เวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ SiC ขนาด 6 นิ้ว 150 มม. ชนิด 4H-N สำหรับการวิจัยการผลิต MOS หรือ SBD และเกรดจำลอง

คำอธิบายสั้น ๆ :

วัสดุซับสเตรตผลึกเดี่ยวของซิลิคอนคาร์ไบด์ขนาด 6 นิ้วเป็นวัสดุประสิทธิภาพสูงพร้อมคุณสมบัติทางกายภาพและเคมีที่ดีเยี่ยม ผลิตจากวัสดุผลึกเดี่ยวซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูง มีค่าการนำความร้อนที่เหนือกว่า ความเสถียรทางกล และความทนทานต่ออุณหภูมิสูง สารตั้งต้นนี้ซึ่งทำด้วยกระบวนการผลิตที่มีความแม่นยำและวัสดุคุณภาพสูง ได้กลายเป็นวัสดุที่ต้องการสำหรับการผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ประสิทธิภาพสูงในด้านต่างๆ


รายละเอียดสินค้า

แท็กสินค้า

ฟิลด์แอปพลิเคชัน

วัสดุซับสเตรตผลึกเดี่ยวของซิลิคอนคาร์ไบด์ขนาด 6 นิ้วมีบทบาทสำคัญในหลายอุตสาหกรรม ประการแรก มีการใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์สำหรับการผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์กำลังสูง เช่น ทรานซิสเตอร์กำลัง วงจรรวม และโมดูลกำลัง ค่าการนำความร้อนสูงและความต้านทานต่ออุณหภูมิสูงทำให้สามารถกระจายความร้อนได้ดีขึ้น ส่งผลให้ประสิทธิภาพและความน่าเชื่อถือดีขึ้น ประการที่สอง เวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์มีความสำคัญในด้านการวิจัยเพื่อการพัฒนาวัสดุและอุปกรณ์ใหม่ๆ นอกจากนี้ เวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ยังพบการใช้งานที่หลากหลายในด้านออปโตอิเล็กทรอนิกส์ รวมถึงการผลิต LED และไดโอดเลเซอร์

ข้อมูลจำเพาะของผลิตภัณฑ์

วัสดุซับสเตรตผลึกเดี่ยวของซิลิคอนคาร์ไบด์ขนาด 6 นิ้วมีเส้นผ่านศูนย์กลาง 6 นิ้ว (ประมาณ 152.4 มม.) ความหยาบของพื้นผิวคือ Ra <0.5 นาโนเมตร และความหนาคือ 600 ± 25 ไมโครเมตร พื้นผิวสามารถปรับแต่งได้ด้วยการนำไฟฟ้าชนิด N หรือชนิด P ตามความต้องการของลูกค้า นอกจากนี้ ยังมีความเสถียรทางกลที่ยอดเยี่ยม สามารถทนต่อแรงกดและการสั่นสะเทือนได้

เส้นผ่านศูนย์กลาง 150 ± 2.0 มม. (6 นิ้ว)

ความหนา

350 ไมโครเมตร±25ไมโครเมตร

ปฐมนิเทศ

บนแกน : <0001>±0.5°

แกนปิด:4.0° ไปทาง 1120±0.5°

โพลีไทป์ 4H

ความต้านทาน(Ω·ซม.)

4H-N

0.015~0.028 Ω·ซม./0.015~0.025โอห์ม·ซม.

4/6H-SI

>1E5

ปฐมนิเทศแนวราบ

{10-10}±5.0°

ความยาวแบนหลัก (มม.)

47.5 มม.±2.5 มม

ขอบ

แชมเฟอร์

TTV/โบว์/วาร์ป (อืม)

≤15 /≤40 /≤60

AFM Front (ซีเฟซ)

Ra≤1 นาโนเมตรของโปแลนด์

CMP Ra≤0.5 นาโนเมตร

LTV

≤3μm (10 มม. * 10 มม.)

≤5μm (10 มม. * 10 มม.)

≤10μm (10 มม. * 10 มม.)

ทีทีวี

≤5μm

≤10μm

≤15μm

เปลือกส้ม/หลุม/รอยแตก/การปนเปื้อน/คราบ/รอยริ้ว

ไม่มี ไม่มี ไม่มี

เยื้อง

ไม่มี ไม่มี ไม่มี

วัสดุซับสเตรตผลึกเดี่ยวของซิลิคอนคาร์ไบด์ขนาด 6 นิ้วเป็นวัสดุประสิทธิภาพสูงที่ใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ การวิจัย และออปโตอิเล็กทรอนิกส์ มีการนำความร้อนที่ดีเยี่ยม มีเสถียรภาพทางกล และทนต่ออุณหภูมิสูง ทำให้เหมาะสำหรับการผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์กำลังสูงและการวิจัยวัสดุใหม่ เรามีข้อกำหนดเฉพาะและตัวเลือกการปรับแต่งที่หลากหลายเพื่อตอบสนองความต้องการของลูกค้าที่หลากหลายติดต่อเราเพื่อขอรายละเอียดเพิ่มเติมเกี่ยวกับเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์!

แผนภาพโดยละเอียด

วีแชทIMG569_ (1)
วีแชทIMG569_ (2)

  • ก่อนหน้า:
  • ต่อไป:

  • เขียนข้อความของคุณที่นี่แล้วส่งมาให้เรา