แท่นวางแบริ่งลม SiC ความแม่นยำสูงพิเศษ
แผนภาพโดยละเอียด
ภาพรวม
ด้วยวิวัฒนาการอย่างต่อเนื่องของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ อุปกรณ์การประมวลผลและการตรวจสอบจึงต้องการประสิทธิภาพที่สูงขึ้นเรื่อยๆ โดยอาศัยความเชี่ยวชาญอย่างกว้างขวางในการควบคุมการเคลื่อนที่และการกำหนดตำแหน่งระดับนาโนเมตร เราได้พัฒนาแท่นวางแบบระนาบรูปตัว H สองแกนที่มีความแม่นยำสูงพิเศษ พร้อมระบบแบริ่งลม
แท่นวางนี้ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมด้วยโครงสร้างเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) ที่ปรับให้เหมาะสมด้วยวิธีไฟไนต์เอเลเมนต์ และเทคโนโลยีแบริ่งลมชดเชย ทำให้มีความแม่นยำ ความแข็งแกร่ง และการตอบสนองแบบไดนามิกที่ยอดเยี่ยม เหมาะอย่างยิ่งสำหรับ:
-
การประมวลผลและการตรวจสอบเซมิคอนดักเตอร์
การผลิตและการวัดระดับไมโคร/นาโน
การตัดและขัดเงาในระดับนาโนเมตร
การสแกนความแม่นยำสูงความเร็วสูง
คุณสมบัติหลัก
-
รางนำทางแบริ่งอากาศ SiCเพื่อความแข็งแกร่งและความแม่นยำสูงเป็นพิเศษ
-
พลวัตสูง: ความเร็วสูงสุด 1 เมตร/วินาที, ความเร่งสูงสุด 4 g, การทรงตัวอย่างรวดเร็ว
-
แกน Y แบบโครงขับเคลื่อนคู่ช่วยให้รับน้ำหนักได้สูงและมีความเสถียร
-
ตัวเลือกตัวเข้ารหัส: ตะแกรงแสง หรือ เครื่องวัดการแทรกสอดของเลเซอร์
-
ความแม่นยำในการกำหนดตำแหน่ง: ±0.15 ไมโครเมตร;ความสามารถในการทำซ้ำ: ±75 นาโนเมตร
-
การจัดระเบียบสายเคเบิลอย่างเหมาะสมเพื่อการออกแบบที่สะอาดตาและความน่าเชื่อถือในระยะยาว
-
การกำหนดค่าที่ปรับแต่งได้สำหรับความต้องการเฉพาะด้านการใช้งาน
การออกแบบที่มีความแม่นยำสูงเป็นพิเศษ และสถาปัตยกรรมแบบขับตรงไร้สัมผัส
-
กรอบเซรามิก SiC: มีความแข็งแกร่งกว่าโลหะผสมอลูมิเนียมประมาณ 5 เท่า และมีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำกว่าประมาณ 5 เท่า ช่วยให้มีเสถียรภาพที่ความเร็วสูงและทนทานต่อความร้อนได้ดี
-
แบริ่งลมชดเชยการออกแบบที่เป็นเอกสิทธิ์เฉพาะช่วยเพิ่มความแข็งแกร่ง ความสามารถในการรับน้ำหนัก และความเสถียรในการเคลื่อนไหว
-
ประสิทธิภาพแบบไดนามิกรองรับความเร็ว 1 เมตร/วินาที และอัตราเร่ง 4 g เหมาะสำหรับกระบวนการที่มีปริมาณงานสูง
-
การผสานรวมอย่างราบรื่น: สามารถใช้งานร่วมกับระบบลดแรงสั่นสะเทือน แท่นหมุน โมดูลปรับเอียง และแท่นวางแผ่นเวเฟอร์ได้
-
การจัดการสายเคเบิลรัศมีการดัดที่ควบคุมได้ช่วยลดความเครียดเพื่อยืดอายุการใช้งานให้ยาวนานขึ้น
-
มอเตอร์เชิงเส้นไร้แกน: การเคลื่อนไหวราบรื่น ปราศจากแรงขัดข้อง
-
ระบบขับเคลื่อนมอเตอร์หลายตัวการจัดวางมอเตอร์บนระนาบรับน้ำหนักช่วยปรับปรุงความตรง ความเรียบ และความแม่นยำเชิงมุม
-
ฉนวนกันความร้อนมอเตอร์ถูกแยกออกจากโครงสร้างเวที มีระบบระบายความร้อนด้วยอากาศหรือน้ำเป็นตัวเลือกเพิ่มเติมสำหรับการใช้งานหนัก
ข้อกำหนด
| แบบอย่าง | 400-400 | 500-500 | 600-600 |
|---|---|---|---|
| แกน | X (สแกน) / Y (ก้าว) | X (สแกน) / Y (ก้าว) | X (สแกน) / Y (ก้าว) |
| ระยะการเคลื่อนที่ (มม.) | 400 / 400 | 500 / 500 | 600 / 600 |
| ความแม่นยำ (μm) | ±0.15 | ±0.2 | ±0.2 |
| ความแม่นยำในการวัดซ้ำ (นาโนเมตร) | ±75 | ±100 | ±100 |
| ความละเอียด (นาโนเมตร) | 0.3 | 0.3 | 0.3 |
| ความเร็วสูงสุด (เมตร/วินาที) | 1 | 1 | 1 |
| ความเร่ง (g) | 4 | 4 | 4 |
| ความตรง (ไมโครเมตร) | ±0.2 | ±0.3 | ±0.4 |
| ความเสถียร (นาโนเมตร) | ±5 | ±5 | ±5 |
| รับน้ำหนักสูงสุด (กก.) | 20 | 20 | 20 |
| มุมเงย/มุมเอียง/มุมหัน (วินาทีเชิงมุม) | ±1 | ±1 | ±1 |
เงื่อนไขการทดสอบ:
-
อากาศที่จ่าย: สะอาด แห้ง; จุดน้ำค้าง ≤ 0°F; การกรองอนุภาค ≤ 0.25 μm; หรือไนโตรเจน 99.99%
-
วัดความแม่นยำที่ระยะ 25 มม. เหนือจุดศูนย์กลางของแท่นวาง ที่อุณหภูมิ 20±1 °C และความชื้นสัมสัมพัทธ์ 40–60%
แอปพลิเคชัน
-
กระบวนการพิมพ์หินสำหรับเซมิคอนดักเตอร์ การตรวจสอบ และการจัดการเวเฟอร์
-
การผลิตระดับไมโคร/นาโน และการวัดความแม่นยำสูง
-
การผลิตเลนส์คุณภาพสูงและการวัดด้วยอินเตอร์เฟอโรเมตรี
-
การวิจัยด้านอวกาศและวิทยาศาสตร์ขั้นสูง
คำถามที่พบบ่อย – แท่นวางแบริ่งลมซิลิคอนคาร์ไบด์
1. แท่นรองรับแบบใช้ลมคืออะไร?
แท่นรองรับแบบใช้อากาศจะใช้ฟิล์มอากาศอัดบางๆ ระหว่างแท่นกับรางนำทางเพื่อให้การรองรับที่ดีการเคลื่อนไหวที่ราบรื่นเป็นพิเศษ ไร้แรงเสียดทาน ไร้การสึกหรอ และไร้ปัญหาแตกต่างจากตลับลูกปืนเชิงกลทั่วไป ตลับลูกปืนชนิดนี้ช่วยขจัดปัญหาการลื่นไถล ให้ความแม่นยำระดับนาโนเมตร และรองรับความน่าเชื่อถือในระยะยาว
2. เหตุใดจึงใช้ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) สำหรับโครงสร้างเวที?
-
ความแข็งแกร่งสูง: มีค่าความแข็งประมาณ 5 เท่าของโลหะผสมอะลูมิเนียม ช่วยลดการเสียรูปขณะเคลื่อนไหว
-
การขยายตัวทางความร้อนต่ำ: ต่ำกว่าอะลูมิเนียมประมาณ 5 เท่า รักษาความแม่นยำได้แม้ในสภาวะอุณหภูมิผันผวน
-
น้ำหนักเบา: มีความหนาแน่นต่ำกว่าเหล็ก ทำให้สามารถใช้งานด้วยความเร็วสูงและอัตราเร่งสูงได้
-
เสถียรภาพดีเยี่ยม: ระบบลดแรงสั่นสะเทือนและความแข็งแกร่งที่เหนือกว่า เพื่อการกำหนดตำแหน่งที่แม่นยำเป็นพิเศษ
3. เวทีนี้ต้องการการหล่อลื่นหรือการบำรุงรักษาหรือไม่?
ไม่จำเป็นต้องใช้สารหล่อลื่นแบบดั้งเดิม เนื่องจากมีไม่มีการสัมผัสทางกลการบำรุงรักษาที่แนะนำ ได้แก่:
-
จัดหาอากาศอัดหรือไนโตรเจนที่สะอาดและแห้ง
-
ตรวจสอบตัวกรองและเครื่องอบแห้งเป็นระยะ
-
การตรวจสอบสายเคเบิลและระบบระบายความร้อน
4. ความต้องการด้านการจัดหาอากาศมีอะไรบ้าง?
-
จุดน้ำค้าง: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
-
การกรองอนุภาค: ≤ 0.25 ไมโครเมตร
-
อากาศสะอาดและแห้ง หรือไนโตรเจนบริสุทธิ์ 99.99%
-
ความดันคงที่ มีความผันผวนน้อยที่สุด
เกี่ยวกับเรา
XKH เชี่ยวชาญด้านการพัฒนา การผลิต และการขายเทคโนโลยีขั้นสูงของกระจกออปติคอลพิเศษและวัสดุคริสตัลใหม่ ผลิตภัณฑ์ของเราให้บริการด้านอิเล็กทรอนิกส์เชิงแสง อิเล็กทรอนิกส์สำหรับผู้บริโภค และการทหาร เรานำเสนอชิ้นส่วนออปติคอลแซฟไฟร์ ฝาครอบเลนส์โทรศัพท์มือถือ เซรามิก LT ซิลิคอนคาร์ไบด์ SIC ควอตซ์ และแผ่นเวเฟอร์คริสตัลเซมิคอนดักเตอร์ ด้วยความเชี่ยวชาญและอุปกรณ์ที่ทันสมัย เราโดดเด่นในการแปรรูปผลิตภัณฑ์ที่ไม่เป็นไปตามมาตรฐาน โดยมุ่งมั่นที่จะเป็นผู้นำด้านเทคโนโลยีขั้นสูงของวัสดุออปโตอิเล็กทรอนิกส์
