เวเฟอร์ลิเธียมไนโอเบตขนาด 8 นิ้ว เวเฟอร์ LiNbO3 LN
ข้อมูลรายละเอียด
| เส้นผ่านศูนย์กลาง | 200±0.2มม. |
| ความแบนราบหลัก | 57.5มม. รอยบาก |
| ปฐมนิเทศ | 128Y-Cut, X-Cut, Z-Cut |
| ความหนา | 0.5±0.025 มม., 1.0±0.025 มม. |
| พื้นผิว | DSP และ SSP |
| ทีทีวี | < 5ไมโครเมตร |
| โค้งคำนับ | ± (20µm ~40um) |
| การบิดเบี้ยว | <= 20ไมโครเมตร ~ 50ไมโครเมตร |
| แอลทีวี (5มม.x5มม.) | <1.5 ไมโครเมตร |
| PLTV(<0.5um) | ≥98% (5มม.*5มม.) ไม่รวมขอบ 2มม. |
| Ra | รา<=5A |
| สแครชแอนด์ดิ๊ก (S/D) | 20/10, 40/20, 60/40 |
| ขอบ | พบกับ SEMI M1.2@พร้อม GC800#. ปกติที่ประเภท C |
ข้อมูลจำเพาะที่เฉพาะเจาะจง
เส้นผ่านศูนย์กลาง :8 นิ้ว (ประมาณ 200มม.)
ความหนา: ความหนามาตรฐานทั่วไปมีตั้งแต่ 0.5 มม. ถึง 1 มม. ความหนาอื่นๆ สามารถปรับแต่งได้ตามความต้องการเฉพาะ
การวางแนวคริสตัล: การวางแนวคริสตัลทั่วไปหลักๆ คือ การวางแนวคริสตัลแบบตัด 128Y, ตัดแบบ Z และตัดแบบ X และสามารถให้การวางแนวคริสตัลแบบอื่นๆ ได้ ขึ้นอยู่กับการใช้งานเฉพาะ
ข้อดีของขนาด: เวเฟอร์ปลาคาร์ปเซอร์ราตาขนาด 8 นิ้วมีข้อดีด้านขนาดหลายประการเหนือเวเฟอร์ขนาดเล็กกว่า:
พื้นที่ขนาดใหญ่กว่า: เมื่อเปรียบเทียบกับเวเฟอร์ขนาด 6 นิ้วหรือ 4 นิ้ว เวเฟอร์ขนาด 8 นิ้วจะมีพื้นที่ผิวที่ใหญ่กว่าและสามารถรองรับอุปกรณ์และวงจรรวมได้มากขึ้น ส่งผลให้มีประสิทธิภาพการผลิตและผลผลิตเพิ่มมากขึ้น
ความหนาแน่นที่สูงขึ้น: การใช้เวเฟอร์ขนาด 8 นิ้ว สามารถสร้างอุปกรณ์และส่วนประกอบต่างๆ ได้มากขึ้นในพื้นที่เดียวกัน เพิ่มการรวมและความหนาแน่นของอุปกรณ์ ซึ่งในทางกลับกันก็ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพของอุปกรณ์ด้วยเช่นกัน
ความสม่ำเสมอที่ดีกว่า: เวเฟอร์ขนาดใหญ่จะมีความสม่ำเสมอที่ดีขึ้นในกระบวนการผลิต ช่วยลดความแปรปรวนในกระบวนการผลิต และปรับปรุงความน่าเชื่อถือและความสม่ำเสมอของผลิตภัณฑ์
เวเฟอร์ L และ LN ขนาด 8 นิ้วมีเส้นผ่านศูนย์กลางเท่ากับเวเฟอร์ซิลิกอนทั่วไปและเชื่อมติดได้ง่าย เป็นวัสดุ "ตัวกรอง SAW แบบต่อเชื่อม" ประสิทธิภาพสูงที่สามารถรองรับย่านความถี่สูงได้
แผนภาพรายละเอียด
