ถาดเซรามิกซิลิกอนคาร์ไบด์ – ถาดที่ทนทานและประสิทธิภาพสูงสำหรับการใช้งานด้านความร้อนและสารเคมี

การผลิตถาดเซรามิก SiC เกี่ยวข้องกับวิศวกรรมความแม่นยำและเทคโนโลยีการเผาผนึกขั้นสูง เพื่อให้มั่นใจถึงความหนาแน่นสูง โครงสร้างจุลภาคที่สม่ำเสมอ และประสิทธิภาพการทำงานที่สม่ำเสมอ ขั้นตอนทั่วไปประกอบด้วย:

1. การคัดเลือกวัตถุดิบ
   เลือกใช้ผงซิลิกอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูง (≥99%) โดยมักจะมีการควบคุมขนาดอนุภาคที่เฉพาะเจาะจงและสิ่งเจือปนให้น้อยที่สุดเพื่อรับประกันคุณสมบัติเชิงกลและความร้อนสูง

2. วิธีการขึ้นรูป
   เทคนิคการขึ้นรูปที่แตกต่างกันจะถูกนำมาใช้ขึ้นอยู่กับคุณสมบัติของถาด:

   • การอัดแบบไอโซสแตติกเย็น (CIP) สำหรับการอัดแน่นที่มีความหนาแน่นสูงและสม่ำเสมอ

   • การอัดรีดหรือการหล่อแบบสลิปสำหรับรูปทรงที่ซับซ้อน

   • การฉีดขึ้นรูปเพื่อให้ได้รูปทรงที่แม่นยำและมีรายละเอียด

3. เทคนิคการเผาผนึก
   วัตถุสีเขียวจะถูกเผาที่อุณหภูมิสูงมาก โดยทั่วไปจะอยู่ที่ประมาณ 2,000°C ภายใต้บรรยากาศเฉื่อยหรือสุญญากาศ วิธีการเผาที่นิยมใช้กัน ได้แก่:

   • SiC ที่ถูกพันธะปฏิกิริยา (RB-SiC)

   • SiC เผาแบบไร้แรงดัน (SSiC)

   • SiC ที่ตกผลึกใหม่ (RBSiC)
     แต่ละวิธีส่งผลให้คุณสมบัติของวัสดุแตกต่างกันเล็กน้อย เช่น ความพรุน ความแข็งแรง และการนำความร้อน

4. การกลึงที่มีความแม่นยำ
   หลังจากการเผาผนึก ถาดจะถูกกลึงเพื่อให้ได้ความคลาดเคลื่อนเชิงมิติที่แคบ ผิวสำเร็จที่เรียบเนียน และความเรียบ การเคลือบพื้นผิว เช่น การขัด การเจียร และการขัดเงา สามารถนำไปใช้ตามความต้องการของลูกค้า