SiC Wafers 6H กึ่งฉนวน SiC ขนาด 4 นิ้ว พื้นผิวไพรม์ เกรดวิจัย และเกรดจำลอง

คำอธิบายสั้น:

พื้นผิวซิลิกอนคาร์ไบด์กึ่งฉนวนเกิดขึ้นจากการตัด การบด การขัดเงา การทำความสะอาด และเทคโนโลยีการประมวลผลอื่น ๆ หลังจากการเจริญเติบโตของผลึกซิลิกอนคาร์ไบด์กึ่งฉนวนชั้นคริสตัลหลายชั้นหรือหลายชั้นถูกปลูกบนพื้นผิวที่ตรงตามข้อกำหนดด้านคุณภาพเป็น epitaxy จากนั้นอุปกรณ์ RF ไมโครเวฟจะถูกสร้างขึ้นโดยการรวมการออกแบบวงจรและบรรจุภัณฑ์มีจำหน่ายเป็นพื้นผิวผลึกเดี่ยวซิลิกอนคาร์ไบด์กึ่งฉนวนเกรดอุตสาหกรรม 2 นิ้ว 3 นิ้ว 4 นิ้ว 6 นิ้ว 8 นิ้ว


รายละเอียดผลิตภัณฑ์

แท็กสินค้า

คุณสมบัติของผลิตภัณฑ์

ระดับ

เกรดการผลิต MPD เป็นศูนย์ (เกรด Z)

เกรดการผลิตมาตรฐาน (เกรด P)

เกรดจำลอง (เกรด D)

 
เส้นผ่านศูนย์กลาง 99.5 มม.~100.0 มม  
  4H-SI 500 ไมโครเมตร±20 ไมโครเมตร

500 ไมโครเมตร±25 ไมโครเมตร

 
การวางแนวเวเฟอร์  

 

แกนปิด : 4.0° ไปทาง < 1120 > ±0.5° สำหรับ 4H-N, บนแกน : <0001>±0.5° สำหรับ 4H-SI

 
  4H-SI

≤1ซม-2

≤5 ซม-2

≤15 ซม-2

 
  4H-SI

≥1E9 Ω·ซม

≥1E5 Ω·ซม

 
ปฐมนิเทศแบนหลัก

{10-10} ±5.0°

 
ความยาวแบนหลัก 32.5 มม.±2.0 มม  
ความยาวแบนรอง 18.0 มม.±2.0 มม  
การวางแนวแบนรอง

ซิลิคอนหงายขึ้น: 90° CWจากไพร์มแฟลต ±5.0°

 
การยกเว้นขอบ

3 มม

 
LTV/TTV/โบว์/วิปริต ≤3 ไมโครเมตร/≤5 ไมโครเมตร/≤15 ไมโครเมตร/≤30 ไมโครเมตร ≤10 ไมโครเมตร/≤15 ไมโครเมตร/≤25 ไมโครเมตร/≤40 ไมโครเมตร  
 

ความหยาบ

หน้าซี

    ขัด Ra≤1 นาโนเมตร

หน้าศรี

ซีเอ็มพี Ra≤0.2 นาโนเมตร    

Ra≤0.5 นาโนเมตร

ขอบแตกด้วยแสงความเข้มสูง

ไม่มี

ความยาวสะสม ≤ 10 มม. เดี่ยว

ความยาว≤2มม

 
แผ่นหกเหลี่ยมด้วยแสงความเข้มสูง พื้นที่สะสม ≤0.05% พื้นที่สะสม ≤0.1%  
พื้นที่โพลีไทป์ด้วยแสงความเข้มสูง

ไม่มี

พื้นที่สะสม≤3%  
การรวม Visual Carbon พื้นที่สะสม ≤0.05% พื้นที่สะสม ≤3%  
พื้นผิวซิลิคอนมีรอยขีดข่วนด้วยแสงความเข้มสูง  

ไม่มี

ความยาวสะสม≤1 * เส้นผ่านศูนย์กลางเวเฟอร์  
Edge Chips สูงตามความเข้มของแสง ไม่อนุญาตให้มีความกว้างและความลึก≥0.2มม อนุญาต 5 อัน แต่ละอัน ≤1 มม  
การปนเปื้อนพื้นผิวซิลิคอนด้วยความเข้มสูง

ไม่มี

 
บรรจุภัณฑ์

Multi-wafer Cassette หรือ Single Wafer Container

 

แผนภาพโดยละเอียด

แผนภาพรายละเอียด (1)
แผนภาพรายละเอียด (2)

  • ก่อนหน้า:
  • ต่อไป:

  • เขียนข้อความของคุณที่นี่แล้วส่งมาให้เรา