แขน/มือส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์
แผนภาพรายละเอียด


การแนะนำแขน/มือส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์
การแขน/มือส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์เป็นส่วนประกอบการจัดการขั้นสูงที่พัฒนาขึ้นสำหรับระบบอัตโนมัติความแม่นยำสูง โดยเฉพาะอย่างยิ่งในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และออปติคัล ส่วนประกอบนี้มีการออกแบบรูปตัว U ที่โดดเด่น เหมาะสำหรับการจัดการเวเฟอร์ ช่วยให้มั่นใจได้ถึงความแข็งแรงเชิงกลและความแม่นยำเชิงขนาดภายใต้สภาวะแวดล้อมที่รุนแรง ผลิตจากเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ความบริสุทธิ์สูงแขน/มือส้อมมอบความแข็งแกร่ง ความเสถียรทางความร้อน และความทนทานต่อสารเคมีที่เหนือชั้น
เมื่ออุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์พัฒนาไปสู่รูปทรงที่ละเอียดขึ้นและความคลาดเคลื่อนที่แคบลง ความต้องการส่วนประกอบที่ปราศจากการปนเปื้อนและมีเสถียรภาพทางความร้อนจึงกลายเป็นสิ่งสำคัญแขน/มือส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ตอบโจทย์ความท้าทายนี้ด้วยการสร้างอนุภาคต่ำ พื้นผิวเรียบเป็นพิเศษ และโครงสร้างที่แข็งแรงทนทาน ไม่ว่าจะเป็นการขนส่งเวเฟอร์ การวางตำแหน่งพื้นผิว หรือหัวเครื่องมือหุ่นยนต์ ส่วนประกอบนี้ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมเพื่อความน่าเชื่อถือและอายุการใช้งานที่ยาวนาน
เหตุผลสำคัญในการเลือกสิ่งนี้แขน/มือส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์รวม:
-
การขยายตัวทางความร้อนขั้นต่ำเพื่อความแม่นยำของมิติ
-
ความแข็งสูงเพื่ออายุการใช้งานยาวนาน
-
ทนทานต่อกรด ด่าง และก๊าซที่มีปฏิกิริยา
-
ความเข้ากันได้กับสภาพแวดล้อมห้องคลีนรูม ISO Class 1


หลักการผลิตแขน/มือส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์
การแขน/มือส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ผลิตโดยผ่านเวิร์กโฟลว์การประมวลผลเซรามิกที่มีการควบคุมอย่างเข้มงวด ซึ่งออกแบบมาเพื่อให้แน่ใจถึงคุณสมบัติของวัสดุที่เหนือกว่าและความสม่ำเสมอของมิติ
1. การเตรียมผง
กระบวนการเริ่มต้นด้วยการคัดเลือกผงซิลิคอนคาร์ไบด์ละเอียดพิเศษ ผงเหล่านี้จะถูกผสมกับสารยึดเกาะและสารช่วยเผาผนึกเพื่ออำนวยความสะดวกในการอัดและการทำให้มีความหนาแน่นมากขึ้น สำหรับสิ่งนี้แขน/มือส้อมผง β-SiC หรือ α-SiC ถูกนำมาใช้เพื่อให้แน่ใจว่ามีความแข็งและความเหนียว
2. การขึ้นรูปและการแสดง
ขึ้นอยู่กับความซับซ้อนของแขน/มือส้อมการออกแบบ ชิ้นส่วนจะถูกขึ้นรูปโดยใช้การกดแบบไอโซสแตติก การฉีดขึ้นรูป หรือการหล่อแบบสลิป ซึ่งทำให้สามารถสร้างรูปทรงเรขาคณิตที่ซับซ้อนและโครงสร้างผนังบาง ซึ่งเป็นสิ่งสำคัญสำหรับลักษณะน้ำหนักเบาของแขน/มือส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์.
3. การเผาผนึกที่อุณหภูมิสูง
การเผาผนึกจะดำเนินการที่อุณหภูมิสูงกว่า 2,000°C ในบรรยากาศสุญญากาศหรืออาร์กอน ขั้นตอนนี้จะเปลี่ยนวัตถุสีเขียวให้เป็นชิ้นส่วนเซรามิกที่มีความหนาแน่นเต็มที่ การเผาผนึกแขน/มือส้อมบรรลุความหนาแน่นใกล้เคียงกับเชิงทฤษฎี จึงมีคุณสมบัติทางกลและความร้อนที่โดดเด่น
4. การกลึงที่มีความแม่นยำ
หลังการเผาผนึกแขน/มือส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ผ่านการเจียรด้วยเพชรและเครื่องจักร CNC เพื่อให้ได้ความเรียบที่ ±0.01 มม. และสามารถติดตั้งรูยึดและระบุตำแหน่งสำคัญๆ ที่จำเป็นต่อการติดตั้งในระบบอัตโนมัติได้
5. การตกแต่งพื้นผิว
การขัดเงาช่วยลดความหยาบของพื้นผิว (Ra < 0.02 μm) ซึ่งจำเป็นต่อการลดการเกิดอนุภาค การเคลือบ CVD เสริมสามารถนำไปใช้เพื่อเพิ่มความต้านทานต่อพลาสมาหรือเพิ่มฟังก์ชันการใช้งาน เช่น คุณสมบัติป้องกันไฟฟ้าสถิต
ตลอดกระบวนการนี้ มีการใช้โปรโตคอลการควบคุมคุณภาพเพื่อรับประกันแขน/มือส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ดำเนินการได้อย่างน่าเชื่อถือในแอปพลิเคชันที่ละเอียดอ่อนที่สุด
พารามิเตอร์ของแขน/มือส้อมเซรามิกซิลิกอนคาร์ไบด์
ข้อมูลจำเพาะหลักของการเคลือบ CVD-SIC | ||
คุณสมบัติของ SiC-CVD | ||
โครงสร้างผลึก | เฟส FCC β | |
ความหนาแน่น | กรัม/ซม.³ | 3.21 |
ความแข็ง | ความแข็งวิกเกอร์ส | 2500 |
ขนาดเมล็ดพืช | ไมโครเมตร | 2~10 |
ความบริสุทธิ์ทางเคมี | % | 99.99995 |
ความจุความร้อน | เจ·กก-1 ·เค-1 | 640 |
อุณหภูมิการระเหิด | ℃ | 2700 |
ความแข็งแรงของฟีเลกซูรัล | MPa (RT 4 จุด) | 415 |
โมดูลัสของยัง | Gpa (โค้ง 4pt, 1300℃) | 430 |
การขยายตัวทางความร้อน (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
การนำความร้อน | (วัตต์/ม.เคลวิน) | 300 |
การใช้งานของแขน/มือส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์
การแขน/มือส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ถูกใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมต่างๆ ที่จำเป็นต้องมีความบริสุทธิ์สูง ความเสถียร และความแม่นยำเชิงกลสูง ซึ่งรวมถึง:
1. การผลิตเซมิคอนดักเตอร์
ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์แขน/มือส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ใช้ในการขนส่งเวเฟอร์ซิลิคอนภายในเครื่องมือกระบวนการต่างๆ เช่น ห้องกัดกรด ระบบสะสม และอุปกรณ์ตรวจสอบ ความทนทานต่อความร้อนและความแม่นยำของขนาดทำให้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการลดการเรียงตัวและการปนเปื้อนของเวเฟอร์
2. การผลิตแผงจอแสดงผล
ในการผลิตจอแสดงผล OLED และ LCDแขน/มือส้อมนำไปใช้ในระบบหยิบและวาง (pick-and-place) ที่ต้องจัดการกับแผ่นกระจกที่เปราะบาง มวลที่เบาและความแข็งสูงช่วยให้เคลื่อนที่ได้อย่างรวดเร็วและมั่นคง โดยไม่เกิดการสั่นสะเทือนหรือการโก่งงอ
3. ระบบออปติคอลและโฟโตนิกส์
สำหรับการจัดตำแหน่งและการวางตำแหน่งของเลนส์ กระจก หรือชิปโฟตอนิกส์แขน/มือส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์รองรับการปราศจากการสั่นสะเทือน ซึ่งมีความสำคัญอย่างยิ่งในการประมวลผลด้วยเลเซอร์และการใช้งานการวัดที่แม่นยำ
4. ระบบการบินและอวกาศและสุญญากาศ
ในระบบออปติกของอวกาศและเครื่องมือสุญญากาศ โครงสร้างที่ทนทานต่อการกัดกร่อนและไม่เป็นแม่เหล็กของส่วนประกอบนี้ช่วยให้มั่นใจถึงเสถียรภาพในระยะยาวแขน/มือส้อมสามารถทำงานในสภาวะสุญญากาศสูงพิเศษ (UHV) ได้โดยไม่เกิดการระบายก๊าซ
ในทุกสาขาเหล่านี้แขน/มือส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์เหนือกว่าทางเลือกโลหะหรือโพลีเมอร์แบบดั้งเดิมในด้านความน่าเชื่อถือ ความสะอาด และอายุการใช้งาน

คำถามที่พบบ่อยเกี่ยวกับแขน/มือส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์
คำถามที่ 1: ขนาดเวเฟอร์ใดบ้างที่แขน/มือส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์รองรับ?
การแขน/มือส้อมสามารถปรับแต่งเพื่อรองรับเวเฟอร์ขนาด 150 มม., 200 มม. และ 300 มม. สามารถปรับระยะช่วงของส้อม ความกว้างของแขน และรูปแบบรูให้เหมาะกับแพลตฟอร์มอัตโนมัติเฉพาะของคุณได้
คำถามที่ 2: แขน/มือส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์เข้ากันได้กับระบบสูญญากาศหรือไม่
ใช่ครับแขน/มือส้อมเหมาะสำหรับทั้งระบบสุญญากาศต่ำและระบบสุญญากาศสูงพิเศษ อัตราการระบายก๊าซต่ำและไม่ปล่อยอนุภาค จึงเหมาะอย่างยิ่งสำหรับห้องคลีนรูมและสภาพแวดล้อมสุญญากาศ
คำถามที่ 3: ฉันสามารถเพิ่มการเคลือบหรือปรับเปลี่ยนพื้นผิวให้กับแขน/มือโช้คได้หรือไม่
แน่นอนครับแขน/มือส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์สามารถเคลือบด้วยชั้น CVD-SiC คาร์บอน หรือออกไซด์ เพื่อเพิ่มความต้านทานพลาสมา คุณสมบัติป้องกันไฟฟ้าสถิต หรือความแข็งของพื้นผิว
ไตรมาสที่ 4: คุณภาพของแขน/มือโช้คได้รับการตรวจสอบอย่างไร?
แต่ละแขน/มือส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ผ่านการตรวจสอบมิติโดยใช้ CMM และเครื่องมือวัดด้วยเลเซอร์ ประเมินคุณภาพพื้นผิวด้วย SEM และโพรไฟล์โลเมทรีแบบไม่สัมผัส เพื่อให้เป็นไปตามมาตรฐาน ISO และ SEMI
คำถามที่ 5: ระยะเวลาดำเนินการสำหรับคำสั่งซื้อแขนส้อม/มือที่กำหนดเองคือเมื่อใด
โดยทั่วไประยะเวลาดำเนินการจะอยู่ระหว่าง 3 ถึง 5 สัปดาห์ ขึ้นอยู่กับความซับซ้อนและปริมาณ สำหรับงานเร่งด่วน เรามีบริการสร้างต้นแบบอย่างรวดเร็ว
คำถามที่พบบ่อยเหล่านี้มีจุดมุ่งหมายเพื่อช่วยให้วิศวกรและทีมจัดซื้อเข้าใจความสามารถและตัวเลือกที่มีอยู่เมื่อเลือกแขน/มือส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์.
เกี่ยวกับเรา
XKH เชี่ยวชาญด้านการพัฒนา การผลิต และการจำหน่ายกระจกออปติคอลชนิดพิเศษและวัสดุคริสตัลชนิดใหม่ด้วยเทคโนโลยีขั้นสูง ผลิตภัณฑ์ของเราครอบคลุมอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ออปติคอล อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์สำหรับผู้บริโภค และกองทัพ เราจำหน่ายชิ้นส่วนออปติคอลแซฟไฟร์ ฝาครอบเลนส์โทรศัพท์มือถือ เซรามิกส์ ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SIC) ควอตซ์ และเวเฟอร์คริสตัลเซมิคอนดักเตอร์ ด้วยความเชี่ยวชาญและอุปกรณ์ที่ทันสมัย เรามีความเชี่ยวชาญด้านการประมวลผลผลิตภัณฑ์ที่ไม่ได้มาตรฐาน โดยมุ่งมั่นที่จะเป็นองค์กรเทคโนโลยีขั้นสูงชั้นนำด้านวัสดุออปติคอลอิเล็กทรอนิกส์
