แผ่นเวเฟอร์ลิเธียมไนโอเบตขนาด 8 นิ้ว (LiNbO3 LN wafer)
ข้อมูลโดยละเอียด
| เส้นผ่านศูนย์กลาง | 200±0.2 มม. |
| ความราบเรียบอย่างมาก | 57.5 มม. รอยบาก |
| ปฐมนิเทศ | 128Y-Cut, X-Cut, Z-Cut |
| ความหนา | 0.5±0.025 มม., 1.0±0.025 มม. |
| พื้นผิว | DSP และ SSP |
| ทีทีวี | < 5 µm |
| โค้งคำนับ | ± (20µm ~40um) |
| วาร์ป | <= 20 µm ~ 50 µm |
| LTV (5 มม. x 5 มม.) | <1.5 ไมโครเมตร |
| PLTV (<0.5um) | ≥98% (5 มม.*5 มม.) โดยไม่รวมขอบ 2 มม. |
| Ra | Ra<=5A |
| ขูดและขุด (S/D) | 20/10, 40/20, 60/40 |
| ขอบ | พบกับ SEMI M1.2@with GC800# รุ่นปกติแบบ C |
ข้อกำหนดเฉพาะ
เส้นผ่านศูนย์กลาง: 8 นิ้ว (ประมาณ 200 มม.)
ความหนา: ความหนามาตรฐานทั่วไปอยู่ระหว่าง 0.5 มม. ถึง 1 มม. สามารถปรับแต่งความหนาอื่นๆ ได้ตามความต้องการเฉพาะ
การจัดเรียงผลึก: การจัดเรียงผลึกที่พบได้ทั่วไปหลักๆ คือ การตัดแบบ 128Y, Z และ X และสามารถจัดหาการจัดเรียงผลึกแบบอื่นๆ ได้ขึ้นอยู่กับการใช้งานเฉพาะด้าน
ข้อดีด้านขนาด: อาหารเม็ดสำหรับปลาคาร์พเซอราต้าขนาด 8 นิ้ว มีข้อดีหลายประการเมื่อเทียบกับอาหารเม็ดขนาดเล็กกว่า:
พื้นที่ขนาดใหญ่กว่า: เมื่อเทียบกับเวเฟอร์ขนาด 6 นิ้วหรือ 4 นิ้ว เวเฟอร์ขนาด 8 นิ้วมีพื้นที่ผิวมากกว่าและสามารถรองรับอุปกรณ์และวงจรรวมได้มากขึ้น ส่งผลให้ประสิทธิภาพการผลิตและผลผลิตเพิ่มขึ้น
ความหนาแน่นสูงขึ้น: การใช้เวเฟอร์ขนาด 8 นิ้ว ทำให้สามารถสร้างอุปกรณ์และส่วนประกอบได้มากขึ้นในพื้นที่เดียวกัน ซึ่งช่วยเพิ่มการรวมวงจรและความหนาแน่นของอุปกรณ์ ส่งผลให้ประสิทธิภาพของอุปกรณ์ดีขึ้น
ความสม่ำเสมอที่ดีกว่า: แผ่นเวเฟอร์ขนาดใหญ่มีความสม่ำเสมอที่ดีกว่าในกระบวนการผลิต ช่วยลดความผันแปรในกระบวนการผลิต และปรับปรุงความน่าเชื่อถือและความสม่ำเสมอของผลิตภัณฑ์
แผ่นเวเฟอร์ L และ LN ขนาด 8 นิ้ว มีเส้นผ่านศูนย์กลางเท่ากับแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนทั่วไปและเชื่อมต่อได้ง่าย จึงเป็นวัสดุ "ตัวกรอง SAW แบบต่อเชื่อม" ประสิทธิภาพสูงที่สามารถรองรับย่านความถี่สูงได้
แผนภาพโดยละเอียด
