพร้อมความแม่นยำเชิงมิติสูง

• ผสานรวมเข้ากับระบบโหลดและขนถ่ายเวเฟอร์แบบหุ่นยนต์ได้อย่างราบรื่น ช่วยให้การผลิตเป็นไปโดยอัตโนมัติอย่างสมบูรณ์