ถาดเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ – ถาดทนทานประสิทธิภาพสูงสำหรับงานด้านความร้อนและเคมี

การผลิตถาดเซรามิก SiC เกี่ยวข้องกับวิศวกรรมที่มีความแม่นยำสูงและเทคโนโลยีการเผาผนึกขั้นสูง เพื่อให้ได้ความหนาแน่นสูง โครงสร้างจุลภาคที่สม่ำเสมอ และประสิทธิภาพที่คงที่ ขั้นตอนโดยทั่วไปประกอบด้วย:

1. การคัดเลือกวัตถุดิบ
   ผงซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูง (≥99%) จะถูกเลือกใช้ โดยมักมีการควบคุมขนาดอนุภาคอย่างเฉพาะเจาะจงและมีสิ่งเจือปนน้อยที่สุด เพื่อรับประกันคุณสมบัติทางกลและความร้อนที่สูง

2. วิธีการขึ้นรูป
   เทคนิคการขึ้นรูปที่ใช้จะแตกต่างกันไป ขึ้นอยู่กับข้อกำหนดของถาด:

   • การอัดขึ้นรูปด้วยแรงดันไอโซสแตติกเย็น (CIP) เพื่อให้ได้ชิ้นงานอัดแน่นที่มีความหนาแน่นสูงและสม่ำเสมอ

   • การอัดรีดหรือการหล่อแบบลื่นสำหรับรูปทรงที่ซับซ้อน

   • การฉีดขึ้นรูปเพื่อรูปทรงเรขาคณิตที่แม่นยำและละเอียด

3. เทคนิคการเผาผนึก
   ชิ้นงานดิบจะถูกเผาผนึกที่อุณหภูมิสูงมาก โดยทั่วไปอยู่ในช่วง 2000°C ภายใต้บรรยากาศเฉื่อยหรือสุญญากาศ วิธีการเผาผนึกที่ใช้กันทั่วไป ได้แก่:

   • ซิลิกอนที่เชื่อมด้วยปฏิกิริยา (RB-SiC)

   • ซิลิกอนคาร์ไบด์เผาผนึกแบบไร้แรงดัน (SSiC)

   • ซิลิกอนคาร์ไบด์ที่ตกผลึกใหม่ (RBSiC)
     แต่ละวิธีส่งผลให้คุณสมบัติของวัสดุแตกต่างกันเล็กน้อย เช่น ความพรุน ความแข็งแรง และการนำความร้อน

4. การตัดเฉือนที่แม่นยำ
   หลังจากผ่านกระบวนการเผาผนึกแล้ว ถาดจะถูกกลึงเพื่อควบคุมขนาดให้แม่นยำ ผิวเรียบ และได้ระดับ การตกแต่งผิวเพิ่มเติม เช่น การขัด การเจียร และการขัดเงา สามารถทำได้ตามความต้องการของลูกค้า