แผ่นเวเฟอร์ SiC ขนาด 2 นิ้ว 6H หรือ 4H แผ่นรองพื้น SiC กึ่งฉนวน เส้นผ่านศูนย์กลาง 50.8 มม.
การประยุกต์ใช้พื้นผิวซิลิคอนคาร์ไบด์
แผ่นรองพื้นซิลิคอนคาร์ไบด์สามารถแบ่งออกเป็นชนิดนำไฟฟ้าและชนิดกึ่งฉนวนตามค่าความต้านทาน อุปกรณ์ซิลิคอนคาร์ไบด์ชนิดนำไฟฟ้าส่วนใหญ่ใช้ในรถยนต์ไฟฟ้า การผลิตไฟฟ้าจากพลังงานแสงอาทิตย์ ระบบขนส่งทางราง ศูนย์ข้อมูล สถานีชาร์จ และโครงสร้างพื้นฐานอื่นๆ อุตสาหกรรมรถยนต์ไฟฟ้ามีความต้องการแผ่นรองพื้นซิลิคอนคาร์ไบด์ชนิดนำไฟฟ้าสูงมาก และในปัจจุบัน บริษัทรถยนต์พลังงานใหม่ เช่น Tesla, BYD, NIO, Xiaopeng และอื่นๆ ได้วางแผนที่จะใช้อุปกรณ์หรือโมดูลซิลิคอนคาร์ไบด์แบบแยกชิ้น
อุปกรณ์ซิลิคอนคาร์ไบด์แบบกึ่งฉนวนส่วนใหญ่ใช้ในระบบสื่อสาร 5G ระบบสื่อสารในยานยนต์ การใช้งานด้านการป้องกันประเทศ การส่งข้อมูล อวกาศ และสาขาอื่นๆ โดยการปลูกชั้นเอพิแท็กเซียลของแกลเลียมไนไตรด์บนพื้นผิวซิลิคอนคาร์ไบด์แบบกึ่งฉนวน ทำให้เวเฟอร์เอพิแท็กเซียลแกลเลียมไนไตรด์บนฐานซิลิคอนสามารถนำไปผลิตเป็นอุปกรณ์ RF ไมโครเวฟได้ ซึ่งส่วนใหญ่ใช้ในด้าน RF เช่น เครื่องขยายกำลังในระบบสื่อสาร 5G และเครื่องตรวจจับคลื่นวิทยุในด้านการป้องกันประเทศ
การผลิตผลิตภัณฑ์แผ่นรองพื้นซิลิคอนคาร์ไบด์เกี่ยวข้องกับการพัฒนาอุปกรณ์ การสังเคราะห์วัตถุดิบ การเจริญเติบโตของผลึก การตัดผลึก การแปรรูปเวเฟอร์ การทำความสะอาดและการทดสอบ และขั้นตอนอื่นๆ อีกมากมาย ในด้านวัตถุดิบ บริษัทซงซานโบรอนได้จัดหาวัตถุดิบซิลิคอนคาร์ไบด์ให้กับตลาด และประสบความสำเร็จในการจำหน่ายในปริมาณน้อย วัสดุเซมิคอนดักเตอร์รุ่นที่สามซึ่งมีซิลิคอนคาร์ไบด์เป็นตัวแทนนั้นมีบทบาทสำคัญในอุตสาหกรรมสมัยใหม่ ด้วยการเร่งตัวของการแพร่หลายของยานยนต์พลังงานใหม่และการใช้งานเซลล์แสงอาทิตย์ ความต้องการแผ่นรองพื้นซิลิคอนคาร์ไบด์กำลังจะเข้าสู่จุดเปลี่ยนสำคัญ
แผนภาพโดยละเอียด





