แผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนเคลือบโลหะ Ti/Cu (ไทเทเนียม/ทองแดง)

คำอธิบายโดยย่อ:

ของเราแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนเคลือบโลหะ Ti/Cuมีพื้นผิวเป็นซิลิคอนคุณภาพสูง (หรือแก้ว/ควอตซ์ตามต้องการ) เคลือบด้วยชั้นยึดเกาะไทเทเนียมและชั้นนำไฟฟ้าทองแดงโดยใช้การสปัตเตอร์ด้วยแมกเนตรอนมาตรฐานชั้นไทเทเนียม (Ti) ช่วยเพิ่มการยึดเกาะและความเสถียรของกระบวนการได้อย่างมาก ในขณะที่ชั้นบนสุดที่เป็นทองแดง (Cu) ให้พื้นผิวที่สม่ำเสมอและมีความต้านทานต่ำ เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการเชื่อมต่อทางไฟฟ้าและการผลิตระดับไมโครในขั้นตอนต่อไป

ส่งอีเมลถึงเรา

คุณสมบัติ

แผนภาพโดยละเอียด

แผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนเคลือบโลหะ Ti/Cu (ไทเทเนียม/ทองแดง)6

ภาพรวม

แผ่นเวเฟอร์เหล่านี้ได้รับการออกแบบมาเพื่อทั้งงานวิจัยและการใช้งานในระดับนำร่อง มีให้เลือกหลายขนาดและช่วงความต้านทาน พร้อมการปรับแต่งที่ยืดหยุ่นสำหรับความหนา ประเภทของวัสดุรองรับ และการกำหนดค่าการเคลือบ

คุณสมบัติหลัก

การยึดเกาะที่แข็งแรงและความน่าเชื่อถือชั้นเชื่อมประสาน Ti ช่วยเพิ่มการยึดเกาะของฟิล์มกับ Si/SiO₂ และปรับปรุงความทนทานต่อการใช้งาน
พื้นผิวที่มีการนำไฟฟ้าสูงการเคลือบด้วยทองแดงช่วยให้ได้ประสิทธิภาพทางไฟฟ้าที่ดีเยี่ยมสำหรับหน้าสัมผัสและโครงสร้างทดสอบ
สามารถปรับแต่งได้หลากหลายข้อมูลเกี่ยวกับขนาดเวเฟอร์ ความต้านทาน การวางแนว ความหนาของวัสดุรองรับ และความหนาของฟิล์ม สามารถสอบถามได้ตามต้องการ
วัสดุตั้งต้นที่พร้อมสำหรับกระบวนการผลิต: สามารถใช้งานร่วมกับขั้นตอนการทำงานทั่วไปในห้องปฏิบัติการและโรงงานผลิต (เช่น การพิมพ์หิน การชุบโลหะด้วยไฟฟ้า การวัดทางมาตรวิทยา เป็นต้น)
มีวัสดุซีรีส์ให้เลือกนอกจาก Ti/Cu แล้ว เรายังมีเวเฟอร์เคลือบโลหะ Au, Pt, Al, Ni และ Ag ให้เลือกอีกด้วย

โครงสร้างและการสะสมตัวโดยทั่วไป

ซ้อนกัน: วัสดุรองรับ + ชั้นยึดเกาะไทเทเนียม + ชั้นเคลือบทองแดง
กระบวนการมาตรฐาน: การสปัตเตอร์ด้วยแมกเนตรอน
กระบวนการเสริม: การระเหยด้วยความร้อน / การชุบด้วยไฟฟ้า (สำหรับทองแดงที่มีความหนามากกว่า)

คุณสมบัติทางกลของกระจกควอตซ์

รายการ	ตัวเลือก
ขนาดเวเฟอร์	ขนาด 2", 4", 6", 8"; 10×10 มม.; ขนาดหั่นตามสั่ง
ประเภทการนำไฟฟ้า	ชนิด P / ชนิด N / ความต้านทานสูงโดยธรรมชาติ (Un)
ปฐมนิเทศ	<100>, <111>, เป็นต้น
ความต้านทาน	<0.0015 Ω·ซม.; 1–10 โอห์ม·ซม.; >1,000–10,000 Ω·ซม
ความหนา (ไมโครเมตร)	2": 200/280/400/500; 4": 450/500/525; 6": 625/650/675; 8": 650/700/725/775; ขนาดสั่งทำพิเศษ
วัสดุพื้นผิว	ซิลิคอน; ควอตซ์, กระจก BF33 ฯลฯ (เลือกได้)
ความหนาของฟิล์ม	10 นาโนเมตร / 50 นาโนเมตร / 100 นาโนเมตร / 150 นาโนเมตร / 300 นาโนเมตร / 500 นาโนเมตร / 1 ไมโครเมตร (ปรับแต่งได้)
ตัวเลือกฟิล์มโลหะ	Ti/ลูกบาศ์ก; นอกจากนี้ยังมี Au, Pt, Al, Ni, Ag อีกด้วย

แผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนเคลือบโลหะ Ti/Cu (ไทเทเนียม/ทองแดง)4

แอปพลิเคชัน

หน้าสัมผัสโอห์มิกและพื้นผิวตัวนำสำหรับการวิจัยและพัฒนาอุปกรณ์และการทดสอบทางไฟฟ้า
ชั้นเมล็ดสำหรับชุบโลหะด้วยไฟฟ้า(RDL, โครงสร้าง MEMS, การสะสมทองแดงหนา)
สารตั้งต้นสำหรับการเจริญเติบโตของวัสดุนาโนและโซลเจลสำหรับการวิจัยด้านนาโนและฟิล์มบาง
กล้องจุลทรรศน์และการวัดพื้นผิว(การเตรียมตัวอย่างและการวัดด้วย SEM/AFM/SPM)
พื้นผิวชีวภาพ/เคมีเช่น แพลตฟอร์มการเพาะเลี้ยงเซลล์ ไมโครอาร์เรย์โปรตีน/ดีเอ็นเอ และพื้นผิวสำหรับการวัดการสะท้อนแสง

คำถามที่พบบ่อย (เวเฟอร์ซิลิคอนเคลือบโลหะ Ti/Cu)

คำถามที่ 1: เหตุใดจึงใช้ชั้นไทเทเนียม (Ti) ใต้ชั้นทองแดง (Cu)?
A: ไทเทเนียมมีคุณสมบัติเป็นชั้นยึดเกาะ (การเชื่อมต่อ)ซึ่งช่วยปรับปรุงการยึดเกาะของทองแดงกับพื้นผิวและเพิ่มความเสถียรของส่วนต่อประสาน ซึ่งจะช่วยลดการหลุดลอกหรือการแยกชั้นระหว่างการขนส่งและการประมวลผล

Q2: โดยทั่วไปแล้ว ความหนาของ Ti/Cu จะเป็นอย่างไร?
A: การผสมผสานที่พบได้ทั่วไป ได้แก่ไทเทเนียม: หลายสิบนาโนเมตร (เช่น 10–50 นาโนเมตร)และทองแดง: 50–300 นาโนเมตรสำหรับฟิล์มที่เคลือบด้วยวิธีสปัตเตอร์ โดยทั่วไปแล้วชั้นทองแดงที่หนาขึ้น (ระดับไมโครเมตร) มักทำได้โดยวิธีการนี้การชุบด้วยไฟฟ้าบนชั้นรองพื้นทองแดงที่เคลือบด้วยวิธีสปัตเตอร์ขึ้นอยู่กับการใช้งานของคุณ

Q3: สามารถเคลือบทั้งสองด้านของแผ่นเวเฟอร์ได้หรือไม่?
ก. ใช่.การเคลือบด้านเดียวหรือสองด้านมีให้บริการตามคำขอ โปรดระบุความต้องการของคุณเมื่อสั่งซื้อ

เกี่ยวกับเรา

XKH เชี่ยวชาญด้านการพัฒนา การผลิต และการขายเทคโนโลยีขั้นสูงของกระจกออปติคอลพิเศษและวัสดุคริสตัลใหม่ ผลิตภัณฑ์ของเราให้บริการด้านอิเล็กทรอนิกส์เชิงแสง อิเล็กทรอนิกส์สำหรับผู้บริโภค และการทหาร เรานำเสนอชิ้นส่วนออปติคอลแซฟไฟร์ ฝาครอบเลนส์โทรศัพท์มือถือ เซรามิก LT ซิลิคอนคาร์ไบด์ SIC ควอตซ์ และแผ่นเวเฟอร์คริสตัลเซมิคอนดักเตอร์ ด้วยความเชี่ยวชาญและอุปกรณ์ที่ทันสมัย เราโดดเด่นในการแปรรูปผลิตภัณฑ์ที่ไม่เป็นไปตามมาตรฐาน โดยมุ่งมั่นที่จะเป็นผู้นำด้านเทคโนโลยีขั้นสูงของวัสดุออปโตอิเล็กทรอนิกส์