เวเฟอร์ควอตซ์ SiO₂ เวเฟอร์ควอตซ์ SiO₂ MEMS อุณหภูมิ 2″ 3″ 4″ 6″ 8″ 12″
แผนภาพรายละเอียด


การแนะนำ

เวเฟอร์ควอตซ์มีบทบาทสำคัญในการพัฒนาอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ เซมิคอนดักเตอร์ และออปติกส์ พบได้ในสมาร์ทโฟนที่ใช้นำทาง GPS ฝังอยู่ในสถานีฐานความถี่สูงที่ขับเคลื่อนเครือข่าย 5G และรวมเข้ากับเครื่องมือที่ใช้ผลิตไมโครชิปรุ่นใหม่ เวเฟอร์ควอตซ์จึงเป็นสิ่งจำเป็นอย่างยิ่ง ซับสเตรตที่มีความบริสุทธิ์สูงเหล่านี้ช่วยให้เกิดนวัตกรรมในทุกสิ่ง ตั้งแต่การประมวลผลควอนตัมไปจนถึงโฟโตนิกส์ขั้นสูง แม้จะผลิตจากแร่ธาตุที่มีมากที่สุดชนิดหนึ่งของโลก แต่เวเฟอร์ควอตซ์ก็ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมให้มีมาตรฐานความแม่นยำและประสิทธิภาพที่ยอดเยี่ยม
เวเฟอร์ควอตซ์คืออะไร
เวเฟอร์ควอตซ์เป็นแผ่นกลมบางๆ ที่สร้างขึ้นจากผลึกควอตซ์สังเคราะห์บริสุทธิ์พิเศษ เวเฟอร์ควอตซ์มีเส้นผ่านศูนย์กลางมาตรฐานตั้งแต่ 2 ถึง 12 นิ้ว โดยทั่วไปมีความหนาตั้งแต่ 0.5 มม. ถึง 6 มม. ต่างจากควอตซ์ธรรมชาติที่ก่อตัวเป็นผลึกปริซึมที่ไม่สม่ำเสมอ ควอตซ์สังเคราะห์ถูกปลูกภายใต้สภาวะควบคุมอย่างเข้มงวดในห้องปฏิบัติการ ทำให้เกิดโครงสร้างผลึกที่สม่ำเสมอ
ผลึกธรรมชาติของเวเฟอร์ควอตซ์ให้ความทนทานต่อสารเคมี ความโปร่งใสทางแสง และความเสถียรที่เหนือชั้นภายใต้อุณหภูมิสูงและแรงกดเชิงกล คุณสมบัติเหล่านี้ทำให้เวเฟอร์ควอตซ์เป็นส่วนประกอบพื้นฐานสำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำที่ใช้ในการส่งข้อมูล การตรวจจับ การคำนวณ และเทคโนโลยีที่ใช้เลเซอร์
ข้อมูลจำเพาะของเวเฟอร์ควอตซ์
ประเภทควอตซ์ | 4 | 6 | 8 | 12 |
---|---|---|---|---|
ขนาด | ||||
เส้นผ่านศูนย์กลาง (นิ้ว) | 4 | 6 | 8 | 12 |
ความหนา (มม.) | 0.05–2 | 0.25–5 | 0.3–5 | 0.4–5 |
ความคลาดเคลื่อนของเส้นผ่านศูนย์กลาง (นิ้ว) | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 |
ความคลาดเคลื่อนของความหนา (มม.) | ปรับแต่งได้ | ปรับแต่งได้ | ปรับแต่งได้ | ปรับแต่งได้ |
คุณสมบัติทางแสง | ||||
ดัชนีหักเหแสงที่ 365 นาโนเมตร | 1.474698 | 1.474698 | 1.474698 | 1.474698 |
ดัชนีหักเหแสง @546.1 นาโนเมตร | 1.460243 | 1.460243 | 1.460243 | 1.460243 |
ดัชนีหักเหแสงที่ 1014 นาโนเมตร | 1.450423 | 1.450423 | 1.450423 | 1.450423 |
การส่งผ่านภายใน (1250–1650 นาโนเมตร) | >99.9% | >99.9% | >99.9% | >99.9% |
การส่งผ่านทั้งหมด (1250–1650 นาโนเมตร) | >92% | >92% | >92% | >92% |
คุณภาพงานกลึง | ||||
TTV (ความแปรปรวนของความหนารวม, µm) | <3 | <3 | <3 | <3 |
ความแบน (µm) | ≤15 | ≤15 | ≤15 | ≤15 |
ความหยาบของพื้นผิว (นาโนเมตร) | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
โค้ง (µm) | <5 | <5 | <5 | <5 |
คุณสมบัติทางกายภาพ | ||||
ความหนาแน่น (g/cm³) | 2.20 | 2.20 | 2.20 | 2.20 |
โมดูลัสของยัง (GPa) | 74.20 | 74.20 | 74.20 | 74.20 |
ความแข็งโมห์ส | 6–7 | 6–7 | 6–7 | 6–7 |
โมดูลัสเฉือน (GPa) | 31.22 | 31.22 | 31.22 | 31.22 |
อัตราส่วนปัวซอง | 0.17 | 0.17 | 0.17 | 0.17 |
ความแข็งแรงของแรงอัด (GPa) | 1.13 | 1.13 | 1.13 | 1.13 |
ความแข็งแรงแรงดึง (MPa) | 49 | 49 | 49 | 49 |
ค่าคงที่ไดอิเล็กตริก (1 MHz) | 3.75 | 3.75 | 3.75 | 3.75 |
คุณสมบัติทางความร้อน | ||||
จุดความเครียด (10¹⁴.⁵ Pa·s) | 1,000 องศาเซลเซียส | 1,000 องศาเซลเซียส | 1,000 องศาเซลเซียส | 1,000 องศาเซลเซียส |
จุดอบอ่อน (10¹³ Pa·s) | 1160 องศาเซลเซียส | 1160 องศาเซลเซียส | 1160 องศาเซลเซียส | 1160 องศาเซลเซียส |
จุดอ่อนตัว (10⁷.⁶ Pa·s) | 1620 องศาเซลเซียส | 1620 องศาเซลเซียส | 1620 องศาเซลเซียส | 1620 องศาเซลเซียส |
การประยุกต์ใช้งานของเวเฟอร์ควอตซ์
เวเฟอร์ควอตซ์ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมเพื่อตอบสนองการใช้งานที่เข้มงวดในอุตสาหกรรมต่างๆ รวมถึง:
อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์และ RF
- เวเฟอร์ควอตซ์เป็นแกนหลักของเรโซเนเตอร์และออสซิลเลเตอร์คริสตัลควอตซ์ที่ส่งสัญญาณนาฬิกาสำหรับสมาร์ทโฟน หน่วย GPS คอมพิวเตอร์ และอุปกรณ์สื่อสารไร้สาย
- การขยายตัวเนื่องจากความร้อนต่ำและค่า Q ที่สูงทำให้เวเฟอร์ควอตซ์เหมาะอย่างยิ่งสำหรับวงจรจับเวลาที่มีเสถียรภาพสูงและตัวกรอง RF
ออปโตอิเล็กทรอนิกส์และการถ่ายภาพ
- เวเฟอร์ควอตซ์ให้การส่งผ่านรังสี UV และ IR ได้อย่างยอดเยี่ยม จึงเหมาะอย่างยิ่งสำหรับเลนส์ออปติก ตัวแยกลำแสง หน้าต่างเลเซอร์ และเครื่องตรวจจับ
- ความต้านทานต่อรังสีทำให้สามารถนำไปใช้ในฟิสิกส์พลังงานสูงและเครื่องมือในอวกาศได้
เซมิคอนดักเตอร์และ MEMS
- เวเฟอร์ควอตซ์ทำหน้าที่เป็นสารตั้งต้นสำหรับวงจรเซมิคอนดักเตอร์ความถี่สูง โดยเฉพาะอย่างยิ่งในแอปพลิเคชัน GaN และ RF
- ในระบบ MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) เวเฟอร์ควอตซ์จะแปลงสัญญาณเชิงกลให้เป็นสัญญาณไฟฟ้าผ่านปรากฏการณ์พีโซอิเล็กทริก ทำให้สามารถใช้เซ็นเซอร์ต่างๆ เช่น ไจโรสโคปและเครื่องวัดความเร่งได้
การผลิตขั้นสูงและห้องปฏิบัติการ
- เวเฟอร์ควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูงใช้กันอย่างแพร่หลายในห้องปฏิบัติการเคมี ชีวการแพทย์ และโฟตอนิกส์สำหรับเซลล์ออปติคัล คิวเวตต์ UV และการจัดการตัวอย่างที่อุณหภูมิสูง
- ความเข้ากันได้กับสภาพแวดล้อมที่รุนแรงทำให้เหมาะสำหรับห้องพลาสม่าและเครื่องมือการสะสม
เวเฟอร์ควอตซ์ทำอย่างไร
มีเส้นทางการผลิตหลักสองเส้นทางสำหรับเวเฟอร์ควอตซ์:
เวเฟอร์ควอตซ์หลอมรวม
เวเฟอร์ควอตซ์หลอมรวมผลิตขึ้นโดยการหลอมเม็ดควอตซ์ธรรมชาติลงในแก้วอสัณฐาน จากนั้นจึงหั่นและขัดบล็อกแข็งให้เป็นเวเฟอร์บางๆ เวเฟอร์ควอตซ์เหล่านี้มีคุณสมบัติดังนี้:
- ความโปร่งใสของรังสี UV ที่ยอดเยี่ยม
- ช่วงการทำงานความร้อนกว้าง (>1100°C)
- ทนทานต่อแรงกระแทกจากความร้อนได้ดีเยี่ยม
เหมาะอย่างยิ่งสำหรับอุปกรณ์ลิโธกราฟี เตาเผาอุณหภูมิสูง และหน้าต่างออปติก แต่ไม่เหมาะสำหรับการใช้งานพีโซอิเล็กทริกเนื่องจากขาดการเรียงลำดับผลึก
เวเฟอร์ควอตซ์เพาะเลี้ยง
เวเฟอร์ควอตซ์เพาะเลี้ยงได้รับการปลูกแบบสังเคราะห์เพื่อผลิตผลึกที่ปราศจากข้อบกพร่อง พร้อมการวางแนวโครงตาข่ายที่แม่นยำ เวเฟอร์เหล่านี้ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมสำหรับการใช้งานที่ต้องการ:
- มุมตัดที่แน่นอน (X-, Y-, Z-, AT-cut ฯลฯ)
- ออสซิลเลเตอร์ความถี่สูงและตัวกรอง SAW
- โพลาไรเซอร์ออปติคอลและอุปกรณ์ MEMS ขั้นสูง
กระบวนการผลิตประกอบด้วยการเพาะเมล็ดในหม้ออัดไอน้ำ ตามด้วยการหั่น การวางแนว การอบอ่อน และการขัดเงา
ซัพพลายเออร์เวเฟอร์ควอตซ์ชั้นนำ
ซัพพลายเออร์ระดับโลกที่เชี่ยวชาญด้านเวเฟอร์ควอตซ์ความแม่นยำสูง ได้แก่:
- เฮเรอุส(เยอรมนี) – ควอตซ์แบบหลอมรวมและสังเคราะห์
- ชินเอตสึควอตซ์(ญี่ปุ่น) – โซลูชันเวเฟอร์ที่มีความบริสุทธิ์สูง
- เวเฟอร์โปร(สหรัฐอเมริกา) – เวเฟอร์และสารตั้งต้นควอตซ์เส้นผ่านศูนย์กลางกว้าง
- คอร์ธ คริสตัล(เยอรมนี) – เวเฟอร์คริสตัลสังเคราะห์
บทบาทที่เปลี่ยนแปลงไปของเวเฟอร์ควอตซ์
เวเฟอร์ควอตซ์ยังคงพัฒนาเป็นส่วนประกอบสำคัญในภูมิทัศน์เทคโนโลยีที่เกิดใหม่:
- การย่อส่วน– เวเฟอร์ควอตซ์กำลังถูกผลิตขึ้นโดยมีค่าความคลาดเคลื่อนที่เข้มงวดยิ่งขึ้นเพื่อการรวมอุปกรณ์แบบกะทัดรัด
- อิเล็กทรอนิกส์ความถี่สูง– การออกแบบเวเฟอร์ควอตซ์ใหม่กำลังผลักดันเข้าสู่โดเมน mmWave และ THz สำหรับ 6G และเรดาร์
- การตรวจจับยุคถัดไป– ตั้งแต่ยานยนต์ไร้คนขับไปจนถึง IoT ในอุตสาหกรรม เซ็นเซอร์ที่ใช้ควอตซ์กำลังกลายเป็นสิ่งที่มีความสำคัญมากยิ่งขึ้น
คำถามที่พบบ่อยเกี่ยวกับเวเฟอร์ควอตซ์
1. เวเฟอร์ควอตซ์คืออะไร?
เวเฟอร์ควอตซ์เป็นแผ่นบางแบน ทำจากซิลิคอนไดออกไซด์ผลึก (SiO₂) โดยทั่วไปผลิตในขนาดมาตรฐานของเซมิคอนดักเตอร์ (เช่น 2 นิ้ว, 3 นิ้ว, 4 นิ้ว, 6 นิ้ว, 8 นิ้ว หรือ 12 นิ้ว) เวเฟอร์ควอตซ์เป็นที่รู้จักในเรื่องความบริสุทธิ์สูง เสถียรภาพทางความร้อน และความโปร่งใสทางแสง เวเฟอร์ควอตซ์ถูกใช้เป็นสารตั้งต้นหรือตัวพาในงานที่ต้องการความแม่นยำสูงหลากหลายประเภท เช่น การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ อุปกรณ์ MEMS ระบบออปติคัล และกระบวนการสุญญากาศ
2. ความแตกต่างระหว่างควอตซ์และซิลิกาเจลคืออะไร?
ควอตซ์เป็นซิลิกอนไดออกไซด์ในรูปแบบผลึกแข็ง (SiO₂) ในขณะที่ซิลิกาเจลเป็น SiO₂ ในรูปแบบที่ไม่มีรูปร่างแน่นอนและมีรูพรุน ซึ่งมักใช้เป็นสารดูดความชื้นเพื่อดูดซับความชื้น
- ควอตซ์เป็นวัสดุแข็ง โปร่งใส และใช้ในงานอิเล็กทรอนิกส์ อุปกรณ์ออปติก และอุตสาหกรรม
- ซิลิกาเจลมีลักษณะเป็นเม็ดหรือเม็ดเล็กๆ และใช้เป็นหลักในการควบคุมความชื้นในบรรจุภัณฑ์ อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ และการจัดเก็บ
3. คริสตัลควอตซ์ใช้ทำอะไร?
คริสตัลควอตซ์ถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์และออปติกส์ เนื่องจากมีคุณสมบัติเพียโซอิเล็กทริก (สร้างประจุไฟฟ้าภายใต้แรงกดเชิงกล) การใช้งานทั่วไป ได้แก่:
- ออสซิลเลเตอร์และการควบคุมความถี่(เช่น นาฬิกาควอตซ์ นาฬิกา ไมโครคอนโทรลเลอร์)
- ส่วนประกอบออปติคัล(เช่น เลนส์ แผ่นเวฟ หน้าต่าง)
- เรโซเนเตอร์และตัวกรองในอุปกรณ์ RF และการสื่อสาร
- เซ็นเซอร์สำหรับแรงกดดัน ความเร่ง หรือแรง
- การผลิตเซมิคอนดักเตอร์เป็นสารตั้งต้นหรือหน้าต่างกระบวนการ
4. ทำไมจึงใช้ควอตซ์ในไมโครชิป?
ควอตซ์ถูกนำมาใช้ในแอปพลิเคชันที่เกี่ยวข้องกับไมโครชิปเนื่องจากมีคุณสมบัติดังต่อไปนี้:
- เสถียรภาพทางความร้อนในระหว่างกระบวนการอุณหภูมิสูง เช่น การแพร่กระจายและการอบอ่อน
- ฉนวนไฟฟ้าเนื่องจากคุณสมบัติเป็นฉนวนไฟฟ้า
- ทนทานต่อสารเคมีกรดและตัวทำละลายที่ใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
- ความแม่นยำของมิติและการขยายตัวทางความร้อนต่ำเพื่อการจัดตำแหน่งลิโธกราฟีที่เชื่อถือได้
- แม้ว่าจะไม่ได้ใช้ควอตซ์เป็นวัสดุเซมิคอนดักเตอร์แบบแอคทีฟ (เช่นเดียวกับซิลิกอน) แต่ก็มีบทบาทสำคัญในการสนับสนุนสภาพแวดล้อมการผลิต โดยเฉพาะในเตาเผา ห้อง และพื้นผิวของหน้ากากป้องกันแสง
เกี่ยวกับเรา
XKH เชี่ยวชาญด้านการพัฒนา การผลิต และการจำหน่ายกระจกออปติคอลชนิดพิเศษและวัสดุคริสตัลชนิดใหม่ด้วยเทคโนโลยีขั้นสูง ผลิตภัณฑ์ของเราครอบคลุมอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ออปติคอล อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์สำหรับผู้บริโภค และกองทัพ เราจำหน่ายชิ้นส่วนออปติคอลแซฟไฟร์ ฝาครอบเลนส์โทรศัพท์มือถือ เซรามิกส์ ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SIC) ควอตซ์ และเวเฟอร์คริสตัลเซมิคอนดักเตอร์ ด้วยความเชี่ยวชาญและอุปกรณ์ที่ทันสมัย เรามีความเชี่ยวชาญในกระบวนการผลิตผลิตภัณฑ์ที่ไม่ได้มาตรฐาน โดยมุ่งมั่นที่จะเป็นองค์กรเทคโนโลยีขั้นสูงชั้นนำด้านวัสดุออปติคอลอิเล็กทรอนิกส์
