แขน/มือส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ SiC สำหรับระบบการจัดการที่สำคัญ

การประดิษฐ์ประสิทธิภาพสูงแขน/มือส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์เกี่ยวข้องกับเวิร์กโฟลว์ทางวิศวกรรมเซรามิกที่มีการควบคุมอย่างเข้มงวดซึ่งรับประกันความสามารถในการทำซ้ำ ความน่าเชื่อถือ และอัตราข้อบกพร่องที่ต่ำเป็นพิเศษ

1. วิศวกรรมวัสดุ

มีการใช้ผงซิลิกอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษเท่านั้นในการผลิตแขน/มือส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์เพื่อให้มั่นใจว่ามีการปนเปื้อนไอออนิกต่ำและมีความหนาแน่นสูง ผงถูกผสมอย่างแม่นยำด้วยสารเติมแต่งสำหรับการเผาผนึกและสารยึดเกาะเพื่อให้ได้ความหนาแน่นที่เหมาะสมที่สุด

2. การสร้างโครงสร้างพื้นฐาน

รูปทรงเรขาคณิตพื้นฐานของแขน/มือส้อมขึ้นรูปโดยใช้การอัดแบบไอโซสแตติกเย็นหรือการฉีดขึ้นรูป ซึ่งทำให้ได้ความหนาแน่นสูงและมีการกระจายแรงที่สม่ำเสมอ รูปทรงตัว U ได้รับการปรับให้เหมาะสมเพื่ออัตราส่วนความแข็งต่อน้ำหนักและการตอบสนองแบบไดนามิก

3. กระบวนการเผาผนึก

ตัวสีเขียวของแขน/มือส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ถูกเผาในเตาเผาก๊าซเฉื่อยอุณหภูมิสูงกว่า 2,000°C ขั้นตอนนี้ช่วยให้ได้ความหนาแน่นใกล้เคียงกับค่าทางทฤษฎี ผลิตชิ้นส่วนที่ทนทานต่อการแตกร้าว การบิดงอ และการเบี่ยงเบนของมิติภายใต้ภาระความร้อนในสภาวะการใช้งานจริง

4. การเจียรและการตัดเฉือนแบบแม่นยำ

เครื่องมือเพชร CNC ขั้นสูงถูกนำมาใช้เพื่อขึ้นรูปขนาดสุดท้ายของแขน/มือส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ความคลาดเคลื่อนที่แคบ (±0.01 มม.) และพื้นผิวที่เคลือบระดับกระจกช่วยลดการปล่อยอนุภาคและความเค้นเชิงกล

5. การปรับสภาพและทำความสะอาดพื้นผิว

การตกแต่งพื้นผิวขั้นสุดท้ายประกอบด้วยการขัดด้วยสารเคมีและการทำความสะอาดด้วยอัลตราโซนิกเพื่อเตรียมแขน/มือส้อมเพื่อการผสานรวมโดยตรงในระบบที่ทำความสะอาดอย่างล้ำลึก มีสารเคลือบเสริม (CVD-SiC, ชั้นป้องกันแสงสะท้อน) ให้เลือกด้วย

กระบวนการที่พิถีพิถันนี้รับประกันว่าแต่ละแขน/มือส้อมเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ตอบสนองมาตรฐานอุตสาหกรรมที่เข้มงวดที่สุด รวมถึงข้อกำหนดห้องคลีนรูม SEMI และ ISO