แผ่นเวเฟอร์ SiC ขนาด 4 นิ้ว เกรด 6H กึ่งฉนวน SiC เกรดใช้งานทั่วไป เกรดวิจัย และเกรดทดลอง

คำอธิบายโดยย่อ:

แผ่นรองพื้นซิลิคอนคาร์ไบด์กึ่งฉนวนผลิตขึ้นโดยการตัด การเจียร การขัด การทำความสะอาด และเทคโนโลยีการแปรรูปอื่นๆ หลังจากปลูกผลึกซิลิคอนคาร์ไบด์กึ่งฉนวนแล้ว จากนั้นจึงปลูกผลึกชั้นเดียวหรือหลายชั้นบนแผ่นรองพื้นที่มีคุณภาพตรงตามข้อกำหนดแบบเอพิแท็กซี แล้วจึงสร้างอุปกรณ์ไมโครเวฟ RF โดยการออกแบบวงจรและการบรรจุภัณฑ์ มีจำหน่ายในขนาด 2 นิ้ว 3 นิ้ว 4 นิ้ว 6 นิ้ว และ 8 นิ้ว สำหรับใช้ในอุตสาหกรรม การวิจัย และการทดสอบ


คุณสมบัติ

ข้อมูลจำเพาะของผลิตภัณฑ์

ระดับ

เกรดการผลิตศูนย์ MPD (เกรด Z)

เกรดการผลิตมาตรฐาน (เกรด P)

เกรดจำลอง (เกรด D)

 
เส้นผ่านศูนย์กลาง 99.5 มม. ถึง 100.0 มม.  
  4H-SI 500 μm±20 μm

500 μm±25 μm

 
การวางแนวเวเฟอร์  

 

นอกแกน: 4.0° ไปทาง < 1120 > ±0.5° สำหรับ 4H-N, บนแกน: <0001>±0.5° สำหรับ 4H-SI

 
  4H-SI

≤1 ซม.-2

≤5 ซม.-2

≤15 ซม.-2

 
  4H-SI

≥1E9 โอห์ม·ซม.

≥1E5 โอห์ม·ซม.

 
การวางแนวระนาบหลัก

{10-10} ±5.0°

 
ความยาวแบนหลัก 32.5 มม. ± 2.0 มม.  
ความยาวแบนรอง 18.0 มม. ± 2.0 มม.  
การวางแนวราบรอง

ด้านซิลิโคนหงายขึ้น: 90° ตามเข็มนาฬิกา จากระนาบเรียบหลัก ±5.0°

 
การยกเว้นขอบ

3 มม.

 
แอลทีวี/ทีทีวี/โบว์/วาร์ป ≤3 ไมโครเมตร/≤5 ไมโครเมตร/≤15 ไมโครเมตร/≤30 ไมโครเมตร ≤10 ไมโครเมตร/≤15 ไมโครเมตร/≤25 ไมโครเมตร/≤40 ไมโครเมตร  
 

ความหยาบ

ซีเฟซ

    ขัด Ra≤1 nm

ซีเฟซ

ซีเอ็มพี Ra≤0.2 nm    

Ra≤0.5 nm

รอยแตกตามขอบที่เกิดจากแสงความเข้มสูง

ไม่มี

ความยาวรวม ≤ 10 มม. ต่อเส้น

ความยาว ≤2 มม.

 
แผ่นหกเหลี่ยมด้วยแสงความเข้มสูง พื้นที่สะสม ≤0.05% พื้นที่สะสม ≤0.1%  
พื้นที่โพลีไทป์ด้วยแสงความเข้มสูง

ไม่มี

พื้นที่สะสม ≤3%  
สิ่งเจือปนคาร์บอนที่มองเห็นได้ พื้นที่สะสม ≤0.05% พื้นที่สะสม ≤3%  
รอยขีดข่วนบนพื้นผิวซิลิคอนจากแสงความเข้มสูง  

ไม่มี

ความยาวสะสม ≤ 1 * เส้นผ่านศูนย์กลางของแผ่นเวเฟอร์  
ขอบบิ่นเนื่องจากแสงความเข้มสูง ไม่อนุญาตให้มีความกว้างและความลึก ≥0.2 มม. อนุญาตให้มี 5 ชิ้น โดยแต่ละชิ้นต้องมีขนาดไม่เกิน 1 มม.  
การปนเปื้อนของพื้นผิวซิลิคอนด้วยความเข้มสูง

ไม่มี

 
บรรจุภัณฑ์

ตลับเวเฟอร์หลายแผ่น หรือ ตลับเวเฟอร์แผ่นเดียว

 

แผนภาพโดยละเอียด

แผนภาพโดยละเอียด (1)
แผนภาพโดยละเอียด (2)

  • ก่อนหน้า:
  • ต่อไป:

  • เขียนข้อความของคุณที่นี่แล้วส่งมาให้เรา