แขน/มือจับยกทำจากเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) สำหรับระบบการขนย้ายที่สำคัญ

คำอธิบายโดยย่อ:

เดอะส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์/ด้ามจับเป็นส่วนประกอบล้ำสมัยที่พัฒนาขึ้นสำหรับระบบอัตโนมัติทางอุตสาหกรรมขั้นสูง กระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ และสภาพแวดล้อมที่สะอาดเป็นพิเศษ โครงสร้างรูปทรงง่ามที่เป็นเอกลักษณ์และพื้นผิวเซรามิกที่เรียบเป็นพิเศษทำให้เหมาะสำหรับการจัดการวัสดุที่บอบบาง รวมถึงแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน แผ่นกระจก และอุปกรณ์ทางแสง ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมอย่างแม่นยำและผลิตจากซิลิคอนคาร์ไบด์บริสุทธิ์เป็นพิเศษส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์/ด้ามจับนำเสนอความแข็งแกร่งเชิงกล ความน่าเชื่อถือทางความร้อน และการควบคุมการปนเปื้อนที่เหนือกว่าใคร


คุณสมบัติ

แผนภาพโดยละเอียด

แนะนำก้าน/ด้ามจับส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์

เดอะส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์/ด้ามจับเป็นส่วนประกอบล้ำสมัยที่พัฒนาขึ้นสำหรับระบบอัตโนมัติทางอุตสาหกรรมขั้นสูง กระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ และสภาพแวดล้อมที่สะอาดเป็นพิเศษ โครงสร้างรูปทรงง่ามที่เป็นเอกลักษณ์และพื้นผิวเซรามิกที่เรียบเป็นพิเศษทำให้เหมาะสำหรับการจัดการวัสดุที่บอบบาง รวมถึงแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน แผ่นกระจก และอุปกรณ์ทางแสง ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมอย่างแม่นยำและผลิตจากซิลิคอนคาร์ไบด์บริสุทธิ์เป็นพิเศษส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์/ด้ามจับนำเสนอความแข็งแกร่งเชิงกล ความน่าเชื่อถือทางความร้อน และการควบคุมการปนเปื้อนที่เหนือกว่าใคร

แตกต่างจากแขนโลหะหรือพลาสติกทั่วไปส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์/ด้ามจับให้ประสิทธิภาพการทำงานที่เสถียรในสภาวะอุณหภูมิ สารเคมี และสุญญากาศที่รุนแรง ไม่ว่าจะใช้งานในห้องคลีนรูมระดับ 1 หรือภายในห้องพลาสมาสุญญากาศสูง ชิ้นส่วนนี้รับประกันการขนส่งชิ้นส่วนที่มีค่าได้อย่างปลอดภัย มีประสิทธิภาพ และปราศจากสิ่งตกค้าง

ด้วยโครงสร้างที่ออกแบบมาสำหรับแขนหุ่นยนต์ เครื่องจัดการแผ่นเวเฟอร์ และเครื่องมือถ่ายโอนอัตโนมัติส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์/ด้ามจับนับเป็นการอัปเกรดที่ชาญฉลาดสำหรับระบบที่มีความแม่นยำสูงทุกระบบ

sic fork hand3
sic fork hand5

กระบวนการผลิตก้าน/ด้ามจับส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์

การสร้างผลิตภัณฑ์ที่มีประสิทธิภาพสูงส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์/ด้ามจับเกี่ยวข้องกับกระบวนการทำงานด้านวิศวกรรมเซรามิกที่มีการควบคุมอย่างเข้มงวด เพื่อให้มั่นใจได้ถึงความสามารถในการทำซ้ำ ความน่าเชื่อถือ และอัตราข้อบกพร่องที่ต่ำมาก

1. วิศวกรรมวัสดุ

ในการผลิตนั้นใช้เฉพาะผงซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงมากเท่านั้นส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์/ด้ามจับเพื่อให้มั่นใจได้ว่ามีการปนเปื้อนของไอออนต่ำและมีความแข็งแรงสูง ผงเหล่านี้ได้รับการผสมอย่างแม่นยำกับสารเติมแต่งสำหรับการเผาผนึกและสารยึดเกาะเพื่อให้ได้ความหนาแน่นที่เหมาะสมที่สุด

2. การสร้างโครงสร้างพื้นฐาน

เรขาคณิตพื้นฐานของแขน/มือของส้อมผลิตโดยใช้กระบวนการอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติกเย็นหรือการฉีดขึ้นรูป ซึ่งช่วยให้ได้ความหนาแน่นของวัสดุดิบสูงและการกระจายแรงเค้นที่สม่ำเสมอ รูปทรงตัว U ได้รับการปรับให้เหมาะสมที่สุดเพื่ออัตราส่วนความแข็งแรงต่อน้ำหนักและการตอบสนองแบบไดนามิก

3. กระบวนการเผาผนึก

ตัวถังสีเขียวของส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์/ด้ามจับโดยผ่านกระบวนการเผาผนึกในเตาเผาก๊าซเฉื่อยอุณหภูมิสูงกว่า 2000 องศาเซลเซียส ขั้นตอนนี้ช่วยให้ได้ความหนาแน่นใกล้เคียงกับค่าทางทฤษฎี ทำให้ได้ชิ้นส่วนที่ทนต่อการแตกร้าว การบิดเบี้ยว และการเบี่ยงเบนของขนาดภายใต้ภาระความร้อนในสภาพการใช้งานจริง

4. การเจียรและการกลึงที่แม่นยำ

ใช้เครื่องมือตัดเฉือนเพชร CNC ขั้นสูงในการขึ้นรูปชิ้นงานให้ได้ขนาดสุดท้ายส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์/ด้ามจับความคลาดเคลื่อนที่แคบ (±0.01 มม.) และพื้นผิวเรียบลื่นระดับกระจก ช่วยลดการหลุดร่วงของอนุภาคและความเครียดทางกล

5. การปรับสภาพและทำความสะอาดพื้นผิว

การตกแต่งพื้นผิวขั้นสุดท้ายประกอบด้วยการขัดเงาด้วยสารเคมีและการทำความสะอาดด้วยคลื่นอัลตราโซนิคเพื่อเตรียมพื้นผิวให้พร้อมแขน/มือของส้อมเพื่อการบูรณาการโดยตรงในระบบที่สะอาดเป็นพิเศษ นอกจากนี้ยังมีสารเคลือบเสริม (CVD-SiC, สารเคลือบป้องกันการสะท้อนแสง) ให้เลือกใช้

กระบวนการที่พิถีพิถันนี้รับประกันว่าแต่ละชิ้นส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์/ด้ามจับตรงตามมาตรฐานอุตสาหกรรมที่เข้มงวดที่สุด รวมถึงข้อกำหนดห้องปลอดเชื้อ SEMI และ ISO

พารามิเตอร์ของก้าน/มือส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์

รายการ เงื่อนไขการทดสอบ ข้อมูล หน่วย
ปริมาณซิลิคอนคาร์ไบด์ / >99.5 %
ขนาดเมล็ดโดยเฉลี่ย / 4-10 ไมครอน
ความหนาแน่น / >3.14 กรัม/ซม³
ความพรุนที่ปรากฏ / <0.5 ปริมาณร้อยละ
ความแข็งวิคเกอร์ส เอชวี0.5 2800 กก./มม.²
ค่าโมดูลัสการแตกหัก (3 คะแนน) ขนาดแท่งทดสอบ: 3 x 4 x 40 มม. 450 เมกะปาสคาล
ความแข็งแรงในการรับแรงอัด 20°C 3900 เมกะปาสคาล
โมดูลัสของความยืดหยุ่น 20°C 420 จีพีเอ
ความทนทานต่อการแตกหัก / 3.5 MPa/m1/2
การนำความร้อน 20°C 160 W/(mK)
ความต้านทานไฟฟ้า 20°C 106-108 โอห์มซม.
สัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน 20°C-800°C 4.3 K-110-6
อุณหภูมิใช้งานสูงสุด บรรยากาศออกไซด์ 1600 °C
อุณหภูมิใช้งานสูงสุด บรรยากาศเฉื่อย 1950 °C

การใช้งานของก้านส้อม/มือเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์

เดอะส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์/ด้ามจับได้รับการออกแบบมาเพื่อใช้ในงานที่มีความแม่นยำสูง ความเสี่ยงสูง และไวต่อการปนเปื้อน ช่วยให้สามารถจัดการ ขนส่ง หรือรองรับชิ้นส่วนที่สำคัญได้อย่างน่าเชื่อถือโดยไม่ลดทอนคุณภาพใดๆ

➤ อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

  • ใช้เป็นตัวยกแบบหุ่นยนต์ในสถานีถ่ายโอนเวเฟอร์ส่วนหน้าและสถานี FOUP

  • บูรณาการเข้ากับห้องสุญญากาศสำหรับกระบวนการกัดด้วยพลาสมาและกระบวนการ PVD/CVD

  • ทำหน้าที่เป็นแขนรองรับในเครื่องมือวัดและจัดตำแหน่งเวเฟอร์

เดอะส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์/ด้ามจับช่วยขจัดความเสี่ยงจากประจุไฟฟ้าสถิต (ESD) รองรับความแม่นยำทางมิติ และทนทานต่อการกัดกร่อนจากพลาสมา

➤ โฟโตนิกส์และทัศนศาสตร์

  • ช่วยรองรับเลนส์ที่บอบบาง ผลึกเลเซอร์ และเซ็นเซอร์ระหว่างการผลิตหรือการตรวจสอบ
    ความแข็งแกร่งสูงช่วยป้องกันการสั่นสะเทือน ในขณะที่ตัวเรือนเซรามิกช่วยต้านทานการปนเปื้อนของพื้นผิวทางแสง

➤ การผลิตจอแสดงผลและแผงควบคุม

  • สามารถจัดการกับกระจกบาง โมดูล OLED และแผ่นรองพื้น LCD ระหว่างการขนส่งหรือการตรวจสอบได้
    พื้นผิวเรียบและไม่ทำปฏิกิริยาทางเคมีส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์/ด้ามจับป้องกันรอยขีดข่วนหรือการกัดกร่อนจากสารเคมี

➤ การบินและอวกาศและเครื่องมือวิทยาศาสตร์

  • นำไปใช้ในการประกอบเลนส์ดาวเทียม หุ่นยนต์สุญญากาศ และการติดตั้งระบบลำแสงซินโครตรอน
    ทำงานได้อย่างไร้ที่ติในห้องปลอดฝุ่นระดับอวกาศและสภาพแวดล้อมที่มีความเสี่ยงต่อรังสี

ในแต่ละสาขาส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์/ด้ามจับช่วยเพิ่มประสิทธิภาพของระบบ ลดความเสียหายของชิ้นส่วน และลดเวลาหยุดทำงานให้น้อยที่สุด

18462c4d3a7015c8fc7d02202b40331b

คำถามที่พบบ่อย (FAQ) – คำถามที่พบบ่อยเกี่ยวกับก้าน/ด้ามจับส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์

คำถามที่ 1: อะไรทำให้ก้าน/ด้ามจับส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ดีกว่าแบบที่ทำจากโลหะ?

เดอะส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์/ด้ามจับมีคุณสมบัติเด่นคือมีความแข็งสูงกว่า ความหนาแน่นต่ำกว่า ทนต่อสารเคมีได้ดีกว่า และขยายตัวทางความร้อนน้อยกว่าโลหะอย่างเห็นได้ชัด นอกจากนี้ยังสามารถใช้ในห้องปลอดเชื้อได้ และปราศจากการกัดกร่อนหรือการเกิดอนุภาค

Q2: ฉันสามารถสั่งทำขนาดตามต้องการสำหรับแขน/ด้ามจับส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ได้หรือไม่?

ใช่แล้ว เราให้บริการปรับแต่งอย่างครบวงจร รวมถึงความกว้าง ความหนา รูยึด ช่องเจาะ และการตกแต่งพื้นผิว ไม่ว่าจะเป็นเวเฟอร์ขนาด 6 นิ้ว 8 นิ้ว หรือ 12 นิ้ว เราก็พร้อมให้บริการแขน/มือของส้อมสามารถปรับแต่งให้พอดีได้

Q3: แขน/ด้ามจับส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์มีอายุการใช้งานนานเท่าใดภายใต้พลาสมาหรือสุญญากาศ?

ด้วยคุณสมบัติของวัสดุ SiC ที่มีความหนาแน่นสูงและคุณสมบัติเฉื่อย ทำให้แขน/มือของส้อมยังคงใช้งานได้ดีแม้ผ่านกระบวนการทำงานหลายพันรอบ แสดงให้เห็นการสึกหรอเพียงเล็กน้อยภายใต้สภาวะความร้อนสูงจากพลาสมาหรือสุญญากาศ

Q4: ผลิตภัณฑ์นี้เหมาะสำหรับห้องปลอดเชื้อ ISO Class 1 หรือไม่?

แน่นอนส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์/ด้ามจับผลิตและบรรจุในโรงงานห้องปลอดเชื้อที่ได้รับการรับรอง โดยมีระดับอนุภาคต่ำกว่าข้อกำหนด ISO Class 1 อย่างมาก

Q5: อุณหภูมิใช้งานสูงสุดสำหรับแขน/มือจับส้อมนี้คือเท่าไร?

เดอะส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์/ด้ามจับสามารถทำงานได้อย่างต่อเนื่องที่อุณหภูมิสูงถึง 1500°C ทำให้เหมาะสำหรับการใช้งานโดยตรงในห้องกระบวนการอุณหภูมิสูงและระบบสุญญากาศความร้อน

คำถามที่พบบ่อยเหล่านี้สะท้อนถึงข้อกังวลทางเทคนิคที่พบบ่อยที่สุดจากวิศวกร ผู้จัดการห้องปฏิบัติการ และผู้รวมระบบที่ใช้งานส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์/ด้ามจับ.

เกี่ยวกับเรา

XKH เชี่ยวชาญด้านการพัฒนา การผลิต และการขายเทคโนโลยีขั้นสูงของกระจกออปติคอลพิเศษและวัสดุคริสตัลใหม่ ผลิตภัณฑ์ของเราให้บริการด้านอิเล็กทรอนิกส์เชิงแสง อิเล็กทรอนิกส์สำหรับผู้บริโภค และการทหาร เรานำเสนอชิ้นส่วนออปติคอลแซฟไฟร์ ฝาครอบเลนส์โทรศัพท์มือถือ เซรามิก LT ซิลิคอนคาร์ไบด์ SIC ควอตซ์ และแผ่นเวเฟอร์คริสตัลเซมิคอนดักเตอร์ ด้วยความเชี่ยวชาญและอุปกรณ์ที่ทันสมัย ​​เราโดดเด่นในการแปรรูปผลิตภัณฑ์ที่ไม่เป็นไปตามมาตรฐาน โดยมุ่งมั่นที่จะเป็นผู้นำด้านเทคโนโลยีขั้นสูงของวัสดุออปโตอิเล็กทรอนิกส์

14--ซิลิคอนคาร์ไบด์เคลือบบาง_494816

  • ก่อนหน้า:
  • ต่อไป:

  • เขียนข้อความของคุณที่นี่แล้วส่งมาให้เรา