4 นิ้ว 6 นิ้วลิเธียม niobate ฟิล์มผลึกเดี่ยว LNOI เวเฟอร์
กระบวนการเตรียมวัสดุ LNOI แบ่งออกเป็นสี่ขั้นตอนหลักๆ ดังต่อไปนี้
(1) ไอออนถูกฉีดเข้าไปในวัสดุลิเธียมไนโอเบต X-cut ด้วยพลังงานจำนวนหนึ่ง และนำเข้าไปในชั้นข้อบกพร่องที่ระดับความลึกหนึ่งด้านล่างชั้นผิวของลิเธียมไนโอเบต
(2) วัสดุลิเธียมไนโอเบตที่ฝังไอออนนั้นถูกพันธะกับสารตั้งต้นซิลิกอนด้วยชั้นออกไซด์เพื่อสร้างโครงสร้างพันธะ
(3) โครงสร้างพันธะถูกอบอ่อนเพื่อทำให้ข้อบกพร่องที่เกิดจากการปลูกถ่ายไอออนของ He มีวิวัฒนาการและรวมตัวกันเพื่อสร้างรอยแตก ในที่สุด ลิเธียมไนโอเบตก็ถูกแยกออกจากชั้นที่มีข้อบกพร่องเพื่อสร้างชิ้นลิเธียมไนโอเบตที่เหลือและเวเฟอร์ LNOI
การใช้งานและข้อดีของเวเฟอร์ LNOI
1 - ฟิล์มเพียโซอิเล็กทริกลิเธียมไนโอเบต (LNOI) มีค่าสัมประสิทธิ์เพียโซอิเล็กทริกและค่าคงที่ไดอิเล็กทริกสูง ซึ่งสามารถแปลงพลังงานกลเป็นพลังงานไฟฟ้าหรือพลังงานไฟฟ้าเป็นพลังงานกล ดังนั้นจึงมีการใช้กันอย่างแพร่หลายในด้านเซ็นเซอร์ เช่น เซ็นเซอร์ความดัน เซ็นเซอร์เร่งความเร็ว เซ็นเซอร์อุณหภูมิ และอื่นๆ นอกจากนี้ ฟิล์มเพียโซอิเล็กทริกลิเธียมไนโอเบตยังสามารถใช้ในอุปกรณ์อะคูสติกและอุปกรณ์สั่นสะเทือน เช่นตัวกรองเซรามิกเพียโซอิเล็กทริกทรานสดิวเซอร์เซรามิกที่ซับซ้อน
2- ความเสถียรของฟิล์มเพียโซอิเล็กทริกลิเธียมไนโอเบตก็เป็นหนึ่งในข้อดีของมันเช่นกัน เนื่องจากความเสถียรของโครงสร้างผลึกและความเฉื่อยทางเคมี ฟิล์มลิเธียมเพียโซอิเล็กทริกไนโอเบตจึงสามารถทำงานในอุณหภูมิสูง ความชื้นสูง กรดแก่ ด่างแก่ และสภาพแวดล้อมที่รุนแรงอื่น ๆ โดยมีความต้านทานการกัดกร่อนและความทนทานที่ดี
ฟิล์มเพียโซอิเล็กทริก 3-ลิเธียมไนโอเบตเป็นวัสดุเพียโซอิเล็กทริกใหม่ที่มีประสิทธิภาพและความเสถียรที่ยอดเยี่ยม และมีโอกาสนำไปใช้อย่างกว้างขวาง ด้วยการพัฒนาทางวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีอย่างต่อเนื่อง ฟิล์มลิเธียมเพียโซอิเล็กทริกไนโอเบตจะถูกนำไปใช้ในเมืองต่างๆ มากขึ้น นำความสะดวกสบายและนวัตกรรมมาสู่ชีวิตของผู้คนมากขึ้น
แผนภาพโดยละเอียด
