เวเฟอร์ LNOI แผ่นฟิล์มผลึกเดี่ยวลิเธียมไนโอเบตขนาด 4 นิ้วและ 6 นิ้ว
ขั้นตอนการเตรียมวัสดุ LNOI แบ่งออกเป็น 4 ขั้นตอนหลักๆ ดังต่อไปนี้
(1) ไอออนถูกฉีดเข้าไปในวัสดุลิเธียมไนโอเบตแบบตัด X ที่พลังงานระดับหนึ่ง และถูกนำเข้าไปในชั้นข้อบกพร่องที่ความลึกระดับหนึ่งใต้ชั้นผิวของลิเธียมไนโอเบต
(2) วัสดุลิเธียมไนโอเบตที่ฝังไอออนจะถูกยึดติดกับพื้นผิวซิลิกอนด้วยชั้นออกไซด์เพื่อสร้างโครงสร้างพันธะ
(3) โครงสร้างพันธะได้รับการอบอ่อนเพื่อให้ข้อบกพร่องที่เกิดจากการปลูกถ่ายไอออนฮีเลียมพัฒนาและรวมตัวกันจนเกิดรอยแตก ในที่สุด ลิเธียมไนโอเบตจะถูกแยกออกตามชั้นข้อบกพร่องเพื่อสร้างชิ้นลิเธียมไนโอเบตที่เหลือและเวเฟอร์ LNOI
การใช้งานและข้อดีของเวเฟอร์ LNOI
1--ฟิล์มเพียโซอิเล็กทริกลิเธียมไนโอเบต (LNOI) มีค่าสัมประสิทธิ์เพียโซอิเล็กทริกและค่าคงที่ไดอิเล็กทริกสูง ซึ่งสามารถแปลงพลังงานกลเป็นพลังงานไฟฟ้าหรือพลังงานไฟฟ้าเป็นพลังงานกลได้ ดังนั้นจึงใช้กันอย่างแพร่หลายในด้านเซ็นเซอร์ เช่น เซ็นเซอร์แรงดัน เซ็นเซอร์ความเร่ง เซ็นเซอร์อุณหภูมิ เป็นต้น นอกจากนี้ ฟิล์มเพียโซอิเล็กทริกลิเธียมไนโอเบตยังสามารถใช้ในอุปกรณ์อะคูสติกและอุปกรณ์สั่นสะเทือน เช่น ตัวแปลงสัญญาณเซรามิกเพียโซอิเล็กทริก ตัวกรองเซรามิกเพียโซอิเล็กทริกที่ซับซ้อน
2- ความเสถียรของฟิล์มพีโซอิเล็กทริกลิเธียมไนโอเบตยังเป็นข้อดีอีกประการหนึ่ง เนื่องจากความเสถียรของโครงสร้างผลึกและความเฉื่อยทางเคมี ฟิล์มพีโซอิเล็กทริกลิเธียมไนโอเบตจึงสามารถทำงานในอุณหภูมิสูง ความชื้นสูง กรดเข้มข้น ด่างเข้มข้น และสภาพแวดล้อมที่รุนแรงอื่นๆ ได้ โดยมีความต้านทานการกัดกร่อนและความทนทานที่ดี
3-ฟิล์มพีโซอิเล็กทริกลิเธียมไนโอเบตเป็นวัสดุพีโซอิเล็กทริกชนิดใหม่ที่มีประสิทธิภาพและความเสถียรที่ยอดเยี่ยม และมีแนวโน้มการใช้งานที่กว้างขวาง ด้วยการพัฒนาอย่างต่อเนื่องของวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี ฟิล์มพีโซอิเล็กทริกลิเธียมไนโอเบตจะถูกนำไปใช้ในเมืองต่างๆ มากขึ้น ทำให้ชีวิตผู้คนสะดวกสบายและสร้างสรรค์มากขึ้น
แผนภาพรายละเอียด
