หัวจับชิ้นงานเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ (แบบแขนง/แบบมือ)

เดอะหัวจับเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ผลิตขึ้นโดยใช้กระบวนการผลิตเซรามิกเฉพาะทางที่รับประกันความบริสุทธิ์สูง ความหนาแน่นสูง และความน่าเชื่อถือในระยะยาว ตลอดกระบวนการผลิต มีการควบคุมคุณภาพอย่างเข้มงวดเพื่อให้มั่นใจว่าแต่ละชิ้นมีคุณภาพหัวจับเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ตรงตามข้อกำหนดที่เข้มงวดของระบบอัตโนมัติระดับเซมิคอนดักเตอร์

1. การเตรียมวัสดุ

กระบวนการผลิตเริ่มต้นด้วยการคัดเลือกผง SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูง ผงเหล่านี้เป็นตัวกำหนดความแข็งแรงเชิงกลและความบริสุทธิ์ของผลิตภัณฑ์หัวจับเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์มีการผสมสารยึดเกาะพิเศษและสารเติมแต่งการเผาผนึกเพื่อให้ได้การจัดเรียงอนุภาคที่เหมาะสมและส่งเสริมการอัดแน่นอย่างสม่ำเสมอ

2. การขึ้นรูปและการเตรียมการขึ้นรูป

ตัวถังสีเขียวของหัวจับเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ขึ้นรูปโดยใช้การอัดแบบไอโซสแตติกหรือการฉีดขึ้นรูปเซรามิก ซึ่งช่วยให้โครงสร้างมีความสมดุลของแรงเค้นและมีข้อบกพร่องภายในน้อยที่สุด รูปทรงแบบง่ามจะถูกขึ้นรูปในขั้นตอนนี้เพื่อให้เข้ากับเส้นผ่านศูนย์กลางของเวเฟอร์และส่วนต่อประสานการติดตั้งของหุ่นยนต์

3. การเผาผนึกที่อุณหภูมิสูง

ชิ้นส่วนที่ขึ้นรูปแล้วจะถูกเผาผนึกที่อุณหภูมิสูงกว่า 2000°C ในสภาวะสุญญากาศหรือบรรยากาศเฉื่อย ในขั้นตอนนี้นั้นหัวจับเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์มีความหนาแน่นใกล้เคียงกับค่าทางทฤษฎี ส่งผลให้มีความแข็งที่ดีเยี่ยม ทนต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างฉับพลัน และมีเสถียรภาพทางเคมี ขั้นตอนนี้เป็นตัวกำหนดความแข็งแรงเชิงกลของชิ้นส่วน

4. การตัดเฉือนด้วยเครื่องจักร CNC ที่มีความแม่นยำสูง

หลังจากผ่านกระบวนการเผาผนึกแล้ว การเจียรด้วยเพชรและการตัดเฉือนด้วยเครื่อง CNC หลายแกนจะช่วยปรับแต่งรูปทรงเรขาคณิตของชิ้นงานหัวจับเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์คุณสมบัติที่สำคัญ เช่น พื้นผิวสัมผัสของเวเฟอร์ รูยึด ร่องจัดแนว และระยะห่างของส้อม จะถูกกลึงให้มีความคลาดเคลื่อนที่แม่นยำถึง ±0.01 มม.

5. การตกแต่งพื้นผิวและการทำความสะอาด

สุดท้ายนี้หัวจับเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ผ่านกระบวนการขัดเงาละเอียดพิเศษและการทำความสะอาดด้วยคลื่นอัลตราโซนิคที่มีความบริสุทธิ์สูง ขั้นตอนนี้ช่วยลดความหยาบของพื้นผิวและกำจัดอนุภาคขนาดเล็ก ทำให้สามารถใช้งานในห้องปลอดเชื้อได้ การเคลือบผิวด้วย CVD-SiC หรือชั้นเคลือบป้องกันพลาสมาเพิ่มเติมจะช่วยเพิ่มความทนทานได้มากยิ่งขึ้น

กระบวนการผลิตที่พิถีพิถันนี้รับประกันได้ว่าทุกชิ้นหัวจับเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ทำงานได้อย่างน่าเชื่อถือในสภาพแวดล้อมระบบอัตโนมัติที่มีความแม่นยำสูง