แผ่นเวเฟอร์ซับสเตรตแซฟไฟร์ Al2O3 บริสุทธิ์สูง 99.999% ขนาด 4 นิ้ว เส้นผ่านศูนย์กลาง 101.6 × ความหนา 0.65 มม. พร้อมความยาวด้านเรียบหลัก
คำอธิบาย
ข้อกำหนดทั่วไปของแผ่นเวเฟอร์แซฟไฟร์ขนาด 4 นิ้ว มีดังต่อไปนี้:
ความหนา: ความหนาของแผ่นเวเฟอร์แซฟไฟร์ทั่วไปอยู่ระหว่าง 0.2 มม. ถึง 2 มม. และสามารถปรับแต่งความหนาได้ตามความต้องการของลูกค้า
ขอบสำหรับวางชิ้นงาน: โดยปกติจะมีส่วนเล็กๆ บริเวณขอบของแผ่นเวเฟอร์ที่เรียกว่า "ขอบสำหรับวางชิ้นงาน" ซึ่งทำหน้าที่ปกป้องพื้นผิวและขอบของแผ่นเวเฟอร์ และโดยทั่วไปจะเป็นวัสดุอสัณฐาน
การเตรียมพื้นผิว: โดยทั่วไปแล้ว แผ่นเวเฟอร์แซฟไฟร์จะถูกเจียรด้วยเครื่องจักรและขัดเงาด้วยสารเคมีเชิงกลเพื่อให้พื้นผิวเรียบเนียน
คุณสมบัติพื้นผิว: โดยทั่วไปพื้นผิวของแผ่นเวเฟอร์แซฟไฟร์จะมีคุณสมบัติทางแสงที่ดี เช่น การสะท้อนแสงต่ำและดัชนีหักเหต่ำ เพื่อปรับปรุงประสิทธิภาพของอุปกรณ์
แอปพลิเคชัน
● สารตั้งต้นสำหรับการเจริญเติบโตของสารประกอบ III-V และ II-VI
● อิเล็กทรอนิกส์และออปโตอิเล็กทรอนิกส์
● การใช้งาน IR
● วงจรรวมซิลิคอนบนแซฟไฟร์ (SOS)
● วงจรรวมความถี่วิทยุ (RFIC)
ข้อกำหนด
| รายการ | แผ่นเวเฟอร์แซฟไฟร์ C-plane(0001) ขนาด 4 นิ้ว หนา 650 ไมโครเมตร | |
| วัสดุคริสตัล | อัล2O3 ผลึกเดี่ยว ความบริสุทธิ์สูง 99.999% | |
| ระดับ | ไพรม์ พร้อมสำหรับฉีดเอพิ | |
| การวางแนวพื้นผิว | ระนาบซี(0001) | |
| ระนาบ C ทำมุมเบี่ยงกับแกน M 0.2 +/- 0.1° | ||
| เส้นผ่านศูนย์กลาง | 100.0 มม. +/- 0.1 มม. | |
| ความหนา | 650 ไมโครเมตร +/- 25 ไมโครเมตร | |
| การวางแนวระนาบหลัก | ระนาบ A(11-20) +/- 0.2° | |
| ความยาวแบนหลัก | 30.0 มม. +/- 1.0 มม. | |
| ขัดเงาด้านเดียว | พื้นผิวด้านหน้า | ขัดเงาแบบเอพิ โพลีเมอร์, Ra < 0.2 นาโนเมตร (วัดโดย AFM) |
| (เอสเอสพี) | พื้นผิวด้านหลัง | เจียระไนละเอียด ค่า Ra อยู่ระหว่าง 0.8 μm ถึง 1.2 μm |
| ขัดเงาสองด้าน | พื้นผิวด้านหน้า | ขัดเงาแบบเอพิ โพลีเมอร์, Ra < 0.2 นาโนเมตร (วัดโดย AFM) |
| (ดีเอสพี) | พื้นผิวด้านหลัง | ขัดเงาแบบเอพิ โพลีเมอร์, Ra < 0.2 นาโนเมตร (วัดโดย AFM) |
| ทีทีวี | < 20 ไมโครเมตร | |
| โค้งคำนับ | < 20 ไมโครเมตร | |
| วาร์ป | < 20 ไมโครเมตร | |
| การทำความสะอาด / บรรจุภัณฑ์ | การทำความสะอาดห้องคลีนรูมระดับ 100 และการบรรจุภัณฑ์แบบสุญญากาศ | |
| บรรจุ 25 ชิ้นต่อหนึ่งตลับ หรือบรรจุแยกชิ้น | ||
เรามีประสบการณ์ยาวนานในอุตสาหกรรมการแปรรูปพลอยแซฟไฟร์ รวมถึงตลาดผู้จำหน่ายในประเทศจีนและตลาดความต้องการระหว่างประเทศ หากคุณมีความต้องการใด ๆ โปรดอย่าลังเลที่จะติดต่อเรา
แผนภาพโดยละเอียด
