เวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ SiC ขนาด 6 นิ้ว 150 มม. ประเภท 4H-N สำหรับการวิจัยการผลิต MOS หรือ SBD และเกรดจำลอง

คำอธิบายสั้น ๆ :

แผ่นซิลิกอนคาร์ไบด์ผลึกเดี่ยวขนาด 6 นิ้วเป็นวัสดุประสิทธิภาพสูงที่มีคุณสมบัติทางกายภาพและเคมีที่ยอดเยี่ยม ผลิตจากวัสดุซิลิกอนคาร์ไบด์ผลึกเดี่ยวที่มีความบริสุทธิ์สูง มีคุณสมบัติการนำความร้อน ความเสถียรเชิงกล และทนต่ออุณหภูมิสูงได้ดีเยี่ยม แผ่นซิลิกอนคาร์ไบด์ซึ่งผลิตด้วยกระบวนการผลิตที่แม่นยำและวัสดุคุณภาพสูง ได้กลายเป็นวัสดุที่ต้องการสำหรับการผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ประสิทธิภาพสูงในหลากหลายสาขา


รายละเอียดสินค้า

แท็กสินค้า

ฟิลด์แอปพลิเคชัน

แผ่นซิลิกอนคาร์ไบด์แบบผลึกเดี่ยวขนาด 6 นิ้วมีบทบาทสำคัญในอุตสาหกรรมต่างๆ ประการแรก แผ่นซิลิกอนคาร์ไบด์ใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์สำหรับการผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์กำลังสูง เช่น ทรานซิสเตอร์กำลัง วงจรรวม และโมดูลกำลัง คุณสมบัติการนำความร้อนสูงและทนต่ออุณหภูมิสูงทำให้กระจายความร้อนได้ดีขึ้น ส่งผลให้มีประสิทธิภาพและความน่าเชื่อถือที่ดีขึ้น ประการที่สอง แผ่นซิลิกอนคาร์ไบด์มีความจำเป็นในสาขาการวิจัยเพื่อพัฒนาวัสดุและอุปกรณ์ใหม่ๆ นอกจากนี้ แผ่นซิลิกอนคาร์ไบด์ยังถูกนำไปใช้ในสาขาออปโตอิเล็กทรอนิกส์อย่างกว้างขวาง รวมถึงการผลิต LED และไดโอดเลเซอร์

ข้อมูลจำเพาะผลิตภัณฑ์

แผ่นรองรับซิลิกอนคาร์ไบด์ผลึกเดี่ยวขนาด 6 นิ้วมีเส้นผ่านศูนย์กลาง 6 นิ้ว (ประมาณ 152.4 มม.) ความหยาบของพื้นผิวคือ Ra < 0.5 นาโนเมตร และความหนาคือ 600 ± 25 ไมโครเมตร แผ่นรองรับสามารถปรับแต่งค่าการนำไฟฟ้าแบบ N หรือ P ได้ตามความต้องการของลูกค้า นอกจากนี้ แผ่นรองรับยังมีเสถียรภาพเชิงกลที่ยอดเยี่ยม สามารถทนต่อแรงกดและการสั่นสะเทือนได้

เส้นผ่านศูนย์กลาง 150±2.0มม.(6นิ้ว)

ความหนา

350ไมโครเมตร±25ไมโครเมตร

ปฐมนิเทศ

บนแกน: <0001>±0.5°

นอกแกน: 4.0° ไปทาง 1120±0.5°

โพลีไทป์ 4H

ความต้านทานไฟฟ้า (Ω·cm)

4เอช-เอ็น

0.015~0.028 Ω·ซม./0.015~0.025โอห์ม·ซม.

4/6H-เอสไอ

>1E5

การวางแนวแบบแบนเบื้องต้น

{10-10}±5.0°

ความยาวแบนหลัก (มม.)

47.5 มม.±2.5 มม.

ขอบ

มุมเฉียง

TTV/คันธนู/วาร์ป (อืม)

≤15 /≤40 /≤60

ด้านหน้า AFM (Si-face)

โปแลนด์ Ra≤1 nm

CMP Ra≤0.5 นาโนเมตร

มูลค่าหลักทรัพย์ตามราคาตลาด (LTV)

≤3μm(10มม.*10มม.)

≤5ไมโครเมตร(10มม.*10มม.)

≤10ไมโครเมตร(10มม.*10มม.)

ทีทีวี

≤5ไมโครเมตร

≤10ไมโครเมตร

≤15ไมโครเมตร

เปลือกส้ม/หลุม/รอยแตก/การปนเปื้อน/คราบ/รอยขีดข่วน

ไม่มี ไม่มี ไม่มี

รอยหยัก

ไม่มี ไม่มี ไม่มี

แผ่นซิลิกอนคาร์ไบด์ผลึกเดี่ยวขนาด 6 นิ้วเป็นวัสดุประสิทธิภาพสูงที่ใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ การวิจัย และออปโตอิเล็กทรอนิกส์ โดยมีคุณสมบัติการนำความร้อน ความเสถียรทางกล และทนต่ออุณหภูมิสูงได้ดีเยี่ยม จึงเหมาะสำหรับการผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์กำลังสูงและการวิจัยวัสดุใหม่ เราจัดเตรียมข้อมูลจำเพาะและตัวเลือกการปรับแต่งต่างๆ เพื่อตอบสนองความต้องการที่หลากหลายของลูกค้าติดต่อเราเพื่อดูรายละเอียดเพิ่มเติมเกี่ยวกับเวเฟอร์ซิลิกอนคาร์ไบด์!

แผนภาพรายละเอียด

วีแชทIMG569_ (1)
วีแชทIMG569_ (2)

  • ก่อนหน้า:
  • ต่อไป:

  • เขียนข้อความของคุณที่นี่และส่งถึงเรา