เวเฟอร์ฟิล์มผลึกเดี่ยวลิเธียมไนโอเบตขนาด 4 นิ้ว 6 นิ้ว LNOI
ขั้นตอนการเตรียมวัสดุ LNOI แบ่งออกเป็น 4 ขั้นตอนหลักๆ ดังต่อไปนี้
(1) ไอออนถูกฉีดเข้าไปในวัสดุลิเธียมไนโอเบตแบบ X-cut ที่พลังงานที่กำหนด และนำเข้าไปในชั้นที่มีข้อบกพร่องที่ความลึกที่กำหนดใต้ชั้นผิวของลิเธียมไนโอเบต
(2) วัสดุลิเธียมไนโอเบตที่ฝังไอออนจะถูกเชื่อมเข้ากับซับสเตรตซิลิกอนด้วยชั้นออกไซด์เพื่อสร้างโครงสร้างการเชื่อม
(3) โครงสร้างพันธะถูกอบอ่อนเพื่อทำให้ข้อบกพร่องที่เกิดจากการปลูกถ่ายไอออนฮีเลียมค่อยๆ พัฒนาและรวมตัวกันจนเกิดรอยแตก ในที่สุด ลิเธียมไนโอเบตจะถูกแยกออกตามชั้นข้อบกพร่องเพื่อสร้างชิ้นลิเธียมไนโอเบตที่เหลือและเวเฟอร์ LNOI
การใช้งานและข้อดีของเวเฟอร์ LNOI
1. ฟิล์มเพียโซอิเล็กทริกลิเธียมไนโอเบต (LNOI) มีค่าสัมประสิทธิ์เพียโซอิเล็กทริกและค่าคงที่ไดอิเล็กทริกสูง ซึ่งสามารถแปลงพลังงานกลเป็นพลังงานไฟฟ้า หรือพลังงานไฟฟ้าเป็นพลังงานกลได้ ดังนั้นจึงมีการใช้กันอย่างแพร่หลายในด้านเซ็นเซอร์ เช่น เซ็นเซอร์ความดัน เซ็นเซอร์ความเร่ง เซ็นเซอร์อุณหภูมิ และอื่นๆ นอกจากนี้ ฟิล์มเพียโซอิเล็กทริกลิเธียมไนโอเบตยังสามารถนำไปใช้ในอุปกรณ์อะคูสติกและอุปกรณ์สั่นสะเทือน เช่น ตัวแปลงสัญญาณเซรามิกเพียโซอิเล็กทริกที่ซับซ้อนและตัวกรองเซรามิกเพียโซอิเล็กทริก
2-ฟิล์มเพียโซอิเล็กทริกลิเธียมไนโอเบตมีความเสถียรและเป็นหนึ่งในข้อได้เปรียบ ด้วยความเสถียรของโครงสร้างผลึกและความเฉื่อยทางเคมี ฟิล์มเพียโซอิเล็กทริกลิเธียมไนโอเบตจึงสามารถทำงานในอุณหภูมิสูง ความชื้นสูง กรดเข้มข้น ด่างเข้มข้น และสภาพแวดล้อมที่รุนแรงอื่นๆ ได้อย่างมีประสิทธิภาพ ทนทานต่อการกัดกร่อนได้ดี
3-ฟิล์มเพียโซอิเล็กทริกลิเธียมไนโอเบตเป็นวัสดุเพียโซอิเล็กทริกชนิดใหม่ที่มีประสิทธิภาพและความเสถียรที่ยอดเยี่ยม และมีแนวโน้มการใช้งานที่กว้างขวาง ด้วยการพัฒนาอย่างต่อเนื่องของวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี ฟิล์มเพียโซอิเล็กทริกลิเธียมไนโอเบตจะถูกนำไปใช้ในเมืองต่างๆ มากขึ้น เพื่อเพิ่มความสะดวกสบายและนวัตกรรมให้กับชีวิตผู้คน
แผนภาพรายละเอียด
