เวเฟอร์ลิเธียมไนโอเบต 8 นิ้ว เวเฟอร์ LiNbO3 LN
ข้อมูลรายละเอียด
เส้นผ่านศูนย์กลาง | 200±0.2 มม. |
ความแบนราบหลัก | 57.5 มม. รอยบาก |
ปฐมนิเทศ | 128Y-Cut, X-Cut, Z-Cut |
ความหนา | 0.5±0.025 มม., 1.0±0.025 มม. |
พื้นผิว | DSP และ SSP |
ทีทีวี | < 5 ไมโครเมตร |
โค้งคำนับ | ± (20µm ~40um ) |
การบิดเบี้ยว | <= 20µm ~ 50µm |
LTV (5มม.x5มม.) | <1.5 ไมโครเมตร |
PLTV(<0.5um) | ≥98% (5มม.*5มม.) โดยไม่รวมขอบ 2 มม. |
Ra | รา<=5เอ |
สแครช แอนด์ ดิก (S/D) | 20/10, 40/20, 60/40 |
ขอบ | พบกับ SEMI M1.2@พร้อม GC800# ปกติที่ประเภท C |
ข้อมูลจำเพาะเฉพาะ
เส้นผ่านศูนย์กลาง :8 นิ้ว (ประมาณ 200 มม.)
ความหนา: ความหนามาตรฐานทั่วไปมีตั้งแต่ 0.5 มม. ถึง 1 มม. ความหนาอื่นๆ สามารถปรับแต่งได้ตามความต้องการเฉพาะ
การวางแนวคริสตัล: การวางแนวคริสตัลหลักทั่วไปคือการวางแนวคริสตัลแบบตัด 128Y, ตัดแบบ Z และตัดแบบ X และสามารถให้การวางแนวคริสตัลแบบอื่นได้ ขึ้นอยู่กับการใช้งานเฉพาะ
ข้อดีของขนาด: เวเฟอร์ปลาคาร์ปเซอร์ราตาขนาด 8 นิ้วมีข้อดีด้านขนาดหลายประการเหนือเวเฟอร์ขนาดเล็กกว่า:
พื้นที่ขนาดใหญ่กว่า: เมื่อเปรียบเทียบกับเวเฟอร์ขนาด 6 นิ้วหรือ 4 นิ้ว เวเฟอร์ขนาด 8 นิ้วจะมีพื้นที่ผิวที่ใหญ่กว่าและสามารถรองรับอุปกรณ์และวงจรรวมได้มากขึ้น ส่งผลให้ประสิทธิภาพการผลิตและผลผลิตเพิ่มขึ้น
ความหนาแน่นที่สูงขึ้น: การใช้เวเฟอร์ขนาด 8 นิ้วทำให้สามารถสร้างอุปกรณ์และส่วนประกอบต่างๆ ได้มากขึ้นในพื้นที่เดียวกัน เพิ่มการบูรณาการและความหนาแน่นของอุปกรณ์ ซึ่งจะช่วยเพิ่มประสิทธิภาพของอุปกรณ์ในที่สุด
ความสม่ำเสมอที่ดีขึ้น: เวเฟอร์ขนาดใหญ่จะมีความสม่ำเสมอที่ดีขึ้นในกระบวนการผลิต ช่วยลดความแปรปรวนในกระบวนการผลิต และปรับปรุงความน่าเชื่อถือและความสม่ำเสมอของผลิตภัณฑ์
เวเฟอร์ L และ LN ขนาด 8 นิ้ว มีเส้นผ่านศูนย์กลางเท่ากับเวเฟอร์ซิลิคอนทั่วไป และยึดติดได้ง่าย ใช้เป็นวัสดุ "joipped SAW filter" ประสิทธิภาพสูงที่สามารถรองรับย่านความถี่สูงได้
แผนภาพรายละเอียด



