เวเฟอร์ลิเธียม Niobate Wafer LiNbO3 LN ขนาด 8 นิ้ว
ข้อมูลโดยละเอียด
เส้นผ่านศูนย์กลาง | 200±0.2มม |
ความเรียบที่สำคัญ | 57.5 มม. มีรอยบาก |
ปฐมนิเทศ | 128Y-ตัด, X-ตัด, Z-ตัด |
ความหนา | 0.5±0.025มม., 1.0±0.025มม |
พื้นผิว | DSP และ SSP |
ทีทีวี | < 5µm |
โค้งคำนับ | ± (20µm ~40um ) |
วาร์ป | <= 20µm ~ 50µm |
LTV (5มม.x5มม.) | <1.5 หนอ |
PLTV(<0.5um) | ≥98% (5 มม. * 5 มม.) โดยไม่รวมขอบ 2 มม |
Ra | รา<=5A |
ขูดและขุด (S/D) | 20/10, 40/20, 60/40 |
ขอบ | พบกับ SEMI M1.2@กับ GC800# ปกติที่ประเภท C |
ข้อกำหนดเฉพาะ
เส้นผ่านศูนย์กลาง: 8 นิ้ว (ประมาณ 200 มม.)
ความหนา: ความหนามาตรฐานทั่วไปมีตั้งแต่ 0.5 มม. ถึง 1 มม. ความหนาอื่น ๆ สามารถปรับแต่งได้ตามความต้องการเฉพาะ
การวางแนวคริสตัล: การวางแนวคริสตัลทั่วไปหลักคือการวางแนวคริสตัล 128Y-cut, Z-cut และ X-cut และสามารถให้การวางแนวคริสตัลอื่น ๆ ได้ขึ้นอยู่กับการใช้งานเฉพาะ
ข้อดีด้านขนาด: เวเฟอร์ปลาคาร์พ Serrata ขนาด 8 นิ้วมีข้อดีหลายขนาดมากกว่าเวเฟอร์ขนาดเล็ก:
พื้นที่ขนาดใหญ่: เมื่อเปรียบเทียบกับเวเฟอร์ขนาด 6 นิ้วหรือ 4 นิ้ว เวเฟอร์ขนาด 8 นิ้วให้พื้นที่ผิวที่ใหญ่กว่าและสามารถรองรับอุปกรณ์และวงจรรวมได้มากขึ้น ส่งผลให้ประสิทธิภาพการผลิตและผลผลิตเพิ่มขึ้น
ความหนาแน่นที่สูงขึ้น: การใช้เวเฟอร์ขนาด 8 นิ้ว ทำให้สามารถรับรู้อุปกรณ์และส่วนประกอบต่างๆ ได้มากขึ้นในพื้นที่เดียวกัน เพิ่มการบูรณาการและความหนาแน่นของอุปกรณ์ ซึ่งจะช่วยเพิ่มประสิทธิภาพของอุปกรณ์ในทางกลับกัน
ความสม่ำเสมอที่ดีขึ้น: เวเฟอร์ขนาดใหญ่มีความสม่ำเสมอที่ดีขึ้นในกระบวนการผลิต ช่วยลดความแปรปรวนในกระบวนการผลิตและปรับปรุงความน่าเชื่อถือและความสม่ำเสมอของผลิตภัณฑ์
เวเฟอร์ L และ LN ขนาด 8 นิ้วมีเส้นผ่านศูนย์กลางเท่ากับเวเฟอร์ซิลิคอนทั่วไปและติดง่าย เป็นวัสดุ "ตัวกรอง SAW แบบข้อต่อ" ประสิทธิภาพสูงที่สามารถรองรับคลื่นความถี่สูงได้