เวเฟอร์พื้นผิว HPSI SiC ขนาด 6 นิ้วซิลิคอนคาร์ไบด์เวเฟอร์ SiC แบบกึ่งดูถูก

คำอธิบายสั้น:

เวเฟอร์ SiC ผลึกเดี่ยวคุณภาพสูง (ซิลิคอนคาร์ไบด์จาก SICC) สำหรับอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์และออปโตอิเล็กทรอนิกส์เวเฟอร์ SiC ขนาด 3 นิ้วเป็นวัสดุเซมิคอนดักเตอร์รุ่นต่อไป ซึ่งเป็นเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์กึ่งฉนวนที่มีเส้นผ่านศูนย์กลาง 3 นิ้วเวเฟอร์นี้มีไว้สำหรับการผลิตอุปกรณ์กำลัง อุปกรณ์ RF และอุปกรณ์ออปโตอิเล็กทรอนิกส์

ส่งอีเมลถึงเรา

รายละเอียดผลิตภัณฑ์

แท็กสินค้า

เทคโนโลยีการเจริญเติบโต PVT ซิลิคอนคาร์ไบด์คริสตัล SiC

วิธีการเจริญเติบโตในปัจจุบันสำหรับผลึกเดี่ยว SiC ส่วนใหญ่ประกอบด้วยสามวิธีต่อไปนี้: วิธีเฟสของเหลว วิธีการสะสมไอสารเคมีที่อุณหภูมิสูง และวิธีการขนส่งเฟสไอทางกายภาพ (PVT)ในบรรดาวิธีเหล่านั้น วิธี PVT เป็นเทคโนโลยีที่ได้รับการวิจัยและเติบโตเต็มที่ที่สุดสำหรับการเติบโตของผลึกเดี่ยว SiC และปัญหาทางเทคนิค ได้แก่:

(1) SiC ผลึกเดี่ยวในอุณหภูมิสูง 2,300 ° C เหนือห้องกราไฟท์แบบปิดเพื่อให้กระบวนการตกผลึกการแปลง "ของแข็ง - ก๊าซ - ของแข็ง" สมบูรณ์ วงจรการเติบโตนั้นยาวนาน ควบคุมได้ยาก และมีแนวโน้มที่จะเกิด microtubules การรวมและ ข้อบกพร่องอื่น ๆ

(2) ผลึกเดี่ยวซิลิคอนคาร์ไบด์รวมถึงคริสตัลที่แตกต่างกันมากกว่า 200 ชนิด แต่โดยทั่วไปการผลิตคริสตัลประเภทเดียวเท่านั้น ง่ายต่อการผลิตการเปลี่ยนแปลงประเภทคริสตัลในกระบวนการเติบโตส่งผลให้เกิดข้อบกพร่องการรวมหลายประเภท กระบวนการเตรียมการของผลึกเดี่ยว ประเภทคริสตัลเฉพาะนั้นควบคุมความเสถียรของกระบวนการได้ยาก เช่น กระแสหลักในปัจจุบันของประเภท 4H

(3) สนามความร้อนการเจริญเติบโตของผลึกเดี่ยวของซิลิคอนคาร์ไบด์มีการไล่ระดับอุณหภูมิ ส่งผลให้กระบวนการเจริญเติบโตของผลึกมีความเครียดภายในดั้งเดิม และส่งผลให้เกิดความคลาดเคลื่อน ความผิดพลาด และข้อบกพร่องอื่น ๆ ที่เกิดขึ้น

(4) กระบวนการเติบโตของผลึกเดี่ยวของซิลิคอนคาร์ไบด์จำเป็นต้องควบคุมสิ่งสกปรกภายนอกอย่างเคร่งครัด เพื่อให้ได้คริสตัลกึ่งฉนวนที่มีความบริสุทธิ์สูงมากหรือคริสตัลนำไฟฟ้าที่เจือในทิศทางสำหรับซับสเตรตซิลิคอนคาร์ไบด์กึ่งฉนวนที่ใช้ในอุปกรณ์ RF จำเป็นต้องบรรลุคุณสมบัติทางไฟฟ้าโดยการควบคุมความเข้มข้นของสิ่งเจือปนที่ต่ำมากและข้อบกพร่องเฉพาะจุดในคริสตัล