เวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ SiC ขนาด 6 นิ้ว 150 มม. ชนิด 4H-N สำหรับการวิจัยการผลิต MOS หรือ SBD และเกรดจำลอง
ฟิลด์แอปพลิเคชัน
วัสดุซับสเตรตผลึกเดี่ยวของซิลิคอนคาร์ไบด์ขนาด 6 นิ้วมีบทบาทสำคัญในหลายอุตสาหกรรม ประการแรก มีการใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์สำหรับการผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์กำลังสูง เช่น ทรานซิสเตอร์กำลัง วงจรรวม และโมดูลกำลัง ค่าการนำความร้อนสูงและความต้านทานต่ออุณหภูมิสูงทำให้สามารถกระจายความร้อนได้ดีขึ้น ส่งผลให้ประสิทธิภาพและความน่าเชื่อถือดีขึ้น ประการที่สอง เวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์มีความสำคัญในด้านการวิจัยเพื่อการพัฒนาวัสดุและอุปกรณ์ใหม่ๆ นอกจากนี้ เวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ยังพบการใช้งานที่หลากหลายในด้านออปโตอิเล็กทรอนิกส์ รวมถึงการผลิต LED และไดโอดเลเซอร์
ข้อมูลจำเพาะของผลิตภัณฑ์
วัสดุซับสเตรตผลึกเดี่ยวของซิลิคอนคาร์ไบด์ขนาด 6 นิ้วมีเส้นผ่านศูนย์กลาง 6 นิ้ว (ประมาณ 152.4 มม.) ความหยาบของพื้นผิวคือ Ra <0.5 นาโนเมตร และความหนาคือ 600 ± 25 ไมโครเมตร พื้นผิวสามารถปรับแต่งได้ด้วยการนำไฟฟ้าชนิด N หรือชนิด P ตามความต้องการของลูกค้า นอกจากนี้ ยังมีความเสถียรทางกลที่ยอดเยี่ยม สามารถทนต่อแรงกดและการสั่นสะเทือนได้
เส้นผ่านศูนย์กลาง | 150 ± 2.0 มม. (6 นิ้ว) | ||||
ความหนา | 350 ไมโครเมตร±25ไมโครเมตร | ||||
ปฐมนิเทศ | บนแกน : <0001>±0.5° | แกนปิด:4.0° ไปทาง 1120±0.5° | |||
โพลีไทป์ | 4H | ||||
ความต้านทาน(Ω·ซม.) | 4H-N | 0.015~0.028 Ω·ซม./0.015~0.025โอห์ม·ซม. | |||
4/6H-SI | >1E5 | ||||
ปฐมนิเทศแนวราบ | {10-10}±5.0° | ||||
ความยาวแบนหลัก (มม.) | 47.5 มม.±2.5 มม | ||||
ขอบ | แชมเฟอร์ | ||||
TTV/โบว์/วาร์ป (อืม) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
AFM Front (ซีเฟซ) | Ra≤1 นาโนเมตรของโปแลนด์ | ||||
CMP Ra≤0.5 นาโนเมตร | |||||
LTV | ≤3μm (10 มม. * 10 มม.) | ≤5μm (10 มม. * 10 มม.) | ≤10μm (10 มม. * 10 มม.) | ||
ทีทีวี | ≤5μm | ≤10μm | ≤15μm | ||
เปลือกส้ม/หลุม/รอยแตก/การปนเปื้อน/คราบ/รอยริ้ว | ไม่มี | ไม่มี | ไม่มี | ||
เยื้อง | ไม่มี | ไม่มี | ไม่มี |
วัสดุซับสเตรตผลึกเดี่ยวของซิลิคอนคาร์ไบด์ขนาด 6 นิ้วเป็นวัสดุประสิทธิภาพสูงที่ใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ การวิจัย และออปโตอิเล็กทรอนิกส์ มีการนำความร้อนที่ดีเยี่ยม มีเสถียรภาพทางกล และทนต่ออุณหภูมิสูง ทำให้เหมาะสำหรับการผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์กำลังสูงและการวิจัยวัสดุใหม่ เรามีข้อกำหนดเฉพาะและตัวเลือกการปรับแต่งที่หลากหลายเพื่อตอบสนองความต้องการของลูกค้าที่หลากหลายติดต่อเราเพื่อขอรายละเอียดเพิ่มเติมเกี่ยวกับเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์!